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1. 发明公开

KR1020160107801A 진공 테이블 无效
标题翻译：真空表
公开(公告)号：KR1020160107801A
公开(公告)日：2016-09-19
申请号：KR1020150031117
申请日：2015-03-05
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 조규환 , 김상걸
IPC分类号： B23Q3/08 , B23K37/04
CPC分类号： B23Q3/088 , B23K37/04
摘要： 진공테이블이개시된다. 개시된진공테이블은, 가공물이적재되는진공플레이트, 상기진공플레이트의하부에마련되는것으로, 복수의클램핑포트를포함하는에어공급플레이트및 상기진공플레이트의하면에부착되어상기클램핑포트들에삽입되게마련되는복수의클램핑볼트를포함한다. 상기클램핑포트는상기클램핑볼트가삽입되는삽입홀을포함하고, 상기클래핑포트의내부에유입되는에어의양에따라상기삽입홀의단면적크기가변화함으로써상기클램핑볼트를고정시킨다.
摘要翻译：公开了一种真空工作台。公开的真空工作台包括：工件被加载的真空板; 空气供给板，其设置在所述真空板的底部并且包括多个夹紧口; 以及多个夹紧螺栓，其安装在真空板的底面上以插入到夹紧口中。夹紧口具有插入夹持螺栓的插入孔，并且通过根据引入夹紧口的空气量改变插入孔的横截面面积的大小来固定夹紧螺栓。

2. 发明公开

KR1020160105141A 가공물 위치조절장치 有权
标题翻译：工件定位装置
公开(公告)号：KR1020160105141A
公开(公告)日：2016-09-06
申请号：KR1020150028449
申请日：2015-02-27
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이교준 , 안성호 , 조규환
IPC分类号： B23Q3/08 , B23K26/60 , H01L21/68
CPC分类号： B23Q3/088 , B23K26/70 , H01L21/68
摘要： 가공물위치조절장치가개시된다. 개시된가공물위치조절장치는가공물이적재되며, 복수의제1 관통홀을포함하는진공테이블과, 상기진공테이블아래마련되며, 상기제1 관통홀들에끼워져상하이동이가능하도록마련되는복수의제1 기둥을포함하는제1 승강부재, 제1 승강부재아래마련되어상기제1 승강부재를상기진공테이블과나란한방향으로이동가능하게하는이동스테이지, 상기이동스테이지아래마련되며, 상기제1 승강부재를지지하는복수의제2 기둥을포함하는제2 승강부재및 상기제2 기둥들를상하방향으로이동시키는상하구동유닛을포함한다.
摘要翻译：公开了一种工件定位装置。所公开的工件定位装置包括：真空工作台，工件被加载到该真空台上并具有多个第一穿透孔; 第一升降构件，其设置在所述真空工作台的下方，并具有插入所述第一孔中的多个第一极，以便能够垂直移动; 设置在所述第一升降构件的下方的移动台，以沿着与所述真空台平行的方向移动所述第一升降构件; 第二升降构件，设置在所述移动台的下方，并具有支撑所述第一升降构件的多个第二极; 以及垂直驱动单元，其沿垂直方向移动第二极。

3. 发明公开

KR1020160105041A 진공 테이블 有权
标题翻译：真空表
公开(公告)号：KR1020160105041A
公开(公告)日：2016-09-06
申请号：KR1020150028192
申请日：2015-02-27
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 안성호 , 이교준 , 조규환
IPC分类号： B23Q3/08 , F16K17/20 , F16K51/02 , B23K26/60
CPC分类号： B23Q3/088 , B23K26/70 , F16K17/20 , F16K51/02
摘要： 진공테이블이개시된다. 개시된진공테이블은, 복수의제1 진공홀을포함하는하판, 상기복수의제1 진공홀에마련되는복수의진공폴(vacuum pole), 및상기복수의진공폴의단부에마련되며, 흡입되는유량에따라유로의개방면적을변화시키는복수의진공밸브를포함한다.
摘要翻译：公开了一种真空工作台。所公开的真空台包括：具有多个第一真空孔的底板; 设置在所述多个第一真空孔中的多个真空杆; 以及多个真空阀，其设置在所述多个真空极的端部，并且根据吸入流量改变流路的开口面积。

4. 发明授权

KR101716370B1 가공물 위치조절장치 有权
标题翻译：工件定位装置
公开(公告)号：KR101716370B1
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020150028449
申请日：2015-02-27
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이교준 , 안성호 , 조규환
IPC分类号： B23Q3/08 , B23K26/60 , H01L21/68
摘要： 가공물위치조절장치가개시된다. 개시된가공물위치조절장치는가공물이적재되며, 복수의제1 관통홀을포함하는진공테이블과, 상기진공테이블아래마련되며, 상기제1 관통홀들에끼워져상하이동이가능하도록마련되는복수의제1 기둥을포함하는제1 승강부재, 제1 승강부재아래마련되어상기제1 승강부재를상기진공테이블과나란한방향으로이동가능하게하는이동스테이지, 상기이동스테이지아래마련되며, 상기제1 승강부재를지지하는복수의제2 기둥을포함하는제2 승강부재및 상기제2 기둥들를상하방향으로이동시키는상하구동유닛을포함한다.
摘要翻译：公开了一种工件定位装置。所公开的工件定位装置包括：真空工作台，工件被装载在该真空台上，并具有多个第一穿透孔; 第一升降构件，其设置在所述真空工作台的下方，并具有插入所述第一孔中的多个第一极，以便能够垂直移动; 设置在所述第一升降构件的下方的移动台，以沿着与所述真空台平行的方向移动所述第一升降构件; 第二升降构件，设置在所述移动台的下方，并具有支撑所述第一升降构件的多个第二极; 以及垂直驱动单元，其沿垂直方向移动第二极。

5. 发明公开

KR1020120027714A 레이저 가공장치 无效
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：KR1020120027714A
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020100089465
申请日：2010-09-13
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 김성훈 , 조규환
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/38 , B23K26/70
摘要： PURPOSE: A laser processing apparatus is provided to compensate a displacement of a processing table transferred in the supply direction of a sheet-type work piece because a free loop of the sheet-type work piece is formed in a sheet supply unit and a sheet winding unit. CONSTITUTION: A laser processing apparatus comprises a laser head unit(180) which projects a laser beam to a sheet-type work piece(W), a first stage(110) which is transferred in a first direction on a plane vertical to the projected direction of the laser beam, a second stage(120) which is transferred in a second direction perpendicular to the first direction on a plane vertical to the projected direction of the laser beam, a processing table(130) on which the sheet-type work piece is loaded, a sheet supply unit(140) which supplies the sheet-type work piece to the processing table, and a sheet winding unit(150) which winds up a processed sheet-type product.
摘要翻译：目的：提供一种激光加工装置，用于补偿片材工件供给方向上传送的加工台的位移，因为片材工件的自由圈形成在片材供应单元和片材卷绕单元。构成：激光加工装置包括将激光束投射到片状工件（W）的激光头单元（180），在与投影的垂直方向垂直的平面上沿第一方向传送的第一平台（110）激光束的方向，在与激光束的投影方向垂直的平面上沿垂直于第一方向的第二方向转印的第二级（120），其中片式工作片材供应单元（140），其将片状工件供应到处理台;以及片材卷绕单元（150），其卷绕经处理的片状产品。

6. 发明公开

KR1020170094971A 레이저 가공 시스템 无效
标题翻译：激光加工系统
公开(公告)号：KR1020170094971A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020160016357
申请日：2016-02-12
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이용우 , 허진 , 최영준 , 신동수 , 이준영 , 김유석 , 조규환 , 정현택
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/36 , B23K26/03 , B23K26/08 , B23K26/70 , B23Q17/24
CPC分类号： B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/08 , B23K26/36 , B23K26/70 , B23Q17/24
摘要： 레이저가공시스템이개시된다. 개시된레이저가공시스템은, 광학방식에의해가공대상물의두께를검출하는검출유닛; 상기검출유닛에의해검출된두께에기초하여, 상기가공대상물에레이저빔을조사하는레이저조사유닛; 및상기검출유닛을냉각시키도록구성된냉각유닛;을포함한다.
摘要翻译：公开了一种激光加工系统。所公开的激光处理系统包括：检测单元，其通过光学系统检测物体的厚度; 激光照射单元，其基于由所述检测单元检测到的厚度，用激光束照射所述对象; 以及配置成冷却检测单元的冷却单元。

7. 发明授权

KR102107780B1 웨이퍼 정렬 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102107780B1
公开(公告)日：2020-05-28
申请号：KR1020180093140
申请日：2018-08-09
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 정현택 , 조규환 , 이강우
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/02

8. 发明公开

KR1020170093366A 웨이퍼 세정 장치 审中-实审
标题翻译：硅片清洁剂
公开(公告)号：KR1020170093366A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：KR1020160014656
申请日：2016-02-05
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이교준 , 조규환 , 김기수 , 정현택
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 본발명은웨이퍼를세정하기위한웨이퍼세정장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른웨이퍼세정장치는, 상부면이개방된원통형상의하우징; 상기하우징내부에배치되어웨이퍼를지지하는웨이퍼척; 상기웨이퍼에세정유체를분사하는세정액분사장치; 및상기하우징의상부면에배치되어상기상부면과소정의분사각도를이룬채, 소정의유속을구비하는기체를분사하는분사부;를포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于清洁晶片的晶片清洁设备。根据本发明实施例的晶片清洁装置包括：具有敞开的上表面的圆柱形壳体; 晶片卡盘，设置在外壳内以支撑晶片; 清洁液注入器，用于将清洁液注入晶片; 喷射部分设置在壳体的上表面上并喷射具有预定流量的气体，同时与上表面达到预定的喷射角度。

9. 发明授权

KR101716371B1 진공 테이블 有权
公开(公告)号：KR101716371B1
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150028192
申请日：2015-02-27
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 안성호 , 이교준 , 조규환
IPC分类号： B23Q3/08 , F16K17/20 , F16K51/02 , B23K26/60
摘要： 진공테이블이개시된다. 개시된진공테이블은, 복수의제1 진공홀을포함하는하판, 상기복수의제1 진공홀에마련되는복수의진공폴(vacuum pole), 및상기복수의진공폴의단부에마련되며, 흡입되는유량에따라유로의개방면적을변화시키는복수의진공밸브를포함한다.

10. 发明授权

KR101715354B1 레이저 가공장치 및 레이저 가공방법 有权
标题翻译：激光加工设备和激光加工方法
公开(公告)号：KR101715354B1
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150141636
申请日：2015-10-08
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 김용덕 , 조규환 , 정현택 , 이교준
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/76 , H01L21/683 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/268 , H01L21/683 , H01L21/76
摘要： 본발명의일 실시예에따른레이저가공장치는, 레이저를조사하여웨이퍼상에가공홈을형성하는레이저조사부; 상기웨이퍼가안착되며, 제1 축방향을따라이동하는웨이퍼척; 상기웨이퍼척에고정되도록배치된캠; 상기제1 축방향을따라연장되도록형성되며, 상기캠과접촉하여상기웨이퍼척의이동경로를가이드하는캠 가이드; 상기제1 축방향을따라연장되며, 상기웨이퍼척의이동경로를가이드하는제1 슬라이드가이드; 및상기제1 축방향과직교하는제2 축방향에대한상기제1 슬라이드가이드의이동을감지하는센서부;를포함할수 있다.

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