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    • 1. 发明公开
    • 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법, 3차원 형상 계측 프로그램, 및 기록 매체
    • 三维形状测量装置,三维形状测量方法,三维形状测量程序和记录介质
    • KR1020100034020A
    • 2010-03-31
    • KR1020107001296
    • 2008-07-04
    • 오므론 가부시키가이샤
    • 미츠모토다이스케혼마유키
    • G01B11/25G01B11/245G06T15/00
    • G01B11/2513G01B11/245G01B11/2509G06T7/521
    • A three-dimensional shape measuring device for measuring three-dimensional shape information quickly and accurately comprises a light projecting section (20) for projecting a light pattern having a brightness varying periodically according to the position onto a partial area of a transfer stage (52) on which a measurement object (12) is measured, a first line sensor (36) for imaging a light pattern projection area (14), a second line sensor (38) for imaging a light pattern non-projection area (16), and an image analysis/drive control section (40) for computing the phase of the light pattern in a pixel included in an image (86) produced by removing the background information from the image (82) captured by the first line sensor (36) and the image (84) captured by the second line sensor (38) from the brightness values of the pixel and the peripheral pixels in the image (86) and computing the height information on the measurement object (12) from the computed phase. The first line sensor (36) and the second line sensor (38) are so arranged that they can simultaneously image the light pattern projection area (14) and the light pattern non-projection area (16), respectively.
    • 一种用于快速,准确地测量三维形状信息的三维形状测量装置包括:一个光投射部分,用于将具有根据位置周期性变化的亮度的光图案投影到转印台(52)的局部区域上, 在其上测量测量对象(12),用于对光图案投影区域(14)进行成像的第一行传感器(36),用于对光图案非投影区域(16)进行成像的第二行传感器(38),以及 图像分析/驱动控制部分,用于计算通过从由第一行传感器(36)捕获的图像(82)中去除背景信息而产生的图像(86)中包括的像素中的光图案的相位;以及 根据图像(86)中的像素和周边像素的亮度值从第二行传感器(38)捕获的图像(84),并从计算出的相位计算测量对象(12)的高度信息。 第一线传感器(36)和第二线传感器(38)被布置成使得它们可以分别同时对光图案投影区域(14)和光图案非投影区域(16)进行成像。
    • 4. 发明授权
    • 3차원 형상 계측 장치, 3차원 형상 계측 방법, 3차원 형상 계측 프로그램, 및 기록 매체
    • 三维形状测量装置,三维形状测量方法,三维形状测量程序和记录介质
    • KR101141345B1
    • 2012-05-03
    • KR1020107001296
    • 2008-07-04
    • 오므론 가부시키가이샤
    • 미츠모토다이스케혼마유키
    • G01B11/25G01B11/245G06T15/00
    • G01B11/2513G01B11/245G01B11/2509G06T7/521
    • 위치에 응하여 주기적으로 휘도가 변화하는 광 패턴을, 계측 대상(12)이 계측되는 반송 스테이지(52)상의 일부의 영역에 투영하는 투광부(20)와, 광 패턴 조사 영역(14)을 촬상하는 제 1의 라인 센서(36)와, 광 패턴 비조사 영역(16)을 촬상하는 제 2의 라인 센서(38)와, 제 1의 라인 센서(36)가 촬상한 화상(82) 및 제 2의 라인 센서(38)가 촬상한 화상(84)으로부터, 배경 정보를 제거한 화상(86)에 포함되는 어느 화소에서의 광 패턴의 위상을, 화상(86)에서의 화소와 그 주변의 화소의 휘도치에 의거하여 산출하고, 산출한 위상에 의거하여 계측 대상(12)의 높이 정보를 산출하는 화상 해석?구동 제어부(40)를 구비하고, 제 1의 라인 센서(36) 및 제 2의 라인 센서(38)는, 각각, 광 패턴 조사 영역(14) 및 광 패턴 비조사 영역(16)을, 동시에 촬상할 수 있도록 배치되어 있다. 이로써, 신속하면서 고정밀도로 3차원 형상 정보를 계측할 수 있는 3차원 형상 계측 장치를 실현한다.
    • 一种用于快速,准确地测量三维形状信息的三维形状测量装置包括:一个光投射部分,用于将具有根据位置周期性变化的亮度的光图案投影到转印台(52)的局部区域上, 在其上测量测量对象(12),用于对光图案投影区域(14)进行成像的第一行传感器(36),用于对光图案非投影区域(16)进行成像的第二行传感器(38),以及 图像分析/驱动控制部分,用于计算通过从由第一行传感器(36)捕获的图像(82)中去除背景信息而产生的图像(86)中包括的像素中的光图案的相位;以及 根据图像(86)中的像素和周边像素的亮度值从第二行传感器(38)捕获的图像(84),并从计算出的相位计算测量对象(12)的高度信息。 第一线传感器(36)和第二线传感器(38)被布置成使得它们可以分别同时对光图案投影区域(14)和光图案非投影区域(16)进行成像。