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1. 发明授权

KR100787908B1 예비 토출 장치와 이를 포함하는 기판 코팅 장치 및 기판 코팅 방법 有权
标题翻译：具有预扩展单元的涂料和涂料方法
公开(公告)号：KR100787908B1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：KR1020060071252
申请日：2006-07-28
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 권오경 , 유용근 , 이동성
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70808 , B05B1/005 , B05C11/1002 , H01L21/6715
摘要： A pre-spreading unit, a substrate coating device having the same, and a substrate coating method are provided to improve uniformity of thickness of a leading end and end of a substrate by discharging continuously without stopping a slit nozzle. A pair of sheet transfer part(130) is located to be faced toward an axis direction. A sheet(310) is formed to be transferred according to the rotation of the sheet transfer part. The sheet is constituted to fill the substrate partially. A stage part(200) is installed to mount a substrate. A pre-spreading unit(300a,300b) is formed at least one side of the stage part. A nozzle part(100) sprays coating liquids on the substrate.
摘要翻译：提供预扩展单元，具有该预扩展单元的基板涂覆装置和基板涂布方法，以通过连续排放而不停止狭缝喷嘴来改善基板的前端和端部的厚度的均匀性。一对片材传送部件（130）被定位成面向轴线方向。根据片材转印部件的旋转，形成片材（310）被转印。片材构成为部分填充衬底。安装台架部件（200）以安装基板。在舞台部分的至少一侧形成预扩展单元（300a，300b）。喷嘴部分（100）喷涂基材上的液体。

2. 发明公开

KR1020060070340A 기판 처리장치 및 방법 无效
标题翻译：装置和处理基板的方法
公开(公告)号：KR1020060070340A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020040109047
申请日：2004-12-20
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 유용근 , 권오경 , 김진옥
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은 기판 처리장치 및 방법에 관한 것으로, 기판이 재치되는 로딩/언로딩부; 상기 기판을 상기 로딩/언로딩부로부터 일측방향으로 이송시키는 상단 이송유닛; 상기 상단 이송유닛을 통해 이송된 상기 기판을 전송받도록 수직방향으로 승ㆍ하강되는 승강부; 상기 승강부로부터 이송된 기판을 전송받아 타측 방향으로 이송시키는 하단 이송컨베이어; 및 상기 하단 이송컨베이어를 통해 이송되는 기판을 처리하는 처리부를 구비하며, 상기 로딩/언로딩부는 상기 하단 이송컨베이어를 통해 처리부로부터 이송되는 기판을 언로딩시키도록 구성되어, 클린룸의 이용효율을 향상시킴은 물론, 클린룸의 설비비 및 유지보수 비용을 절감할 수 있도록 된 것이다.

기판, 처리, 컨베이어, 세정, 건조, 로딩, 언로딩, 승강, 로보트부, 버퍼부

3. 发明公开

KR1020060027597A 기판세정장치 및 기판세정방법 无效
标题翻译：基板清洁系统和清洁基板的方法
公开(公告)号：KR1020060027597A
公开(公告)日：2006-03-28
申请号：KR1020040076461
申请日：2004-09-23
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 유용근 , 이재성 , 권오경 , 윤영호 , 박진태
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67051 , H01L21/67034 , H01L21/67706
摘要： 본 발명은 기판의 표면에 습식 세정을 수행하고 이어서 기판의 주면에 부착된 세정액을 제거하는 기판세정장치 및 기판세정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본 발명은 기판을 경사지게 로딩하고 경사진 상태의 기판 상에 세정액 처리를 수행한 다음 세정액 처리된 기판을 경사지게 이송 내지는 반송하면서 에어나이프를 통해 건조하도록 된 기판세정장치 및 기판세정방법을 제공함으로써, 기판의 사이즈가 증가하여 대면적화될 경우에도 세정액이 기판의 표면에 국부적으로 고이게 되는 현상을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 클린룸 내에서 기판의 이송 및 반송 경로가 차지하는 공간을 축소시킬 수 있게 된다. 또한, 본 발명은 액제거챔버 내에 상·하 격벽을 추가로 설치한 구조를 제공함으로써, 에어나이프를 통한 기판 건조과정에서 상기 격벽을 중심으로 전방측에 떠돌아다니는 미스트가 에어나이프의 후방측으로 침입하는 것을 차단할 수 있으며, 그로 인해 최종적으로 세정과 건조가 모두 끝난 기판의 표면상에 미스트가 부착되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
기판세정장치, 경사이송, 에어나이프, 세정액, 기판, 노즐, 액제거챔버, 반송로울러

4. 发明授权

KR100795548B1 노즐 세정 장치 및 이를 포함하는 슬릿 코터 有权
标题翻译：喷嘴清洁装置及其包装盒
公开(公告)号：KR100795548B1
公开(公告)日：2008-01-21
申请号：KR1020060067909
申请日：2006-07-20
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 권오경 , 윤철남 , 유용근 , 이동성
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： B41J2/165 , G02F1/1303
摘要： A nozzle cleaning apparatus and a slit coater including the same are provided to remove impurities attached to an outlet of a slit nozzle through a non-contact method, thereby removing the necessity for stopping a coating work process for component replacement and accordingly helping maintenance. In a main body(350), a groove(352) recessed from an upside of the main body and having inner walls and bottom is formed. An ejector(358) ejects sublimated solid particles towards an outlet of a nozzle formed in the inner wall of the groove. A discharge pipe is formed in the bottom of the groove and connected with the outside of the main body so as to discharge the cleaned sublimated solid particles. A vacuum pump is connected to the discharge pipe.
摘要翻译：提供一种喷嘴清洁装置和包括该喷嘴清洁装置的狭缝涂布机，以通过非接触方式除去附着在狭缝喷嘴的出口上的杂质，从而消除了为了更换部件而停止涂布工作的必要性，从而有助于维护。在主体（350）中，形成有从主体的上侧凹陷并具有内壁和底部的凹槽（352）。喷射器（358）将升华的固体颗粒喷射到形成在凹槽的内壁中的喷嘴的出口。排出管形成在槽的底部并与主体的外部连接，以便排出已清洁的升华的固体颗粒。真空泵连接到排放管。

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