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1. 发明授权

KR101659638B1 층상형 MEMS 구조 및 그 방법 有权
标题翻译： MEMS层状MEMS结构及其方法
公开(公告)号：KR101659638B1
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020117014438
申请日：2009-12-23
申请人： 사일렉스 마이크로시스템스 에이비
发明人： 에베포르스토르비외른 , 켈베스텐에드바르드 , 오그렌페테르 , 스베딘니클라스 , 에릭손토마스
IPC分类号： H01L23/522 , B81B7/00
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2207/092 , B81B2207/095 , G02B6/3518 , G02B6/3584 , G02B26/0841 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
摘要： 본발명은도전성층들사이에절연층들을가진적어도 3 개의교호의전기적도전성층들을포함하는, 층상형마이크로전자및/또는마이크로기계구조에관한것이다. 또한, 제 1 외부층 내의비아로서, 상기비아는층을통하여웨이퍼네이티브재료로이루어진절연된도전성접속을포함하는, 상기제 1 외부층 내의비아, 상기외부층들을통하여, 제 1 외부층 내의비아로, 상기층들을통한도전성을제공하기위해연장되는전기적도전성플러그, 및상기다른층들중 적어도하나의선택된층 내의도전성플러그를, 상기선택된층 내의재료로부터플러그를절연시키기위해둘러싸는절연인클로저가제공되어있다. 본발명은, 적어도하나의방향으로이동가능하도록공동위에이동가능부재가제공되어있는마이크로전자및/또는마이크로기계디바이스에관한것이다. 이디바이스는본 발명에따른층상형구조를갖는다. 이러한층상형 MEMS 구조를제작하는방법이또한제공된다.

2. 发明公开

KR1020060010421A 구동각도 향상을 위한 공간형 이중 콤전극 구조 및 이를이용한 마이크로 스캐너 无效
标题翻译：具有间距的双组合电极结构，用于增加米雷克扫描仪的驱动角度和采用相同的微型扫描仪
公开(公告)号：KR1020060010421A
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：KR1020040059114
申请日：2004-07-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고영철 , 조진우 , 정현구
IPC分类号： G02B26/10 , G02B26/08
CPC分类号： G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , G02B26/0841
摘要： 본 발명은 MEMS(Micro-electro-mechanical system) 구조에 의해 제공된 미소거울의 구동각도를 향상시킨 공간형 이중 콤전극 구조 및 이를 이용한 마이크로 스캐너를 개시한다. 본 발명에 따른 공간형 이중 콤전극 구조는, 광을 반사시키는 미러부; 상기 미러부의 양측면에 돌출하여 형성된 다수의 구동콤전극; 및 상기 미러부의 양측면에 형성된 다수의 구동콤전극과 상호 교번하도록, 상기 구동콤전극의 상부와 하부에 각각 형성된 다수의 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극;을 포함하며, 여기서, 상기 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극의 구동콤전극과의 간격이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
이중 콤전극, 구동콤전극, 고정콤전극, 마이크로 스캐너, 마이크로 액추에이터, MEMS(Micro-electro-mechanical system)

3. 发明授权

KR100485421B1 광스위치 失效
标题翻译：光开关
公开(公告)号：KR100485421B1
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：KR1020030029304
申请日：2003-05-09
申请人： 닛뽄 고쿠 덴시 고교 가부시키가이샤
发明人： 가토요시치카
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B6/357 , B81B3/001 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3584 , G02B6/3636 , G02B6/3692
摘要： 전극간 거리를 원하는 거리로 용이하게 설정할 수 있고, 또, 고정전극 형성면에 스티킹 방지용의 돌기나 전극패턴 등의 형성이 용이한 광스위치를 제공한다. 절연체층의 상면에 두꺼운 단결정 실리콘층이, 이 절연체층의 저면에 얇은 단결정 실리콘층이 형성되어 있는 상부기판을 준비하고, 상기 얇은 단결정 실리콘층에 가동전극판, 및 이 가동전극판을 수직방향으로 변위가능하게 지지하는 복수개의 가요성의 빔형상 부재를 형성하고, 상기 두꺼운 단결정 실리콘층의 표면에 에칭에 의해 복수개의 광파이버 고정용 홈을 형성하는 동시에, 상기 가동전극판으로부터 직립하는 복수개의 마이크로 미러를 형성한다. 이 상부기판을, 고정전극기판의 상면에 고정전극을 형성한 하부기판의 상부에 스페이서를 개재하여 부착하고, 상기 고정전극과 상기 얇은 단결정 실리콘층을, 그것들 사이에 소정 간격을 유지하여 대략 평행하게 대향 배치한다.

4. 发明公开

KR1020030074444A 광 스위치 장치 및 그의 제조방법 失效
标题翻译：光开关装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020030074444A
公开(公告)日：2003-09-19
申请号：KR1020030015943
申请日：2003-03-14
申请人： 니폰덴신뎅와 가부시키가이샤
发明人： 이시이히로무 , 다나베야스유키 , 마치다카츠유키 , 우라노마사미 , 시마무라도시시게 , 우에니시유지 , 기요쿠라다카노리
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B6/3584 , B81B3/0043 , B81B2201/042 , B81B2203/0384 , B81B2203/04 , B81C1/00103 , B81C1/00246 , B81C2203/0735 , G02B6/3518 , G02B6/356 , G02B6/357
摘要： 광 스위치 장치는 적어도 광 스위치 소자와 구동제어회로를 포함한다. 광 스위치 소자에서, 고정전극부는 집적회로가 형성되어 있는 반도체 기판상에 절연층을 개재하여 설치된다. 미러구조체가 고정전극부에 대향하여 고정전극부 위에 설치된 판형의 가동부를 가진다. 반사부가 광을 반사시키기 위해 가동부의 적어도 일부에 형성된다. 지지부재가 절연층을 개재하여 반도체 기판상에서 고정전극부 주위에 고정되어서 미러구조체를 지지한다. 구동제어회로가 가동부와 고정전극부에 소정 전위를 인가함으로써 광 스위치 소자를 구동하기 위해 집적회로내에 짜 넣어진다.

5. 发明公开

KR1020020086972A 마이크로미러 액튜에이터 失效
标题翻译： MICRO MIRROR执行器
公开(公告)号：KR1020020086972A
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：KR1020010025984
申请日：2001-05-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 윤용섭 , 민영훈 , 배기덕
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/358 , G02B6/3584
摘要： PURPOSE: A micro mirror actuator is provided, which can drive a micro mirror accurately with a low driving power by comprising a shielding electrode to prevent static electricity from being generated. CONSTITUTION: The micro mirror actuator includes a substrate(100), a trench formed on the substrate, a pair of supporting posts(115) formed on both sides of the trench and a micro mirror(120) rotatable to reflect or transmit a light signal from a light source. A torsion bar(125) is supported by the supporting posts, and is combined to rotate the micro mirror elastically. And a shielding electrode(130) is arranged by facing a part of the micro mirror when the micro mirror is in a horizontal state.
摘要翻译：目的：提供微镜驱动器，通过包括屏蔽电极，可以以低驱动功率精确驱动微镜，防止产生静电。构造：微反射镜致动器包括基板（100），形成在基板上的沟槽，形成在沟槽两侧的一对支撑柱（115）和可反射或透射光信号的微反射镜（120）从光源。扭杆（125）由支撑柱支撑，并被组合以弹性地旋转微镜。并且当微反射镜处于水平状态时，屏蔽电极（130）被布置成面向微镜的一部分。

6. 发明公开

KR1020160015392A 편향가능 구조를 포함하는 디바이스 有权
标题翻译：通过其结构和方法
公开(公告)号：KR1020160015392A
公开(公告)日：2016-02-12
申请号：KR1020167001911
申请日：2009-12-23
申请人： 사일렉스 마이크로시스템스 에이비
发明人： 에베포르스토르비외른 , 켈베스텐에드바르드 , 오그렌페테르 , 스베딘니클라스 , 에릭손토마스
IPC分类号： H01L23/48 , H01L21/768 , G02B26/08 , G02B6/35 , B81B7/00
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2207/092 , B81B2207/095 , G02B6/3518 , G02B6/3584 , G02B26/0841 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
摘要： 본발명은도전성층들사이에절연층들을가진적어도 3 개의교호의전기적도전성층들을포함하는, 층상형마이크로전자및/또는마이크로기계구조에관한것이다. 또한, 제 1 외부층 내의비아로서, 상기비아는층을통하여웨이퍼네이티브재료로이루어진절연된도전성접속을포함하는, 상기제 1 외부층 내의비아, 상기외부층들을통하여, 제 1 외부층 내의비아로, 상기층들을통한도전성을제공하기위해연장되는전기적도전성플러그, 및상기다른층들중 적어도하나의선택된층 내의도전성플러그를, 상기선택된층 내의재료로부터플러그를절연시키기위해둘러싸는절연인클로저가제공되어있다. 본발명은, 적어도하나의방향으로이동가능하도록공동위에이동가능부재가제공되어있는마이크로전자및/또는마이크로기계디바이스에관한것이다. 이디바이스는본 발명에따른층상형구조를갖는다. 이러한층상형 MEMS 구조를제작하는방법이또한제공된다.
摘要翻译：本发明涉及分层的微电子和/或微机械结构，其包括在导电层之间具有绝缘层的至少三个交替的导电层。还提供了在第一外层中的通孔，所述通孔包括由穿过该层的晶片天然材料制成的绝缘导电连接，在第一外层中延伸穿过其它层并进入所述通孔的导电插塞，以便提供通过层的导电性，以及围绕所述其它层的至少一个所选层的所述导电插塞的绝缘外壳，用于使所述插塞与所述选定层中的材料绝缘。它还涉及微电子和/或微机械装置，其包括设置在空腔上方的可动构件，使得其可在至少一个方向上移动。该装置具有根据本发明的分层结构。还提供了制造这种分层MEMS结构的方法。

7. 发明公开

KR1020080010713A 차량용 광통신 스위칭 장치 无效
标题翻译：用于车辆的光通信交换设备
公开(公告)号：KR1020080010713A
公开(公告)日：2008-01-31
申请号：KR1020060071086
申请日：2006-07-28
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 최병식
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B26/0841 , H01H1/36
摘要： An optical communication switch for a vehicle is provided to decrease an overall volume of an optical communication multiplexer by minimizing a size of a control contact point. A mirror(10) reflects optical signals. An anchor(22) fixes an arbitrary structure. One end of a first control contact point(20A) is fixed by the anchor, while the other end thereof is movable. The first control contact point includes plural wings, which are arranged toward a first side of the first control contact point. One end of a second control contact point(20B) is fixed by the anchor, while the other end thereof is movable. The second control contact point includes plural wings, which are arranged toward a second side of the second control contact point. A driving unit includes wings, which are freely mated with the wings in the first or second control contact point. The driving unit is mated with the wings of the first or second control contact point according to a magnitude of the voltage, which is applied on the first or second control contact point.
摘要翻译：提供了一种用于车辆的光通信开关，以通过使控制接触点的尺寸最小化来减小光通信多路复用器的总体积。反射镜（10）反射光信号。锚（22）固定任意结构。第一控制接触点（20A）的一端由锚固定，而其另一端是可移动的。第一控制接触点包括朝向第一控制接触点的第一侧布置的多个翼。第二控制接触点（20B）的一端由锚固定，而其另一端是可移动的。第二控制接触点包括朝向第二控制接触点的第二侧布置的多个翼。驱动单元包括与第一或第二控制接触点中的翼部自由配合的翼。驱动单元根据施加在第一或第二控制触点上的电压的大小与第一或第二控制触点的机翼相配合。

8. 发明授权

KR100767055B1 복수개의 광학 모듈 블록을 포함하는, 사건이나 사물을관찰하기 위한 광학 모듈 有权
标题翻译：用于观察事件或对象的光学模块，包括多个模块模块
公开(公告)号：KR100767055B1
公开(公告)日：2007-10-15
申请号：KR1020070011749
申请日：2007-02-05
申请人： 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 박재형 , 박일흥 , 박용선 , 이직 , 남신우
IPC分类号： G02B17/02 , G02B27/00
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B6/3518 , G02B17/0621 , G02B26/0841
摘要： An optical module for observing an event or an object, having a plurality of optical module blocks is provided to efficiently observe the event or object by having at least one second mirror for observing the event or object, which is detected by a first mirror, with a high resolution. An optical module for observing an event or object includes first and second optical module blocks. In the first optical module block, a first mirror(112) has a wide field of view, and observes the event or object in a wide observation region. At least one second mirror(113) has a longer focus distance than the first mirror(112), and observes the event or object, which is detected by the first mirror(112) with a high resolution. A first optical signal detection unit(114) detects an optical signal from the signal which is transmitted by the first mirror(112) or the at least one second mirror(113). A first body(116) has the first mirror(112), the at least one second mirror(113), and the first optical signal detection unit(114). The first body(116) has apertures for the first mirror(112) and the second mirror(113), and provides an optical path from the first mirror(112) or the second mirror(113) to the first optical signal detection unit(114). In the second optical module bock, a third mirror(122) has a wide field of view, and observes an event or an object in a wide observation region. At least one fourth mirror(123) has a longer focus distance than the third mirror(122), and observes the event or object, which is detected by the third mirror(122) with a high resolution. A second optical signal detection unit(124) detects an optical signal from the signal which is transmitted by the third mirror(122) or the at least one fourth mirror(123). A second body(126) has the third mirror(122), the at least one fourth mirror(123), and the second optical signal detection unit(124). The second body(126) has apertures for the third mirror(122) and the fourth mirror(123), and provides an optical path from the third mirror(122) or the fourth mirror(123) to the second optical signal detection unit(124).
摘要翻译：提供了一种用于观察事件或物体的光学模块，具有多个光学模块块，以通过具有至少一个用于观察第一反射镜检测到的事件或物体的第二反射镜来有效地观察事件或物体，高分辨率。用于观察事件或物体的光学模块包括第一和第二光学模块块。在第一光学模块块中，第一反射镜（112）具有宽视野，并且在宽观察区域中观察事件或物体。至少一个第二反射镜（113）具有比第一反射镜（112）更长的焦距，并观察由第一反射镜（112）以高分辨率检测的事件或物体。第一光信号检测单元（114）根据由第一反射镜（112）或至少一个第二反射镜（113）传输的信号检测光信号。第一主体（116）具有第一反射镜（112），至少一个第二反射镜（113）和第一光信号检测单元（114）。第一主体（116）具有用于第一反射镜（112）和第二反射镜（113）的孔，并且提供从第一反射镜（112）或第二反射镜（113）到第一光信号检测单元 114）。在第二光学模块块中，第三反射镜（122）具有宽视场，并观察宽观察区域中的事件或物体。至少第四镜（123）具有比第三镜（122）更长的对焦距离，并观察由第三镜（122）以高分辨率检测的事件或物体。第二光信号检测单元（124）根据由第三反射镜（122）或至少一个第四镜（123）发射的信号检测光信号。第二主体（126）具有第三反射镜（122），至少一个第四反射镜（123）和第二光信号检测单元（124）。第二主体（126）具有用于第三反射镜（122）和第四反射镜（123）的孔，并且提供从第三反射镜（122）或第四反射镜（123）到第二光信号检测单元 124）。

9. 发明公开

KR1020060026001A ＭＥＭＳ 구조 및 ＭＥＭＳ 구조 제어 방법 无效
标题翻译：具有可调自然频率的MEMS扫描镜
公开(公告)号：KR1020060026001A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：KR1020057009119
申请日：2003-11-10
申请人： 어드밴스드 누마이크로 시스템즈 인코포레이티드
发明人： 푸위-청 , 쿠오팅-퉁
IPC分类号： B81B7/02 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B6/3518 , G02B6/357 , G02B26/101
摘要： In one embodiment of the invention, a MEMS structure includes a first electrode, a second electrode, and a mobile element. The first electrode is coupled to a first voltage source. The second electrode is coupled to a second voltage source. The mobile element includes a third electrode coupled to a third voltage source. A steady voltage difference between the first electrode and the third electrode is used to tune the natural frequency of the structure to a scanning frequency of an application. An oscillating voltage difference between the second electrode and the third electrode at the scanning frequency of the application is used to oscillate the mobile element. In one embodiment, the mobile unit is a mirror.
摘要翻译：在本发明的一个实施例中，MEMS结构包括第一电极，第二电极和移动元件。第一电极耦合到第一电压源。第二电极耦合到第二电压源。移动元件包括耦合到第三电压源的第三电极。使用第一电极和第三电极之间的稳定的电压差来将结构的固有频率调谐到应用的扫描频率。使用在应用的扫描频率下的第二电极和第三电极之间的振荡电压差来振荡移动元件。在一个实施例中，移动单元是镜子。

10. 发明授权

KR100559117B1 정전구동 디바이스 및 그 구동 방법 失效
标题翻译：静电设备及其驱动方法
公开(公告)号：KR100559117B1
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：KR1020030017107
申请日：2003-03-19
申请人： 닛뽄 고쿠 덴시 고교 가부시키가이샤
发明人： 노리마츠도시히데
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： G02B6/357 , B81C3/00 , G02B6/266 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/355 , G02B6/3552 , G02B6/3584 , G02B6/3594 , G02B26/0841
摘要： 가동전극판의 저면측 및 상면측에 각각 고정전극기판 및 제 2 고정전극판을 거의 평행하게 배치한 정전구동 디바이스에 있어서, 제 2 고정전극판에도 고정전극기판에도 구동전압이 인가되지 않을 때에는, 가동전극판을 고정전극기판 및 제 2 고정전극판으로부터 각각 소정 거리 떨어진 위치에 유지하고, 동작시에, 제 2 고정전극판, 또는 하측 고정전극기판에 풀인전압 이상의 또는 풀인전압 미만의 구동전압을 인가하여 가동전극판을 제 2 고정전극판측으로, 또는 고정전극기판측으로 정전구동한다.
가동전극판, 고정전극판, 고정전극기판, 구동전압, 풀인전압, 앵커부

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