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1. 发明授权

KR100737188B1 전자 부품 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：电子设备及其制造方法
公开(公告)号：KR100737188B1
公开(公告)日：2007-07-10
申请号：KR1020050114693
申请日：2005-11-29
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미즈노요시히로 , 미시아오유 , 오꾸다히사오 , 소네다히로미쯔 , 우에다사또시 , 다까하시다께오
IPC分类号： H03H7/00
CPC分类号： H01L23/5227 , H01F17/0006 , H01F27/40 , H01L21/84 , H01L23/5223 , H01L27/016 , H01L27/13 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/19011 , H01L2924/00
摘要： 본 발명은 종래 기술보다 간단한 방법 또한 간단한 구조를 갖고, 높은 신뢰성의 전자 부품 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
절연 기판(10)과, 절연 기판(10) 위에 직접 설치된 1개 이상의 캐패시터(12, 13) 및 인덕터(14)와, 캐패시터 및 인덕터의 상측 방향으로부터 이들을 접속하는 배선(15, 16, 17)과, 이들의 배선과 동일 종류의 도체로 절연 기판(10) 위에 형성된 외부 접속용 패드부(18∼21)를 갖는 전자 부품. 예를 들면, 전자 부품은 또한 캐패시터 및 인덕터를 피복하는 절연막을 갖고, 이 절연막 위에 상기 배선이 설치되어 있다.
절연 기판, 캐패시터, 인덕터, 배선, 패드부

2. 发明授权

KR100618508B1 마이크로 요동 소자 有权
标题翻译：微型荧光装置
公开(公告)号：KR100618508B1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020040071378
申请日：2004-09-07
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤 , 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
发明人： 쯔보이오사무 , 고우마노리나오 , 오꾸다히사오 , 소네다히로미쯔 , 우에다사또시 , 사와끼이뻬이 , 나까무라요시따까
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 본 발명은 양호한 소자 특성을 얻음으로써 소형화를 도모하는 데 적합한 마이크로 요동 소자를 제공하는 것이다. 본 발명의 마이크로 요동 소자(X1)는 프레임(21)과, 가동 기능부(11)와, 구동 기구(12, 23)와, 가동 기능부(11)에서부터 구동 기구(한쌍의 빗살 전극(12, 23))까지 연장되는 빔부(13)와, 프레임(21) 및 빔부(13)를 연결하는 비틀림 연결부(22)(한쌍의 토션 바(22a))를 구비한다. 비틀림 연결부(22)는 가동 기능부(1)의 회전 동작의, 빔부(13)의 연장 방향과 교차하는 회전축심(A1)을 규정한다. 회전축심(A1)의 연장 방향에서 빔부(13)는 가동 기능부(11)보다 짧다.
회전 축심, 마이크로 미러 소자, 마이크로머시닝, 전극

3. 发明公开

KR1020050102041A 마이크로 요동 소자 有权
标题翻译：微型荧光装置
公开(公告)号：KR1020050102041A
公开(公告)日：2005-10-25
申请号：KR1020040071378
申请日：2004-09-07
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤 , 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
发明人： 쯔보이오사무 , 고우마노리나오 , 오꾸다히사오 , 소네다히로미쯔 , 우에다사또시 , 사와끼이뻬이 , 나까무라요시따까
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0083 , B81B7/02 , B81B2201/04
摘要： A micro-oscillation element includes a frame, a movable functional part, a driving mechanism, a beam extending from the functional part to the driving mechanism, and a torsion connector for connecting the frame and the beam to each other. The connector defines a rotational axis about which the functional part rotates. The rotational axis crosses the longitudinal direction of the beam. The beam is shorter than the functional part in the longitudinal direction of the rotational axis.

4. 发明公开

KR1020060060599A 전자 부품 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：电子设备及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060060599A
公开(公告)日：2006-06-05
申请号：KR1020050114693
申请日：2005-11-29
申请人： 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 , 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미즈노요시히로 , 미시아오유 , 오꾸다히사오 , 소네다히로미쯔 , 우에다사또시 , 다까하시다께오
IPC分类号： H03H7/00
CPC分类号： H01L23/5227 , H01F17/0006 , H01F27/40 , H01L21/84 , H01L23/5223 , H01L27/016 , H01L27/13 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/19011 , H01L2924/00
摘要： 본 발명은 종래 기술보다 간단한 방법 또한 간단한 구조를 갖고, 높은 신뢰성의 전자 부품 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
절연 기판(10)과, 절연 기판(10) 위에 직접 설치된 1개 이상의 캐패시터(12, 13) 및 인덕터(14)와, 캐패시터 및 인덕터의 상측 방향으로부터 이들을 접속하는 배선(15, 16, 17)과, 이들의 배선과 동일 종류의 도체로 절연 기판(10) 위에 형성된 외부 접속용 패드부(18∼21)를 갖는 전자 부품. 예를 들면, 전자 부품은 또한 캐패시터 및 인덕터를 피복하는 절연막을 갖고, 이 절연막 위에 상기 배선이 설치되어 있다.
절연 기판, 캐패시터, 인덕터, 배선, 패드부

5. 发明公开

KR1020080089301A 마이크로 요동 소자 및 마이크로 요동 소자 어레이 无效
标题翻译：微波变换装置和微波变换装置阵列
公开(公告)号：KR1020080089301A
公开(公告)日：2008-10-06
申请号：KR1020080029368
申请日：2008-03-28
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 쯔보이오사무 , 고우마노리나오 , 소네다히로미쯔 , 오꾸다히사오 , 미즈노요시히로 , 마쯔모또쯔요시
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/047 , G02B26/0833
摘要： A micro oscillating device and a micro oscillating device array are provided to prevent leakage of an electric field by including a fourth shield electrode unit in a frame main body. A micro oscillating device includes a frame(21), an oscillating unit(10), a pair of connection units(22), and second driving electrodes(23). The oscillating unit includes a first driving electrode(12) for supplying a reference potential. The pair of connection units define an axis of an oscillating operation of the oscillating unit by connecting the frame and the oscillating unit. The second driving electrode is fixed to the frame to generate driving force of the oscillating operation by cooperating with the first driving electrode. The first driving electrode includes first and second end extension units(12A,12B) which are extended in a direction crossing the axis and spaced apart from each other.
摘要翻译：提供微振荡器件和微振荡器件阵列，以通过在框架主体中包括第四屏蔽电极单元来防止电场泄漏。微振荡装置包括框架（21），振荡单元（10），一对连接单元（22）和第二驱动电极（23）。振荡单元包括用于提供参考电位的第一驱动电极（12）。一对连接单元通过连接框架和振荡单元来限定振荡单元的振荡操作的轴。第二驱动电极通过与第一驱动电极配合而固定在框架上以产生振荡操作的驱动力。第一驱动电极包括在与轴线交叉的方向上延伸并且彼此间隔开的第一和第二端部延伸单元（12A，12B）。

6. 发明公开

KR1020080021506A 마이크로 요동 소자 有权
标题翻译：微型装置
公开(公告)号：KR1020080021506A
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020070083196
申请日：2007-08-20
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 쯔보이오사무 , 고오마노리나오 , 소네다히로미쯔 , 오꾸다히사오
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： H02N1/008
摘要： A micro-vibrating device is provided to adjust a natural frequency of a vibrator by electrically controlling a twist spring constant of a beam coupler. A micro-vibrating device includes a vibrator(110), a frame(120), and a coupler(130). The coupler couples the vibrator with the frame and defines a vibration axis for a vibrating movement of the vibrator with respect to the frame. The vibrator includes a main vibrating unit and a spindle unit, which is attached to the main vibrating unit. The spindle unit is moved in a direction crossing the vibration axis. The vibrator includes support base units(113A,113B) and support beams(114A,114B). The support base units are fixed on the main vibrating units. The support beams couple the support base unit with the spindle unit.
摘要翻译：提供微振动装置以通过电控制光束耦合器的扭曲弹簧常数来调节振动器的固有频率。微振动装置包括振动器（110），框架（120）和耦合器（130）。耦合器将振动器与框架耦合，并且限定振动轴线用于振动器相对于框架的振动运动。振动器包括主振动单元和主轴单元，其连接到主振动单元。主轴单元沿与振动轴交叉的方向移动。振动器包括支撑基座单元（113A，113B）和支撑梁（114A，114B）。支撑基座单元固定在主振动单元上。支撑梁将支撑基座单元与主轴单元联接。

7. 发明公开

KR1020050062602A 토션 바아를 구비하는 마이크로 가동 소자 有权
标题翻译：微型移动元件包含扭力杆
公开(公告)号：KR1020050062602A
公开(公告)日：2005-06-23
申请号：KR1020057006040
申请日：2002-10-10
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 쯔보이오사무 , 미즈노요시히로 , 우에다사또시 , 사와끼입뻬이 , 오꾸다히사오 , 야마기시후미오 , 소네다히로미쯔 , 고오우마노리나오
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0083 , G02B26/085 , H02N1/008
摘要： A micro moving element (X1) comprises a moving section (111), frame (112), which are integrally molded in a material substrate having a laminate structure comprising conductor layers (110a-110c) including a core conductor layer (110b) and insulation layers (110d, 110e) interposed between the conductor layers (110a-110c), and a coupling section (113) that couples them. The moving section (111) includes a first structure derived from the core conductor layer (110b). The frame (112) includes a second structure derived from the core conductor layer (110b). The coupling section (113) includes torsion bars (113a, 113b) derived from the core conductor layer (110b), continuously connected to the first and second structures, and electrically separated from each other.
摘要翻译：微型移动元件（X1）包括移动部分（111），框架（112），其一体地模制在具有包括导体层（110a-110c）的材料基板上，该导体层包括芯导体层（110b）和绝缘层介于导体层（110a-110c）之间的层（110d，110e）和耦合部分（113）。移动部分（111）包括从芯导体层（110b）衍生的第一结构。框架（112）包括衍生自芯导体层（110b）的第二结构。耦合部分（113）包括衍生自芯体导体层（110b）的扭杆（113a，113b），连续地连接到第一和第二结构，并彼此电分离。

8. 发明授权

KR100923846B1 마이크로 미러 소자 失效
标题翻译： MICROMIRROR元素
公开(公告)号：KR100923846B1
公开(公告)日：2009-10-27
申请号：KR1020030002605
申请日：2003-01-15
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 소네다히로미쯔 , 우에다사또시 , 오꾸다히사오 , 사와끼잇뻬이 , 쯔보이오사무 , 미즈노요시히로 , 고오마노리나오 , 나까무라요시따까 , 야마기시후미오
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要： 본 발명의 과제는 미러면 수의 증가에 수반하는 소자의 대형화를 억제 가능한 마이크로 미러 소자를 제공하는 것이다.
마이크로 미러 소자(X1)에 있어서, 프레임부(130)와, 미러부를 갖는 가동부(110, 120)와, 프레임부(130) 및 가동부(110, 120)를 연결하는 토션 바아(150)가 형성되어 있는 마이크로 미러 기판(100)과, 배선 패턴(210)이 형성되어 있는 배선 기판(200)과, 마이크로 미러 기판(100) 및 배선 기판(200)을 이격시키면서 프레임부(130) 및 배선 패턴(210)을 전기적으로 접속하기 위한 도전 스페이서(300)를 구비하는 것으로 한다.
미러 소자, 프레임부, 가동부, 배선 패턴, 배선 기판, 도전 스페이스

9. 发明公开

KR1020030095191A 마이크로 미러 소자 및 그 제조 방법 无效
标题翻译：微镜器件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020030095191A
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020030001524
申请日：2003-01-10
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 미즈노요시히로 , 우에다사또시 , 쯔보이오사무 , 사와끼잇뻬이 , 오꾸다히사오 , 고오마노리나오 , 소네다히로미쯔 , 야마기시후미오
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
摘要： 본 발명의 과제는 제조에 이용하는 웨이퍼의 평면 사이즈에 대한 제한을 저감 가능한 마이크로 미러 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다.
재료 기판으로 일체적으로 성형된 미러부(111)를 갖는 가동부(110, 120)와, 프레임부(130)와, 상기 프레임부(130) 및 가동부(110, 120)를 연결하는 토션 바아(150)를 구비하는 마이크로 미러 소자(X1)에 있어서, 프레임부(130)는 가동부(110, 120)보다도 두꺼운 부위를 갖는 것으로 한다.

10. 发明公开

KR1020130060115A 전자 디바이스와 그 제조 방법 有权
标题翻译：电气设备及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130060115A
公开(公告)日：2013-06-07
申请号：KR1020120113177
申请日：2012-10-11
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 나까따니다다시 , 오꾸다히사오 , 가쯔끼다까시
IPC分类号： B81B3/00 , H01H57/00 , H01L41/09
CPC分类号： B81B3/0067 , B81B3/0021 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01L41/0805 , H01L41/0933
摘要： PURPOSE: An electronic device and a manufacturing method thereof are provided to enable to make a conductive pattern shorter in comparison with a case that a bridge electrode is not existed as signals flowing in the conductive pattern can be leaded to outside. CONSTITUTION: An electronic device(30) comprises a base(31), a beam, a conductive pattern(40), a contact electrode(47), and a bridge electrode(45). A part of a silhouette of the beam is defined by a slit formed in the base so that the beam can be transformed elastically and upwardly. The conductive pattern is installed on the top surface of the beam. The contact electrode is installed in the upper part of the conductive pattern and in contact with the same. The bridge electrode connects the conductive pattern and the base in an outer side of the silhouette. The bridge electrode is formed to be elastically transformed.
摘要翻译：目的：提供一种电子器件及其制造方法，与不存在桥接电极的情况相比，可以使导电图案更短，因为在导电图案中流动的信号可以导向外部。构成：电子设备（30）包括基座（31），梁，导电图案（40），接触电极（47）和桥接电极（45）。梁的轮廓的一部分由形成在基部中的狭缝限定，使得梁可以弹性地向上变形。导电图案安装在梁的顶表面上。接触电极安装在导电图案的上部并与其接触。桥电极将导电图案和基座连接在轮廓的外侧。桥电极形成为弹性变形。

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