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1. 发明公开

KR1020150141893A 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译： IMPRINT APPARATUS，IMPRINT METHOD，AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
公开(公告)号：KR1020150141893A
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：KR1020150081090
申请日：2015-06-09
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 야마구치히로미츠 , 미야지마요시카즈
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/16
CPC分类号： G03F7/0002
摘要： 본발명은몰드를사용해서기판상에임프린트재의패턴을형성하는임프린트장치로서, 복수의오리피스를포함하며, 각오리피스로부터상기임프린트재를토출함으로써상기기판상에상기임프린트재를공급하도록구성된공급유닛, 및상기임프린트재의, 상기기판상에서의배치를나타내는배치정보에따라각 오리피스로부터의상기임프린트재의토출을제어하도록구성된제어유닛을포함하고, 상기제어유닛은, 각오리피스로부터 1회의토출에서토출되는임프린트재의이상체적과상기공급유닛으로부터상기기판상에공급되는임프린트재의토출수와의곱이상기배치정보에따라상기기판상에실제로공급되는상기임프린트재의총량에근접하도록상기배치정보를갱신하는, 임프린트장치를제공한다.
摘要翻译：压印装置技术领域本发明涉及一种压印装置，其使用模具在基板上形成压印材料的图案，包括：供给单元，其包括多个孔，并且构造成通过从每个孔排出压印材料而将压印材料供给到基板上孔; 以及控制单元，其被配置为根据表示印刷材料在基板上的布置的配置信息来控制来自每个孔口的压印材料的放电，其中控制单元更新布置信息以使产品的理想体积为根据配置信息，一次性排出中从每个孔排出的压印材料和从供给单元供应到基板上的压印材料的排出量更接近实际供应到基板上的压印材料的总量。

2. 发明公开

KR1020150001630A 몰드 有权
标题翻译：模子
公开(公告)号：KR1020150001630A
公开(公告)日：2015-01-06
申请号：KR1020140074106
申请日：2014-06-18
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 미야지마요시카즈 , 스즈키아키요시 , 이와나가다케히코
IPC分类号： B29C59/02 , G03F7/00 , B29C33/42 , B29C33/38
CPC分类号： G03F7/0002 , G03F7/20 , G03F7/2002 , G03F7/2012 , G03F7/70825 , B29C59/02 , B29C33/38 , B29C33/42 , B29C2059/023 , B81C99/00 , H01L21/027 , H01L21/30
摘要： 본 발명은, 기판에 도포된 수지에 임프린트 처리를 실시하여 전사되는 패턴을 포함하는 몰드를 제공하며, 상기 몰드는 상기 패턴이 형성된 패턴부와 상기 패턴부를 둘러싸는 주변부를 포함하는 제1 면과, 상기 제1 면의 반대측의 제2 면을 포함하는 제1 부분과; 상기 제1 부분을 둘러싸며 상기 제1 부분보다 두꺼운 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 부분의 상기 제2 면과 상기 제2 부분의 내면에 의해 오목부가 형성되며, 상기 오목부에는 상기 주변부의 반대측 영역에 차광부가 설치된다.
摘要翻译：提供一种模具，其包括通过在涂覆在基板上的树脂上实施压印处理而转印的图案。模具包括：第一部分，包括第一表面，第一表面包含形成图案的图案单元和围绕图案单元的周边单元，以及与第一表面相对的第二表面; 以及包围第一部分并且比第一部分更厚的第二部分。凹部由第一部分的第二表面和第二部分的内表面形成，并且阴影单元安装在凹形单元中的周边单元的相对区域上。

3. 发明公开

KR1020160130802A 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 审中-实审
标题翻译：印刷装置和制品制造方法
公开(公告)号：KR1020160130802A
公开(公告)日：2016-11-14
申请号：KR1020167027296
申请日：2015-04-07
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 최병진 , 체랄라안슈만 , 예젱마오 , 루시아오밍 , 루오강 , 가와하라노부토 , 미야지마요시카즈
IPC分类号： G03F7/00 , B29C43/02 , B29C43/32 , B29C43/36
CPC分类号： B29C43/58 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/3222 , B29C2043/3652 , B29C2043/5866 , G03F7/0002
摘要： 기판에도포된수지를몰드와접촉시켜기판상에패턴형성을행하는임프린트장치가제공된다. 임프린트장치는, 기판을보유지지하는기판보유지지유닛을포함하고, 기판보유지지유닛은미리결정된방향으로배열되는복수의보유지지영역을포함하고, 복수의보유지지영역은상기방향에있어서의위치에따라각각상기방향에있어서상이한폭 치수를갖고, 복수의보유지지영역중 각각상이한폭 치수를갖는 2개의보유지지영역사이의면적비가 0.8 내지 1.2의범위내에있다.
摘要翻译：提供了一种用于使施加到基板上的树脂与模具接触以在基板上进行图案化的压印装置。压印装置包括用于保持基板的基板保持单元，其中基板保持单元包括沿预定方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别沿着方向上的位置在该方向上具有不同的宽度尺寸，具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面比分别在0.8至1.2的范围内。

4. 发明公开

KR1020160100842A 리소그래피 장치, 리소그래피 방법, 프로그램, 리소그래피 시스템 및 물품 제조 방법 审中-实审
标题翻译：算术设备，算术方法，程序，平移系统和文章制作方法
公开(公告)号：KR1020160100842A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：KR1020160016917
申请日：2016-02-15
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 미야지마요시카즈 , 나카노히토시
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/20 , G03F9/00 , G03F1/20
摘要： 리소그래피장치는, 1개의로트에속하는복수의기판에각각패턴형성을행하도록구성되는복수의처리유닛, 및복수의기판중 하나를특정하는특정정보에기초하여, 복수의기판중 하나를처리하는복수의처리유닛중 하나의결정을행하고, 복수의처리유닛에의해복수의기판에병행하여각각패턴형성이행해지도록, 로트에대응하는레시피정보에기초하여, 복수의처리유닛을제어하도록구성되는컨트롤러를포함한다.
摘要翻译：光刻设备包括：多个处理单元，被配置为在属于一批的多个基板上单独形成图案; 以及控制器，被配置为基于指定所述多个基板中的一个的特定信息来执行处理所述多个基板中的一个的所述多个处理单元中的一个的确定，并且基于对应的配方信息来控制所述多个处理单元以使多个基板与多个处理单元并联地形成在多个基板上。

5. 发明授权

KR100471630B1 리니어모터 및 그를 이용한 노광장치 失效
标题翻译：线性电动机和曝光装置使用它
公开(公告)号：KR100471630B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020010077314
申请日：2001-12-07
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 에모토케이지 , 오우츠카카즈히토 , 미야지마요시카즈
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70758 , H02K3/47 , H02K41/031
摘要： 노광장치를 구성하는 몇몇의 리니어모터는, 다층구조에서 코어부재둘레에 절연층을 가진 박편형상의 도체인 구리박와이어를 권선함으로써 각각 얻은 코일을 가진다. 코일은, 코일부재를 사용함으로써 리니어모터의 코일고정부로서 기능하는 위치결정부에 고정된다. 코어부재는, 리니어모터하우징의 위치결정부의 재료와 같이 낮은 열전도율을 가진 동일한 절연재료나 또는 거의 동일한 선팽창계수를 가진 재료로 형성된다.

6. 发明公开

KR1020160100255A 몰드, 임프린트 장치, 및 물품 제조 방법 审中-实审
标题翻译：模具，印刷装置和制造方法
公开(公告)号：KR1020160100255A
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020160016204
申请日：2016-02-12
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 최병진 , 가나파시스브라마니안마하데반 , 무라사토나오키 , 미야지마요시카즈
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/56 , H01L21/67 , G03F9/00
CPC分类号： G03F7/0002
摘要： 몰드는패턴이형성되는패턴부, 및오목부를포함하고, 오목부는패턴부의이면에형성되며평면에서볼 때패턴부를포함하는크기를갖는다. 패턴부의에지는평면에서볼 때대략직사각형형상을갖는다. 오목부는평면에서볼 때 4개의둥근모서리를갖는대략직사각형형상을갖는다. 패턴부의에지의변의각 지점으로부터오목부의에지까지의최단거리는일정하다.
摘要翻译：模具包括其中形成图案的图案部分和凹部。凹部形成在图案部的背面，具有从平面方向形成的图案部的尺寸。图案部分的边缘大致具有矩形的形状。凹部近似具有从平面方向具有四个圆角的矩形的形状。从图案部分的边缘的一侧的每个点到凹部的边缘的最短距离是恒定的。该模具具有减少图案中的缺陷和提高生产率的优点。

7. 发明公开

KR1020150002527A 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：印刷方法，印刷装置和制造装置的方法
公开(公告)号：KR1020150002527A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：KR1020140079684
申请日：2014-06-27
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 미야지마요시카즈 , 다카바야시유키오 , 슈도신이치
IPC分类号： G03F7/00 , B29C59/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C43/58 , B29C59/002 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 본 발명의, 몰드를 이용하여 기판 상의 복수의 샷 영역에 공급된 임프린트 재료에 패턴을 전사시키는 임프린트 방법은, 상기 복수의 샷 영역이 상기 몰드의 패턴의 일부가 형성될 수 있는 부분 샷 영역을 포함하고, 상기 부분 샷 영역에 공급된 임프린트 재료와 상기 몰드를 접촉시켜서 상기 몰드의 패턴을 기판 상에 전사시키는 방식으로, 상기 몰드의 패턴에 부착된 이물질을 제거하는 단계와, 상기 이물질을 제거하는 단계에서 이용된 상기 몰드를 이용하여, 상기 복수의 샷 영역 중 상기 부분 샷 영역 이외의 샷 영역에 패턴을 전사시키는 단계를 포함한다.
摘要翻译：提供了一种印刷方法，用于通过使用模具将图案转印到提供给基板上的多个拍摄区域的压印材料上，其中拍摄区域包括其中模具的图案的一部分可以是部分拍摄区域并且所提供的压印材料在部分注射区域中与模具接触，使得模具的图案被转印到基底上。压印方法包括去除附着在模具图案上的异物; 并且通过使用用于除去异物的模具将图案转印到拍摄区域之外的除了拍摄区域之外的拍摄区域。

8. 发明公开

KR1020060052089A 위치결정장치, 노광장치 및 디바이스 제조방법 有权
标题翻译：定位装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020060052089A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050094180
申请日：2005-10-07
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 니시무라나오스케 , 미야지마요시카즈 , 타나카히데오 , 사사키야스히토 , 니시다토시히코
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
摘要： 본 발명은, 2개의 스테이지를 가지는 위치결정장치의 대형화나 정밀도 열악화의 억제에 매우 적합한 반력상쇄기술을 제공한다. 위치결정장치(100)는, 정반(10)과, 정반(10) 위에서 구동되는 제 1의 스테이지(18), 제 2의 스테이지(19)와, 제 1의 스테이지(18), 제 2의 스테이지(19)의 구동에 수반하는 반력을 상쇄하는 제 1의 반력상쇄기구와, 제 1의 스테이지(18), 제 2의 스테이지(19)의 구동에 수반하는 반력을 상쇄하는 제 2의 반력상쇄기구를 구비한다. 제 1의 처리를 위해서 제 1의 스테이지(18), 제 2의 스테이지(19)가 구동되고 있을 경우에 제 1, 제 2의 반력상쇄기구 중 제 1의 반력상쇄기구가 동작되고, 제 2의 처리를 위해서 제 1의 스테이지(18), 제 2의 스테이지(19)가 구동되고 있을 경우에 제 1, 제 2의 반력상쇄기구 중 적어도 제 2의 반력상쇄기구가 동작되는 것을 특징으로 한 것이다.

9. 发明公开

KR1020050022016A 반사미러장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 有权
标题翻译：反射镜装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020050022016A
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020047021039
申请日：2003-06-19
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 미야지마요시카즈
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G21K1/06 , G02B7/1815 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G03F7/70233 , G03F7/70891 , G21K2201/065 , G21K2201/067 , G03F7/2041
摘要： 반사에 의해 노광광을 도입함으로써 노광처리를 행하는 노광장치의 반사광학계에 사용되는 반사미러장치는, 상기 노광광을 반사하는 반사면을 가진 미러와, 이 미러의 외표면으로부터 이간된 위치에 배치되는 복사냉각을 위한 복사판을 가진다. 상기 복사판은 미러의 반사면에 대해서 입사하고, 반사하는 노광광을 위한 통과영역을 확보하도록 배치된다. 또한, 각 복사판은 냉각관을 통하여 흐르는 냉각액에 의해 온도제어된다. 따라서 노광장치의 반사광학계에 사용되는 미러의 온도상승을 억제할 수 있어, 미러반사면의 면형상의 정밀도를 유지할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020020046190A 리니어모터 및 그를 이용한 노광장치 失效
标题翻译：线性电机和对准器使用它
公开(公告)号：KR1020020046190A
公开(公告)日：2002-06-20
申请号：KR1020010077314
申请日：2001-12-07
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 에모토케이지 , 오우츠카카즈히토 , 미야지마요시카즈
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70758 , H02K3/47 , H02K41/031
摘要： PURPOSE: To improve positioning accuracy for fixing a coil, workability in assembling the coil on a linear motor casing, exposure speed, and reliability. CONSTITUTION: At least some of a plurality of linear motors constituting an aligner are provided with the coil 16 formed by winding copper foil wire 53 as a foil conductor having an insulating layer around a core member 51 so as to be laminated. The coil 16 is fixed on a positioning section 54 as a coil fixing section of the linear motor using the core member 51. The core member 51 having high insulating properties and low thermal conductivity is constituted of the same material as that of the positioning section 54 of the linear motor casing 55 or a material having the same level of coefficient of linear expansion as that of the material.
摘要翻译：目的：提高固定线圈的定位精度，将线圈组装在线性电机外壳上的可操作性，曝光速度和可靠性。构成：构成对准器的多个线性电动机中的至少一些设置有线圈16，该线圈16通过将铜箔线53卷绕成具有围绕芯构件51的绝缘层的箔导体层叠而形成。线圈16被固定在作为直线电动机的线圈固定部的定位部54上，使用芯部件51.具有高绝缘性和低导热性的芯构件51由与定位部54相同的材料构成的线性电动机壳体55或具有与材料的线性膨胀系数相同水平的材料。

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