专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020150114486A 에피택셜 반도체층을 제조하기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：用于生产外延半导体层的方法
公开(公告)号：KR1020150114486A
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020157020630
申请日：2013-10-17
申请人： 프라운호퍼-게젤샤프트 추르 푀르데룽 데어 안제반텐 포르슝 에 파우
发明人： 템믈어디트마 , 키르히호프폴커 , 메츠너크리스토프 , 하인스옌스페터
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/263 , H01L21/78 , B23K15/00 , B23K15/08 , C30B29/06 , C30B33/04 , C23C14/24 , C23C14/30
CPC分类号： H01L21/02689 , B23K15/00 , B23K15/0006 , B23K15/08 , B23K2201/40 , B23K2203/56 , B28D1/221 , B28D5/00 , C23C14/246 , C23C14/30 , C30B29/06 , C30B33/04 , H01L21/02381 , H01L21/0242 , H01L21/02428 , H01L21/02532 , H01L21/02592 , H01L21/02631 , H01L21/02658 , H01L21/2633 , H01L21/3065 , H01L21/7806
摘要： 본발명은반도체재료로이루어진에피택셜층을제조하기위한방법에관한것으로, 먼저제1 작업챔버에서단결정기판의적어도하나의표면영역의건식에칭이이루어진다. 후속해서비에피택셜반도체층은, 반도체재료가전자빔에의해증발되고, 이로인해증발된반도체재료의증발입자들이단결정기판의에칭된표면영역위에침전됨으로써, 단결정기판의에칭된표면영역위에증착된다. 후속해서비에피택셜반도체층은에너지도입에의해결정화된다.
摘要翻译：要求保护从基体（1）分离盘状单晶的方法。基体在其中要分离盘形单晶的区域中具有平坦表面（5）。在基体的一侧（2）上形成初始间隙（3）。初始间隙的中心线位于与基体的平坦表面一定距离处，并平行于基体的平坦表面延伸。该距离对应于待分离的盘状单晶的盘厚度。使用聚焦电子束（6）以线性方式扫描表面。要求保护从基体（1）分离盘状单晶的方法。基体在其中要分离盘形单晶的区域中具有平坦表面（5）。在基体的一侧（2）上形成初始间隙（3）。初始间隙的中心线位于与基体的平坦表面一定距离处，并平行于基体的平坦表面延伸。该距离对应于待分离的盘状单晶的盘厚度。使用聚焦电子束（6）以线性方式扫描该表面，其中扫描从其上形成初始间隙的基体的侧面开始并且在基体的相对侧终止。调整加速电压，电流和电子束的偏转，使得在基体深度处的电子束的分离工艺所需的输入能量等于盘状单晶的盘厚。使用形成有线性聚焦的电子线源和具有高度聚焦的点状焦点的电子束点源形成电子束，并且以与电子束线的长度尺寸相垂直的馈送速率被引入基体的平面。通过使用激光的直接图案化方法和使用离子束或电子束的蚀刻方法将初始间隙的中心线引入基体侧。基体包括单晶衬底和单晶层。

2. 发明公开

KR1020050049504A 소재구조변경방법 有权
标题翻译：工作结构修改
公开(公告)号：KR1020050049504A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：KR1020057005344
申请日：2003-09-11
申请人： 더 웰딩 인스티튜트
发明人： 댄스,브루스가이어바인 , 켈라,에윈제임스크로포드
IPC分类号： B23K15/08 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/08 , B23K15/08 , B23K15/085 , B23K26/389 , B23K35/001 , B29C65/02 , B29C65/64 , B29C66/02245 , B29C66/0246 , B29C66/026 , B29C66/1122 , B29C66/1142 , B29C66/1162 , B29C66/1222 , B29C66/1224 , B29C66/12261 , B29C66/12423 , B29C66/12443 , B29C66/12463 , B29C66/12464 , B29C66/1282 , B29C66/12822 , B29C66/12841 , B29C66/12842 , B29C66/14 , B29C66/30321 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/721 , B29C66/7212 , B29C66/73751 , B29C66/7394 , B29C66/742 , B29C66/74283 , B29C70/68 , C21D1/09 , B29K2307/04 , B29K2063/00
摘要： A method of modifying the structure of workpiece (1) is provided. The method comprises a first step of causing relative movement between a power beam and the workpiece (1) so that a region (3) of the workpiece (1) is melted and the melted material displaced to form a projection (2) at a first location in the region (3) and a hole (4) at a different location in the region. The melted material is then allowed to at least partially solidify after which the first step is repeated one or more times, with the region corresponding to each repeat intersecting the region (3) of the first step.
摘要翻译：提供了修改工件（1）的结构的方法。该方法包括：使功率光束和工件（1）之间的相对运动的第一步骤，使得工件（1）的区域（3）熔化，熔化的材料在第一个位置移动以形成突起（2）区域（3）中的位置和在该区域中的不同位置处的孔（4）。然后允许熔化的材料至少部分地固化，之后第一步重复一次或多次，其中对应于每个重复的区域与第一步骤的区域（3）相交。

3. 发明公开

KR1020130029410A 롤러 몰드의 제작 장치 및 제작 방법 有权
标题翻译：滚筒模制造装置及制造方法
公开(公告)号：KR1020130029410A
公开(公告)日：2013-03-22
申请号：KR1020127032734
申请日：2011-06-08
申请人： 아사히 가세이 가부시키가이샤
发明人： 이토나오토 , 기타다도시오 , 기구치야히데나리
IPC分类号： B29C59/04 , B29C33/38 , G03F7/20
CPC分类号： B29C33/3842 , B23K15/08 , B29C33/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/20 , G03F7/2037 , G03F7/24 , H01J37/20 , H01J37/305 , H01J37/3174 , H01J2237/20214 , H01J2237/2025 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285
摘要： 롤러 몰드의 회전축 방향으로의 회전 요동에 기인해서 묘화 패턴이 불선명해지는 것을, 비용 증가를 억제하면서 억제한다. 이것을 실현하기 위해서, 롤러 몰드 제작 장치(1)는 전자 빔 조사 장치(2)와, 전자 빔의 일부를 투과시키는 개구부를 갖고, 레지스트 위에 동시 묘화하는 복수 개의 빔을 형성하는 마스크(3)와, 롤러 몰드(100)를 회전축(8) 주위로 회전시키는 회전 구동 장치(4)와, 롤러 몰드(100)의 회전축(8) 방향으로의 회전 요동 변위량을 검출하는 변위량 검출 센서(5)와, 제어 장치(6)와, 상기 제어 장치(6)로부터의 제어 신호를 기초로 하여 전자 빔에 의한 묘화 위치를 롤러 몰드(100)의 회전축(8) 방향으로의 변위에 추종시키는 작동기(7)를 구비하고, 롤러 몰드(100)의 회전축(8) 방향으로의 회전 요동 변위에 기인하는 레지스트의 노광 위치의 어긋남을 억제한다.

4. 发明授权

KR100377026B1 집속이온빔장치,집속이온빔관찰방법및집속이온빔가공방법 失效
标题翻译： 집속이온빔장치，집속이온빔관찰방법및집속이온빔가공방법
公开(公告)号：KR100377026B1
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：KR1019940012332
申请日：1994-06-02
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 오오니시쯔요시 , 이시따니도오루
IPC分类号： H01J37/252
CPC分类号： B23K15/08 , H01J37/3005 , H01J2237/2806 , H01J2237/317
摘要： The present invention is intended to form a satisfactory SIM image having high contrast without requiring comparatively high current density and high vacuum, and to enable satisfactory observation of grains in a high resolution at a reduced cost. An object area on a sample is divided virtually into a plurality of small areas, the small areas are irradiated sequentially in a time series mode with a surface processing beam and a data acquisition beam, the irradiation of each small area is executed, secondary signals produced by the sample when the sample is irradiated with the data acquisition beam, and an image of the object area on the sample is formed on the basis of the detected secondary signals.
摘要翻译：本发明旨在形成具有高对比度的令人满意的SIM图像，而不需要相对高的电流密度和高真空，并且能够以降低的成本以高分辨率对颗粒进行令人满意的观察。将样品上的物体区域虚拟分割成多个小区域，以表面处理光束和数据采集光束以时间序列模式依次照射小区域，执行每个小区域的照射，产生次级信号当样本被数据采集光束照射时通过采样，并且基于检测到的次级信号形成样本上的物体区域的图像。

5. 发明公开

KR20180066365A 기화성기재를 포함하는 마이크로 드릴링장치 有权
公开(公告)号：KR20180066365A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：KR20160166714
申请日：2016-12-08
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： KANG EUN GOO , CHOI HON JONG , CHOI YOUNG JAE
IPC分类号： H05K3/00 , B23K15/08 , B23K101/42 , H05K3/40
CPC分类号： H05K3/0026 , B23K15/08 , B23K2101/42 , H05K3/4038
摘要： 본발명에따른기화성기재를포함하는마이크로드릴링장치는, 전자빔장치를통해조사되는전자빔을이용하여대상모재에마이크로드릴링을수행하는마이크로드릴링장치에있어서, 상기전자빔이조사되는상기대상모재의조사면반대측에접촉되도록구비되며, 상기전자빔이접촉될경우기화되어상기대상모재에형성된마이크로홀내부의용융물과함께상기대상모재의외부로배출되는기화성기재및 상기전자빔장치를통해조사되는전자빔을편향시켜상기대상모재에도달하도록하는편향기를포함한다.

6. 发明授权

KR101285484B1 구조화된 텅스텐 부재를 구비한 복합재 부품 有权
标题翻译：具有结构化的TUNGSTEN元件的复合部件
公开(公告)号：KR101285484B1
公开(公告)日：2013-07-12
申请号：KR1020060081800
申请日：2006-08-28
申请人： 플란제 에스이
发明人： 베르트람쉐들러 , 토마스후버 , 토마스프리드리히 , 칼하인츠샤이버 , 디트마르쉐들러 , 안톤차베르니크 , 한스-디이터프리들러 , 잔드라마이르 , 나디네뵐러 , 베른하르트타베르니크
IPC分类号： G21B1/00 , B22F1/00
CPC分类号： C23C26/02 , B22D19/00 , B22D19/0081 , B22F7/008 , B22F7/062 , B22F7/08 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , B23K15/08 , B23K20/233 , B23K33/00 , B23K2203/12 , B23K2203/14 , B32B15/01 , C22C19/07 , B22F3/02 , B22F3/10 , B22F2201/01 , B22F2201/20 , B22F3/15
摘要： 본 발명은 텅스텐으로 제조되는 부품과 구리로 제조되는 부품을 포함하는 복합재 부품 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 부품들이 접합 공정에 의하여 일체로 접합되는데, 텅스텐으로 제조된 부품은 보다 넓은 표면 영역을 생성하기 위하여 접합 공정 전에 접합 표면 영역에서 구조화된다.
구리, 텅스텐, 합금, 접합, 핵융합로, 열팽창

7. 发明公开

KR1020030096336A 표면 변경 방법 有权
标题翻译：如何改变曲面
公开(公告)号：KR1020030096336A
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：KR1020037014086
申请日：2002-05-14
申请人： 더 웰딩 인스티튜트
发明人： 브루스가이알바인댄스
IPC分类号： B23K15/08
CPC分类号： B23K26/382 , B23K15/08 , B23K15/085 , B23K26/0846 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2203/04 , B23K2203/05 , B23K2203/06 , B23K2203/10 , B23K2203/16 , B23K2203/20 , B23K2203/42 , B23K2203/50 , B23K2203/52
摘要： 본 발명에 따른 소재 상에서 동작하는 방법은, 트래버스방향으로의 소재와 파워 빔 사이의 상대운동을 야기하여, 소재 상의 일련의 장소를 파워 빔에 대해 노출시키는 것이다. 각 장소에서, 파워 빔은 트래버스방향으로 가로지르는 를 갖는 설정된성분을 방법으로 소재에 대해 움직이게 되고, 소재의 재료는 파워 빔에 의해 용해되고 변위되어 공동 또는 구멍을 형성한다.

8. 发明公开

KR1020010057673A 전자빔을 이용한 천공장치 失效
标题翻译：使用电子束执行机器
公开(公告)号：KR1020010057673A
公开(公告)日：2001-07-05
申请号：KR1019990061046
申请日：1999-12-23
申请人： 한국원자력연구원 , 한국전력공사
发明人： 이종민 , 조성오 , 이병철 , 정영욱 , 차병헌
IPC分类号： B23K15/00 , B23K15/08
CPC分类号： B23K15/00 , B23K15/08
摘要： PURPOSE: A perforating machine using an electron beam is provided to control the size of holes by controlling the size of the electron beam and improve the quality of the perforation by improving spatial equality of the electron beam. CONSTITUTION: A perforating machine using an electron beam includes an electron gun(10) generating the electron beam, a machining chamber(20) making the electron beam partially melting an object to be perforated for performing perforating work, and a gate valve(30) isolating vacuum between the electron gun and the machining chamber, wherein the electron gun includes a negative electrode(11) heated according to the apply of power supply for generating thermal electron, a positive electrode(12) drawing out the thermal electron in the shape of beam if high voltage is applied to a gap with the negative electrode and the positive electrode, and a control electrode(13) arranged between the negative electrode and the positive electrode and controlling the size of the electron beam by changing electric field distribution between the negative electrode and the positive electrode according to the applied voltage.
摘要翻译：目的：提供一种使用电子束的穿孔机，通过控制电子束的尺寸，通过改善电子束的空间相等性来改善穿孔质量，从而控制孔的大小。构成：使用电子束的穿孔机包括产生电子束的电子枪（10），使电子束部分地熔化以穿孔的物体进行穿孔加工的加工室（20），以及闸阀（30）隔离电子枪和加工室之间的真空，其中电子枪包括根据施加用于产生热电子的电源加热的负极（11），将电子引出的形状的正电极（12）如果向负极和正极施加高压施加高压，则控制电极（13）配置在负极和正极之间，通过改变负极和正极之间的电场分布来控制电子束的尺寸电极和正极根据施加的电压。

9. 发明公开

KR1020150047567A 전자 비임 및 비임 스캐닝 속도의 범위를 이용한 초-경질 재료를 절삭하는 방법 有权
标题翻译：使用电子束切割超硬材料的方法和光束扫描速度范围
公开(公告)号：KR1020150047567A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020157007288
申请日：2013-08-14
申请人： 엘리먼트 씩스 테크놀로지스 리미티드
发明人： 워트크리스토퍼존하워드
IPC分类号： B23K15/08 , B23K15/10 , B28D5/00
CPC分类号： B23K15/08 , B23K15/00 , B23K15/0006 , B23K15/10 , B23K2203/08 , B23K2203/50 , B23K2203/52 , B26D5/00 , B28D5/00 , C30B33/08 , H01J37/31
摘要： 전자비임(6)을이용하여초-경질재료(8)를절삭하는방법으로서, 전자비임(6)은초-경질재료(8)의표면상으로지향되고, 전자비임(6)이 100 내지 5000 mms범위의전자비임스캐닝속도로초-경질재료(8)의표면에걸쳐서이동하여초-경질재료(8)를절삭하도록, 초-경질재료(8)의표면에걸쳐서이동된다.
摘要翻译：一种使用电子束（6）切割超硬材料（8）的方法，其中电子束（6）被引导到超硬材料（8）的表面上并相对于表面移动，使得电子束（6）以100-5000mms-1的电子束扫描速度跨过超硬材料（8）的表面移动，以切割超硬材料（8）。

10. 发明公开

KR1020150032742A 공작 기계 审中-实审
标题翻译：机床工具
公开(公告)号：KR1020150032742A
公开(公告)日：2015-03-27
申请号：KR1020157003948
申请日：2013-07-16
申请人： 엑스 신틸라 리미티드
发明人： 존스제이슨비. , 코츠피터
IPC分类号： B23P23/04 , B23K26/14
CPC分类号： B23P23/04 , B05B7/228 , B05B12/00 , B05B13/02 , B05B15/65 , B05C5/001 , B05C19/06 , B05D1/02 , B05D3/002 , B22F3/1055 , B23K9/04 , B23K9/323 , B23K10/027 , B23K15/0026 , B23K15/0086 , B23K15/08 , B23K26/0093 , B23K26/0626 , B23K26/082 , B23K26/0876 , B23K26/0884 , B23K26/1482 , B23K26/34 , B23K26/342 , B23K26/36 , B23K26/702 , B23K2201/001 , B23P15/02 , B29C64/20 , B29C73/24 , B29L2031/082 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00 , B41J2/175
摘要： 본 발명은 처리 헤드를 통해 에너지원을 작업물 상으로 전달하도록 되어 있는 공작 기계에 관한 것으로, 이 공작 기계는 작업물을 처리하는 처리 헤드 또는 다른 기계가공 또는 처리 헤드를 임시로 받도록 되어 있는 클램핑 기구를 가지며, 처리 헤드는 에너지원을 작업물 상으로 보내도록 되어 있는 하나 이상의 안내 기구 및 처리 헤드 결합 매니폴드를 가지며, 작업물의 처리를 용이하게 하기 위해 사용 중에 상기 처리 헤드에 공급되는 하나 이상의 매체가 상기 매니폴드에 연결되며, 처리 헤드가 클램핑 기구에 연결되면 처리 헤드 결합 매니폴드는 하나 이상의 매체가 처리 헤드에 공급될 수 있게 해주고, 공작 기계는, 공급부 결합 매니폴드와 처리 헤드 결합 매니폴드가 서로 연결되어 있을 때 매체가 처리 헤드에 공급되도록 공급부 결합 매니폴드� � 처리 헤드 결합 매니폴드에 연결시키고/연결시키거나 연결을 해제하도록 되어 있는 적어도 하나의 기구를 또한 포함한다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式