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1. 实用新型

KR200491418Y1 이송 챔버 덮개 도어 액츄에이터들 有权
公开(公告)号：KR200491418Y1
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：KR2020150007523
申请日：2015-11-19
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치 , 이나가와,마코토 , 린,한젱에이치.
IPC分类号： E05F15/624 , E05F15/50

2. 发明公开

KR1020140045447A ＯＬＥＤ 캡슐화를 위한 마스크 관리 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于OLED封装的掩模管理系统和方法
公开(公告)号：KR1020140045447A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020137034500
申请日：2012-06-18
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치 , 김,범수
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/04
CPC分类号： C23C16/042 , H01L51/5237 , H01L51/56
摘要： 기판 및 복수의 마스크들이 진공 프로세싱 환경 내로 효율적으로 수용되고, 캡슐화 층들의 증착을 위해 하나 또는 둘 이상의 프로세스 챔버들 사이에서 이송되고, 그리고 프로세싱 시스템으로부터 제거될 수 있게 함으로써, 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스를 캡슐화하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스를 캡슐화하는 방법은, 기판 상에 배치된 OLED 디바이스 상에 캡슐화 층들을 증착하기 위해, 기판 상에 하나 또는 둘 이상의 마스크들을 위치시키는 단계를 포함한다. 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스를 캡슐화를 위한 프로세싱 시스템은 하나 또는 둘 이상의 이송 챔버들, 각각의 이송 챔버에 커플링되고 그리고 마스크를 진공 환경 내로 수용하도록 동작가능한 하나 또는 둘 이상의 로드락 챔버들, 및 각각의 이송 챔버에 커플링되고 그리고 기판 상에 캡슐화 층을 증착하도록 동작가능한 하나 또는 둘 이상의 프로세스 챔버들을 포함한다.

3. 发明授权

KR100726894B1 챔버 차단 밸브 ＲＦ 접지 有权
标题翻译：室隔离阀射频接地
公开(公告)号：KR100726894B1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：KR1020060029049
申请日：2006-03-30
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 이,케링 , 쿠리타,신이치 , 비어,엠마뉴엘
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： F16K3/0227 , F16K51/02 , H01J37/32844 , H01J2237/166 , H01L21/67126 , Y02C20/30 , Y02P70/605 , Y10S277/919 , Y10S277/92 , Y10T137/8242
摘要： 챔버 차단 밸브를 접지시키는 방법 및 장치가 제공된다. 일반적으로, 이러한 방법은 처리 시스템 내의 움직이는 부품들 사이의 금속간 접촉을 피하면서, 챔버 차단 밸브 및/또는 차단 밸브 도어를 효율적으로 접지시키기 위해 전기 전도성 탄성 부재 또는 부재들을 사용한다. 일 실시예에서, 탄성 부재는 챔버 차단 밸브의 도어에 부착되어 챔버 차단 밸브의 도어와 전기 소통한다. 도어가 폐쇄 위치에 있을 때, 탄성 부재는 플라즈마 처리 시스템의 접지된 구성요소와 접촉하게 된다. 다른 실시예에서, 전도성 탄성 부재는 차단 밸브의 브레이싱 부재에 부착되며, 기판이 처리되는 동안 브레이싱 부재가 차단 밸브 도어를 제자리에 유지시키도록 배치될 때, 플라즈마 처리 시스템의 접지된 구성요소와 접촉하게 된다. 다른 구성이 또한 제공된다.

4. 发明公开

KR1020070036730A 비평면 기판에 대한 잉크젯 프린트 방법 및 장치 无效
标题翻译：喷墨印刷非平板基板的方法和装置
公开(公告)号：KR1020070036730A
公开(公告)日：2007-04-03
申请号：KR1020060096141
申请日：2006-09-29
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 비어,엠마뉴엘 , 린,창-츙 , 쿠리타,신이치 , 샹,쿠안유안 , 존스톤,벤자민
IPC分类号： H05K3/10
CPC分类号： B41J2/0456 , B41J2/0458 , B41J2/04588 , B41J3/28 , B41J3/4073 , B41J11/0035 , B41J25/308 , G02F1/1303 , G02F1/133516
摘要： 잉크젯 프린팅 장치를 위한 센서 장치가 제공된다. 센서 장치는 1) 기판 윗면에 잉크를 증착하는 하나 이상의 프린트 헤드를 포함하고, 상기 기판은 상기 프린트 헤드에 대해 이동 상태에 있으며, 2) 상기 기판 윗면으로부터 하나 이상의 센서까지 거리를 검출하는 하나 이상의 센서를 포함하고, 3) 상기 센서와 상기 기판 윗면 사이의 거리에 따라 상기 기판과 노즐 사이의 거리를 판별하고 상기 기판과 노즐간 거리에 따라 프린트 파라미터를 조절하도록 이루어진 제어기를 포함한다. 다양한 양태들이 제공된다.

5. 实用新型

KR200418867Y1 전자 장치 제조용 챔버 및 그 챔버의 형성 방법 失效
标题翻译：电子设备制造室及其形成方法
公开(公告)号：KR200418867Y1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：KR2020060007805
申请日：2006-03-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 화이트,존,엠. , 베르플랑첸,도날드 , 쿠리타,신이치
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67201
摘要： 비-다각형, 다중-부품 챔버가 제공된다. 비-다각형, 다중-부품 챔버는 제 1 측면 및 제 2 측면을 구비한 중앙 부품을 포함하며, 제 1 측면 부품은 중앙 부품의 제 1 측면과 연결되며, 제 2 측면 부품은 중앙 부품의 제 2 측면과 연결된다. 중앙 부품, 제 1 측면 부품 및 제 2 측면 부품은 서로 연결되는 경우에 원통형의 전체 형상을 형성한다. 다수의 다른 양상이 제공된다.

6. 发明公开

KR1020060050004A 독립적으로 이동하는 기판 지지부 无效
标题翻译：独立移动基板支持
公开(公告)号：KR1020060050004A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050061813
申请日：2005-07-08
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 티너,로빈 , 쿠리타,신이치
IPC分类号： H01L21/68 , G02F1/13
CPC分类号： C23C16/4586 , H01L21/68742
摘要： 기판을 기판 지지부로 전달하기 위한 방법 및 장치가 본 발명에서 제공된다. 일 실시예에 있어서, 기판을 전달하기 위한 방법은 상기 기판 지지부를 관통해 이동가능하게 배치되는 제 1 세트 및 제 2 세트의 리프트 핀 위에 기판 지지부의 상부면 위에 놓인 기판을 동시에 지지하는 단계를 포함한다. 상기 제 1 세트의 리프트 핀은 제 1 높이로 연장되며 상기 제 2 세트의 리프트 핀은 상기 제 1 높이 보다 낮은 제 2 높이로 연장된다. 상기 제 2 세트의 리프트 핀은 상기 제 1 세트의 리프트 핀 안쪽에 배치된다. 상기 제 1 세트 및 상기 제 2 세트의 리프트 핀과 상부면 사이의 상대적인 간격은 기판을 기판의 중앙 근처점에서 기판의 가장자리로 매끄럽고 실질적으로 연속적으로 상부 표면과 접촉하도록 감소된다.

7. 发明公开

KR1020050016607A 기판 검출을 위해 각을 이루는 센서들 有权
标题翻译：用于检测基板的ANGLED传感器
公开(公告)号：KR1020050016607A
公开(公告)日：2005-02-21
申请号：KR1020047020840
申请日：2003-06-20
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67265 , H01L21/67259 , H01L21/681 , Y10S414/135
摘要： 제 1 형태에서, 기판을 검출하기 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는 (1) 이송 챔버 내에 위치하는 기판을 통해 광빔을 투과시키는 발신기/수신기 유닛; (2) 상기 발신기/수신기 유닛으로부터 투과된 상기 광빔을 수신하여 상기 투과된 광빔을 상기 발신기/수신기 유닛 쪽으로 반사시키는 반사기; 및 (3) 상기 발신기/수신기 유닛에 결합되며, 상기 발신기/수신기 유닛에 의해 수신된 상기 반사 광빔의 강도를 기초로 상기 발신기/수신기 유닛과 상기 반사기 사이에 기판이 위치하는지 여부를 결정하는 제어기를 포함한다. 상기 투과 및 반사 광빔 중 적어도 하나는 비수직 입사로 상기 발신기/수신기 유닛과 상기 반사기 사이에 위치하는 기판에 충돌한다. 다수의 다른 형태들이 제공된다.

8. 发明公开

KR1020050013598A 기판 위치/존재를 검출하기 위해 공유되는 센서 失效
标题翻译：共享传感器
公开(公告)号：KR1020050013598A
公开(公告)日：2005-02-04
申请号：KR1020047020839
申请日：2003-06-20
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67259 , H01L21/67201 , H01L21/67236 , Y10S414/136
摘要： 반도체 처리 장비의 전달 챔버는 다수의 처리 및/또는 로드락 챔버에 결합된다. 감소된 수의 기판 센서는 처리 및/또는 로드락 챔버에 대해 기판의 존재 및/또는 위치설정을 확인하기 위해 전달 챔버에 제공된다. 일 실시예에서, 각각의 처리 및/또는 로드락 챔버는 인접한 챔버 및 인접하지 않은 챔버와 센서를 공유할 수 있다.

9. 实用新型

KR2020160001858U 이송 챔버 덮개 도어 액츄에이터들 审中-实审
标题翻译：转移室门执行器
公开(公告)号：KR2020160001858U
公开(公告)日：2016-05-31
申请号：KR2020150007523
申请日：2015-11-19
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치 , 이나가와,마코토 , 린,한젱에이치.
IPC分类号： E05F15/00 , E05F15/624 , E05F15/50
摘要： 본개시물의실시예들은, 덮개및 액츄에이터조립체를갖는이송챔버에관한것이다. 덮개는이송챔버에회전가능하게커플링될수 있고, 액츄에이터조립체는, 이송챔버의내부로의액세스를허용하기위해덮개를개방및 폐쇄할수 있다. 액츄에이터조립체는일반적으로, 덮개및 챔버본체에아암들을커플링시키는브라켓들을포함한다. 복수의샤프트들및 기어박스들은아암들과모터사이에커플링될수 있다. 모터는, 덮개를개방및 폐쇄하기위해샤프트들을회전시킬수 있다. 덮개포지션을결정하기위한센서가또한개시된다.
摘要翻译：本公开的实施例涉及具有盖和致动器组件的传送室。盖可以可旋转地联接到传送室，并且致动器组件可以打开和关闭盖子，以允许进入传送室的内部。致动器组件通常包括将臂连接到盖和腔体的支架。多个轴和齿轮箱可以联接在臂和马达之间。马达可以旋转轴来打开和关闭盖子。还公开了一种用于确定盖位置的传感器。

10. 实用新型

KR2020160001649U 로봇 장착식 관통-빔 기판 검출기 审中-实审
标题翻译： - 机器人安装的THRU-BEAM基板检测器
公开(公告)号：KR2020160001649U
公开(公告)日：2016-05-17
申请号：KR2020150007227
申请日：2015-11-06
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 쿠리타,신이치 , 마츠모토,타카유키 , 키타무라,츠네히코 , 이나가와,마코토 , 필립스,대릴 , 유,재명
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
摘要： 기판을이송하기위한로봇, 프로세싱시스템, 및방법이제공된다. 일실시예에서, 로봇이제공되고, 로봇은, 회전가능한본체, 제 1 엔드이펙터(end effector), 및로봇에장착된관통-빔(thru-beam) 검출기를포함한다. 제 1 엔드이펙터는본체에장착되어본체와함께회전식이다. 제 1 엔드이펙터는, 실질적으로본체위의복귀된(retracted) 포지션과연장된포지션사이에서제 1 방향으로이동가능하다. 관통-빔검출기는제 1 센서및 제 2 센서를포함한다. 연장된포지션과복귀된포지션사이에서제 1 엔드이펙터가이동하는동안, 제 1 및제 2 센서들은, 제 1 엔드이펙터상에배치된기판의대향하는(opposite) 엣지들을감지하도록동작가능한포지션에서측상으로(laterally) 이격된다.
摘要翻译：本实用新型公开了一种机器人和底板处理系统。提供了用于输送底板的机器人，处理系统和方法。在一个实施例中，提供机器人，机器人包括：可旋转的主要部分，第一端子接收液压缓冲器停止件和直接检测器，约束的直接检测器极其安装在机器人上。第一个终端由液压缓冲器非常安装，主要部件是主要部件是旋转的。第一个终端可以沿着第一个方向通过液压缓冲器停止，基本上返回主体顶部的冷凝，并在位置之间延伸移除。直接检测器包括第一传感器和第二传感器。具有第二传感器的第一传感器位于侧向间隔处，并进入位置部，具有第一传感器的第一传感器与第一端可操作，通过液压缓冲器停止延伸位置，当其移除时其凝结返回在放置之间，并且感测设置在第一端接收基板边缘相对于液压缓冲器停止。

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