专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020060070340A 기판 처리장치 및 방법 无效
标题翻译：装置和处理基板的方法
公开(公告)号：KR1020060070340A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020040109047
申请日：2004-12-20
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 유용근 , 권오경 , 김진옥
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은 기판 처리장치 및 방법에 관한 것으로, 기판이 재치되는 로딩/언로딩부; 상기 기판을 상기 로딩/언로딩부로부터 일측방향으로 이송시키는 상단 이송유닛; 상기 상단 이송유닛을 통해 이송된 상기 기판을 전송받도록 수직방향으로 승ㆍ하강되는 승강부; 상기 승강부로부터 이송된 기판을 전송받아 타측 방향으로 이송시키는 하단 이송컨베이어; 및 상기 하단 이송컨베이어를 통해 이송되는 기판을 처리하는 처리부를 구비하며, 상기 로딩/언로딩부는 상기 하단 이송컨베이어를 통해 처리부로부터 이송되는 기판을 언로딩시키도록 구성되어, 클린룸의 이용효율을 향상시킴은 물론, 클린룸의 설비비 및 유지보수 비용을 절감할 수 있도록 된 것이다.

기판, 처리, 컨베이어, 세정, 건조, 로딩, 언로딩, 승강, 로보트부, 버퍼부

IPRDB