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1. 发明授权

KR101870301B1 다중-펄스 버스트들을 갖는 펄스 트레인 레이저를 이용한 웨이퍼 다이싱 및 플라즈마 식각 有权
公开(公告)号：KR101870301B1
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR1020127028304
申请日：2012-05-31
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 레이,웨이-쉥 , 싱흐,사라브지트 , 얄라만칠리,마드하바라오 , 이튼,브래드 , 쿠마르,아제이
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/3086 , B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0626 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , H01L21/67207 , H01L21/78
摘要： 복수의집적회로들을각각갖는반도체웨이퍼들을다이싱(dicing)하는방법들이설명된다. 방법은반도체웨이퍼위에마스크를형성하는단계를포함한다. 마스크는집적회로들을피복및 보호하는층으로구성된다. 마스크는갭(gap)들을갖는패터닝된마스크를제공하기위하여다중-펄스버스트(multiple-pulse burst)들을이용한펄스트레인레이저스크라이빙프로세스(pulse train laser scribing process)로패터닝된다. 패터닝은집적회로들사이의반도체웨이퍼의영역들을노출한다. 다음으로, 집적회로들을싱귤레이팅하기위하여, 반도체웨이퍼는패터닝된마스크내의갭(gap)들을통해식각된다.

2. 发明公开

KR20180035689A SiC 웨이퍼의 생성 방법 审中-公开
标题翻译：碳化硅SiC晶圆生产方法
公开(公告)号：KR20180035689A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR20170123451
申请日：2017-09-25
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/78
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0626 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2203/56
摘要： (과제) 생산성의향상이도모되는웨이퍼생성방법을제공한다. (해결수단) 단결정 SiC 잉곳으로부터 SiC 웨이퍼를생성하는 SiC 웨이퍼의생성방법으로서, SiC 에대해투과성을갖는파장의펄스레이저광선의집광점을잉곳의상면으로부터생성해야할 웨이퍼의두께에상당하는깊이에위치결정함과함께, 잉곳을오프각이형성되는방향과직교하는방향으로가공이송함으로써, 잉곳내부에개질층과, 그개질층으로부터 c 면을따라전파되는크랙을형성하는개질층형성가공을, 오프각이형성되는방향으로잉곳을인덱스이송하여복수회 실시하여박리면을형성하는박리면형성공정과, 박리면을계면으로하여잉곳의일부를박리하여 SiC 웨이퍼를생성하는웨이퍼를생성공정을포함한다. SiC 웨이퍼의생성방법은, 추가로, 박리한 SiC 웨이퍼의외주에모따기가공을실시하여버를제거하는모따기가공공정과, SiC 웨이퍼의박리면을연삭하여평활면으로마무리하는연삭공정을포함한다.
摘要翻译： SiC晶片由单晶SiC锭制造。通过将晶锭内部的脉冲激光束的焦点设置在离晶锭上表面预定深度处形成改性层，该预定深度对应于待制造的晶片的厚度。脉冲激光束被施加到晶锭，同时在与形成偏离角的第二方向垂直的第一方向上移动晶锭，从而在晶锭内在第一方向上形成改性层，并且裂纹从改性层沿着 c面。通过在第二方向上对锭块进行分度并且多次施加激光束从而在锭块内部形成分离表面来形成分离表面。部分铸锭沿分离表面分离，从而产生晶片。

3. 发明公开

KR20180017081A 다중 빔 적층 제조 审中-公开
标题翻译：多光束层压制造
公开(公告)号：KR20180017081A
公开(公告)日：2018-02-20
申请号：KR20187000360
申请日：2016-06-10
申请人： IPG PHOTONICS CORP
发明人： DALLAROSA JOSEPH , ONEILL WILLIAM , SPARKES MARTIN , PAYNE ANDREW
IPC分类号： B22F3/105 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/342 , B29C64/153 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y70/00
CPC分类号： B23K26/342 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B23K26/0604 , B23K26/0626 , B23K26/073 , B23K26/082 , B23K26/0869 , B23K2203/08 , B29C64/153 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02 , Y02P10/295
摘要： 다중빔 적층제조를위한시스템및 방법은, 3-차원적인구조물의구축층을형성하는복셀을형성하기위해서분말재료가융합될때까지선택된영역내에서분말재료의층을노출시키기위해서광의다중빔(예를들어, 레이저광)을이용한다. 광은선택된광원으로부터발생될수 있고적어도하나의라인내의광학헤드내에배열된출력단부를가지는광섬유의어레이내로커플링되며, 그에따라다중빔이광학헤드에의해서동일한분말영역에순차적으로지향되어분말영역을융합시키기위한 (예를들어, 예열, 용융및 제어된냉각으로) 다중빔 순차적노출을제공한다. 다중순차적빔은다양한기술을이용하여 (예를들어, 광학헤드를이동시키는것에의해서) 그리고다양한스캔패턴을따라서이동될수 있고, 그에따라복수의융합영역은각각의구축층을형성한다.
摘要翻译：一种用于3维粉末材料的多光束层压制备系统和方法，以形成体素形成该结构的建筑物楼层，直到光多束的会聚，以在选定区域暴露粉末材料的一个层（例如，例如，激光）。光被耦合到具有设置在光学头在从所选择的光源和至少一个线，由此多个光束依次由光头保险丝粉末区域定向到同一个粉末区域生成的输出端子的部分的光纤阵列（例如，预热，熔化和受控冷却）以提供多光束连续曝光。使用各种技术（例如，如通过移动光学头）的多个顺序光束，并且可以沿着各种扫描图案移动，所述多个熔融区域的由此形成的各个建筑物的地板。

4. 发明公开

KR20180009708A 검사 방법 审中-公开
标题翻译：检验方法
公开(公告)号：KR20180009708A
公开(公告)日：2018-01-29
申请号：KR20170090238
申请日：2017-07-17
申请人： DISCO CORP
发明人： YOSHIHARA HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/24 , B23K26/0626 , B23K26/08 , G01R31/01 , G01R31/2851 , H01L21/67276 , H01L21/67288
摘要： (과제) 가공장치가설치환경으로부터받는영향을검사한다. (해결수단) 가공장치가설치환경으로부터받는영향을검사하는검사방법으로서, 척테이블과가공유닛의상대적인위치관계를특정하기위한표적을설정하는표적설정스텝과, 이동수단을정지시킨상태에서, 그표적을촬상유닛으로복수회 촬상하는촬상스텝과, 그촬상스텝에서얻어진촬상화상으로부터그 표적의위치를검출하여그 가공장치가설치환경으로부터받는영향의유무를판정하는판정스텝을구비하고, 그판정스텝에서는, 그표적의위치의변화량이임계값미만인경우, 그척 테이블과그 가공유닛의상대위치는그 환경으로부터영향을받고있지않은것으로판정하고, 그표적의위치의변화량이임계값이상인경우, 그척 테이블과그 가공유닛의상대위치는그 환경으로부터영향을받고있는것으로판정한다.
摘要翻译：用于检查安装环境对处理设备的影响的方法包括：设置用于指定卡盘台和处理单元之间的相对位置关系的标记，当移动单元处于静止时，通过使用成像单元多次成像标记，并且从图像中检测标记的位置，然后基于标记的位置变化是否小于或大于阈值来确定安装环境对处理装置的影响是否存在。

5. 发明公开

KR20180005624A 보조 기체 흐름에 대한 레이저의 광축 위치 제어를 가지는 금속 재료의 레이저 처리 방법 및 상기 방법의 구현을 위한 컴퓨터 프로그램 및 기계 장치 审中-公开
标题翻译：激光加工相对于辅助气体流动的激光器光轴位置控制的方法以及实施所述方法的机器和计算机程序
公开(公告)号：KR20180005624A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：KR20170085934
申请日：2017-07-06
IPC分类号： B23K26/062 , B23K26/042 , B23K26/14 , B23K26/21 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/06 , B23K26/0643 , B23K26/0665 , B23K26/073 , B23K26/14 , G02B26/0816
摘要： 금속재료의적어도하나의작업평면상에서미리설정된횡력분포(transverse power distribution)를가지는포커싱된레이저빔(focused laser beam)에의해금속재료를레이저처리하는방법이서술되고, 상기방법은레이저빔 방출소스를제공하는단계, 상기레이저빔을, 빔수송광로(beam transport optical path)를따라상기재료에인접하여배치된작업헤드(working head)로유도하는단계, 상기금속재료에입사하는전파의광축(optical axis of propagation)을따라상기레이저빔을콜리메이팅(collimating)하는단계, 상기금속재료의작업평면의영역에상기콜리메이팅된레이저빔을포커싱하는단계및 일련의작업영역을포함하는상기금속재료상의작업경로를따라상기포커싱된레이저빔을전도하는단계를포함한다. 상기레이저빔은복수의독립적으로움직일수 있는반사영역을가지는변형가능하고, 제어되는표면반사요소에의해콜리메이팅된빔을반사하여성형되고, 상기금속재료의상기작업경로의현재경로및/또는현재작업평면의영역의함수로써상기금속재료의적어도하나의작업평면상에상기빔의미리설정된횡력분포를이루기위해상기반사영역의배치를제어하여성형된다.
摘要翻译：借助于在金属材料的至少一个工作平面上具有预定横向功率分布的聚焦激光束来描述金属材料的激光加工方法，该方法包括以下步骤： - 提供激光束发射源; - 沿着光束传输光路将激光束引导到布置在材料附近的工作头; - 使激光束沿入射到材料上的传播光轴准直; - 将准直的激光束聚焦在材料的工作平面的区域中; 以及沿着包括一系列工作区域的金属材料上的工作路径传导所述聚焦的激光束，其中所述激光束被成形为： - 通过借助于具有多个独立的可变形的受控表面反射元件来反射准直束 - 通过控制反射区域的布置以在金属材料的至少一个工作平面上建立光束的预定横向功率分布，作为当前工作平面的面积和/或在金属材料上的工作路径的当前方向。

6. 发明公开

KR1020170028888A 비-원형 레이저 빔들을 이용한 재료의 프로세싱 审中-实审
标题翻译： - 使用非圆形激光加工材料
公开(公告)号：KR1020170028888A
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020167035653
申请日：2015-07-08
申请人： 하이 큐 레이저 게엠베하
发明人： 헨드릭스프랭크 , 마티리트스카이빅터브이.
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/0622 , B23K26/073 , B23K26/40 , C03B33/02 , C03B33/04 , B23K103/00
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0006 , B23K26/0624 , B23K26/0626 , B23K26/0736 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2203/50 , B23K2203/56 , C03B33/0222 , C03B33/04 , Y02P40/57
摘要： 펄스형레이저를사용하여재료를프로세싱하기위한방법은, 일련의초단파레이저펄스들(22)을생성하는단계, 프로세싱경로(25)의각각할당된프로세싱포인트(26)에대한정의된레퍼런스로상기재료(1)에각각의레이저펄스(22)를지향시키는단계, 및포커싱된레이저펄스들(22)의각각의초점들이상기재료(24)의제1 표면(2)에대해미리정의된공간적관계들을포함하도록각각의레이저펄스(22)를포커싱하는단계를포함하고, 각각의방출된레이저펄스(22)는상기재료내에각각크랙(24)을실현한다. 본발명에따르면, 레이저펄스의전파방향에수직인, 초점에서레이저펄스의단면에의해정의되는단면영역이특정형상이고, 마이너확장축보다더 큰범위의메인확장축(A)을갖도록, 레이저펄스의빔 프로파일에관해각각의레이저펄스가형상화된다. 하나의메이저크랙(24)은각각의레이저펄스(22)에의해실현되고, 메이저크랙(12, 24)은, 기본적으로초점에서각각의펄스의메인확장축(A)에따라배향되는측방향확장을갖는다. 또한, 초점에서레이저펄스의메인확장축(A)의배향이할당된프로세싱포인트(26)에서프로세싱경로(25)에대한각각의접선의배향에대해미리정의된배향에대응하도록각각의레이저펄스(22)가방출된다.
摘要翻译：通过使用脉冲激光来处理材料的方法，包括产生一系列超短激光脉冲（22），将每个激光脉冲（22）引导到所述材料，所述材料限定参考分配的处理点（26）处理路径（25），并且聚焦每个激光脉冲（22），使得聚焦的激光脉冲（22）的各个焦点包括与材料的第一表面（2）的预定的空间关系，其中每个发射的激光脉冲 22）在材料内产生相应的裂纹（24）。根据本发明，每个激光脉冲关于其光束轮廓成形，使得由其激光脉冲在其焦点上与其传播方向正交的横截面限定的横截面面积是非对称形状并且限定主要延伸轴（A）对其不对称延伸。一个主要裂纹（24）由每个激光脉冲（22）实现，主裂纹（12,24）具有根据焦点中相应脉冲的主延伸轴（A）基本取向的横向延伸。此外，发射每个激光脉冲（22），使得其焦点中其主延伸轴线（A）的取向对应于相对于处理路径（25）的相应切线的取向的预定义取向分配处理点（26）

7. 发明授权

KR101697410B1 이차 전지용 알루미늄 캔체 및 그의 제조 방법 有权
标题翻译：铝可用于二次电池及其制造方法
公开(公告)号：KR101697410B1
公开(公告)日：2017-01-17
申请号：KR1020147010999
申请日：2012-09-13
申请人： 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
发明人： 마츠모토츠요시 , 고바야시가즈노리
IPC分类号： H01M2/02 , H01M2/04 , B23K26/00 , B23K26/20 , C22C21/00
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/26 , B23K26/32 , B23K2203/10 , C22C21/00 , H01M2/0486
摘要： 본발명은알루미늄합금판체로이루어지는캡체및 외장체를용접하여조립한이차전지용알루미늄캔체및 그의제조방법에관한것이다. 적어도, 질량비로 Si를 0.30% 이하로한 뒤에 B를 2∼30ppm의범위내로포함하는알루미늄합금으로이루어지는합금판체를준비하고, 제 1 합금판체의측연단부를따라제 2 합금판체의단면을맞댄다. 제 1 합금판체의단면에생기는맞댐선을따라연속레이저용접한다. 여기에서맞댐선을협지하여부여되는용융접합부의깊이(D)에대한폭(W)의비를 1.5 이상으로하고, 또한 0.35mm 이상의깊이(D)를갖도록레이저용접조건이제어된다.
摘要翻译：一种用于二次电池的铝罐，其通过用激光焊接将包括铝合金板和外包装的盖组装在一起而制成; 以及铝罐的制造方法。制备合金钢板，即含有至少含有0.30质量％以下的Si和2〜30质量ppm的B的铝合金的第一合金板和第二合金板。第一合金板和第二合金板彼此对接，使得第二合金板的边缘沿着第一合金板的侧边缘对接。所得产品沿着形成在第一合金板的边缘面上的对接线进行连续激光束焊接。激光束焊接的条件被调整为使得通过对接线提供的熔融接合部分的宽度（W）与熔融接合部分的深度（D）的比率变为1.5或更大，并且熔融接合部分的深度（D）可以为0.35mm以上。

8. 发明授权

KR101647279B1 마이크로렌즈 어레이를 이용하여 라인을 생성하기 위한 광학적 설계 有权
标题翻译：使用微阵列进行线生成的光学设计
公开(公告)号：KR101647279B1
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：KR1020147013682
申请日：2012-10-12
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 홀름그렌,더글라스이. , 호웰스,사무엘씨.
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/67 , B23K26/03 , B23K26/06 , B23K26/08 , G02B27/09 , G02B27/10 , B23K26/082
CPC分类号： B23K26/0648 , B23K26/00 , B23K26/0006 , B23K26/034 , B23K26/06 , B23K26/0626 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/0876 , B23K2201/40 , B23K2203/56 , G02B27/09 , G02B27/0911 , G02B27/0961 , G02B27/0966 , G02B27/10 , H01L21/268 , H01L21/67115 , H01L24/80
摘要： 본발명의실시예들은, 기판지지부와, 광학경로를따라레이저방사선을방출하는레이저방사선소오스와, 상기광학경로를따라배치된조명광학계를포함한장치를제공한다. 상기조명광학계는저속축및 고속축렌즈들의세트를포함한다. 상기장치는상기광학경로를따라상기기판지지부와상기조명광학계사이에배치된균질화기를더 포함한다. 상기균질화기는원통형렌즈들의제 1 및제 2 마이크로광학렌즈렛어레이들을포함하며, 상기원통형렌즈들의제 2 마이크로광학렌즈렛어레이는상기원통형렌즈들의제 1 마이크로광학렌즈렛어레이의렌즈렛피치보다상대적으로더 큰렌즈렛피치를갖고, 상기제 1 마이크로광학렌즈렛어레이의렌즈렛축들과상기제 2 마이크로광학렌즈렛어레이의렌즈렛축들은상기레이저방사선소오스의고속축에대해평행한축을따라배향된다.
摘要翻译：本发明的实施例提供了一种装置，包括基板支撑件，沿着光路发射激光辐射的激光辐射源，以及沿光路设置的照明光学器件。照明光学器件包括一组慢轴和快轴透镜。该装置还包括沿着光路设置在照明光学器件和衬底支撑件之间的均质器。均化器包括柱面透镜的第一和第二微小透镜阵列阵列，其中柱面透镜的第二微小透镜小透镜阵列具有比第一微小透镜柱面透镜阵列更小的小透镜间距，以及透镜第一微光学小透镜阵列的轴线和第二微小透镜阵列的小透镜轴线沿着平行于激光辐射源的快轴的轴线定向。

9. 发明授权

KR101636006B1 레이저 장치를 교정하기 위한 테스트 장치 有权
标题翻译：用于校准激光器件的测试装置
公开(公告)号：KR101636006B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020147019398
申请日：2011-12-13
申请人： 웨이브라이트 게엠베하
发明人： 구스에비 , 도니츠키크리스토프 , 부엘르너크리스티안
IPC分类号： A61F9/008 , A61B18/20 , A61M1/00 , B23K26/02
CPC分类号： A61F9/00802 , A61B2017/00482 , A61B2018/00988 , A61F2009/00855 , B23K26/0626 , B23K26/705
摘要： 펄스형레이저방사선을제공하는레이저장치(12)의펄스에너지를교정하기위한테스트장치는다수의측정탐침(30)을갖는측정헤드(20)를포함한다. 테스트장치는레이저방사선에의해다수의테스트절제가측정탐침의상대적인공간배치에대응하는배치로테스트표면(28)상에서이루어지고그후테스트절제의깊이가측정헤드의다수의측정탐침의동시적인사용에의해측정되는방식으로사용된다.

10. 发明公开

KR1020160061884A 결함 어닐링 및 도펀트 활성화를 위한 고효율 라인-형성 광학 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：高效线形成光学系统和缺陷退火和镭激活的方法
公开(公告)号：KR1020160061884A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020150160364
申请日：2015-11-16
申请人： 울트라테크 인크.
发明人： 아니키트체프세르게이 , 하우리루크앤드류엠.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/268 , H01L29/861
CPC分类号： H01L21/268 , B23K26/0066 , B23K26/0626 , B23K26/066 , B23K26/352 , B23K2203/56 , H01L21/2636
摘要： 결함어닐링및 도펀트활성화를위한고효율라인형성광학시스템및 방법이개시된다. 이시스템은 2000W 내지 3000W 사이의광 파워를가진제1 라인아미지를웨이퍼표면에형성하도록구성된 CO2-기반라인-형성시스템을포함한다. 제1 라인이미지는결함어닐링온도까지온도를국부적으로상승시키기위해웨이퍼표면에대해주사된다. 이시스템은웨이퍼표면온도를결함어닐링온도로부터스파이크어닐링온도까지국부적으로상승시키기위해제1 라인이미지로주사할수 있는제2 라인이미지를형성하는가시파장다이오드-기반라인-형성시스템을포함할수 있다. 스파이크어닐링을위한가시파장의사용은불리한패턴효과를감소시키며온도균일과어닐링균일을개선한다.
摘要翻译：公开了用于缺陷退火和掺杂剂激活的高效线形成光学系统和方法。该系统包括基于CO 2的线形成系统，其被配置为在晶片表面处形成具有2000W和3000W光功率的第一线图像。在晶片表面上扫描线图像以局部地将温度升高到缺陷退火温度。该系统可以包括基于可见光波长二极管的线形成系统，其形成可以利用第一线图像扫描以将晶片表面温度从缺陷退火温度局部升高到尖峰退火温度的第二线图像。使用可见波长进行尖峰退火可减少不利的图案效应，并提高温度均匀性，从而降低退火均匀性。

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