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1. 发明授权

KR101157673B1 기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于支持基板载体的方法和装置
公开(公告)号：KR101157673B1
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：KR1020050063781
申请日：2005-07-14
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 엘리오트,마르틴알. , 라이스,마이클로버트
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67769 , H01L21/67379 , H01L21/67775 , H01L21/68707 , Y10S414/141
摘要： 본 발명의 제 1 특징에 따른 제 1 방법은 엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지대를 재배치시키는 단계를 포함한다. 상기 제 1 방법은 (1) 기판 캐리어의 바닥에 의해 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (2) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥에 의해 기판 캐리어를 지지하는 상기 중간 지지 위치로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계와, (3) 상기 기판 캐리어의 오버헤드 이송 플랜지 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계와, (4) 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지에 의해 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (5) 상기 중간 지지 위치로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계를 더 포함한다. 다수의 다른 특징들이 제공된다.
摘要翻译：在第一方面，提供了一种由端部执行器提供的重新定位支撑件的第一种方法。第一种方法包括以下步骤：（1）采用端部执行器来通过衬底载体的底部支撑衬底载体; （2）将衬底载体从端部执行器传送到中间支撑位置，其中中间支撑位置由衬底载体的底部支撑衬底载体; （3）将端部执行器重新定位在靠近衬底载体的顶部传送凸缘处; （4）使用端部执行器通过衬底载体的架空转移凸缘来支撑衬底载体; 和（5）从中间支撑位置转移衬底载体。提供了许多其他方面。

2. 发明公开

KR1020060050174A 기판 캐리어 지지부의 재배치 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于支持基板载体的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060050174A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050063781
申请日：2005-07-14
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 엘리오트,마르틴알. , 라이스,마이클로버트
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67769 , H01L21/67379 , H01L21/67775 , H01L21/68707 , Y10S414/141
摘要： 본 발명의 제 1 특징에 따른 제 1 방법은 엔드 이펙터에 의해 제공되는 지지대를 재배치시키는 단계를 포함한다. 상기 제 1 방법은 (1) 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하도록 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (2) 상기 엔드 이펙터로부터, 상기 기판 캐리어의 바닥으로 기판 캐리어를 지지하는 상기 중간 지지 로케이션으로 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계와, (3) 상기 기판 캐리어의 바닥 근처에 상기 엔드 이펙터를 재배치시키는 단계와, (4) 상기 기판 캐리어의 상기 오버헤드 이송 플랜지로 상기 기판 캐리어를 지지하도록 상기 엔드 이펙터를 사용하는 단계와, (5) 상기 중간 지지 로케이션으로부터 상기 기판 캐리어를 이송하는 단계를 더 포함한다. 다수의 다른 특징들이 제공된다.
摘要翻译：在第一方面，提供了一种由端部执行器提供的重新定位支撑件的第一种方法。第一种方法包括以下步骤：（1）采用端部执行器来通过衬底载体的底部支撑衬底载体; （2）将衬底载体从端部执行器传送到中间支撑位置，其中中间支撑位置由衬底载体的底部支撑衬底载体; （3）将端部执行器重新定位在靠近衬底载体的顶部传送凸缘处; （4）使用端部执行器通过衬底载体的架空转移凸缘来支撑衬底载体; 和（5）从中间支撑位置转移衬底载体。提供了许多其他方面。

3. 发明公开

KR1020150044934A 향상된 가스 유량 제어를 위한 방법들 및 장치 审中-实审
标题翻译：增加气体流量控制的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150044934A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：KR1020157006763
申请日：2013-08-12
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 그레고르,마리우쉬 , 레인,존더블유. , 라이스,마이클로버트 , 휴그,저스틴
IPC分类号： G05D7/06 , G05D16/20 , F16K37/00 , F16K21/00
CPC分类号： G05D16/2006 , C23C16/45561 , G05D7/0664 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/87885 , F16K21/00 , F16K37/0025
摘要： 반도체-프로세싱챔버로의가스유동을제어하기위한방법들및 장치가개시된다. 방법들 및장치는, 유동비율제어기에서비율설정점피드백제어를비활성화하는단계; 유동비율제어기를통해서가스유동을시작하는단계; 상류압력이, 저장된상류압력값에도달할때, 저장된포지션에기초하여유동비율제어기의밸브들을미리설정된포지션으로이동시키는단계 - 저장된포지션및 저장된상류압력값은이전프로세스실행동안에저장되었음 -; 정상상태유동비율제어기출력유동들이도달되었는지를결정하는단계; 및유동비율제어기에서비율설정점피드백제어를활성화하는단계를포함한다. 많은부가적인특징들이개시된다.

4. 发明公开

KR1020050046643A 전단 부재를 구비한 동적 핀 및 이와 함께 사용하기 위한기판 캐리어 无效
标题翻译：具有剪切构件的动力学引脚和用于其的基板载体
公开(公告)号：KR1020050046643A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：KR1020040092827
申请日：2004-11-13
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 라이스,마이클로버트 , 잉글하르트,에릭에이. , 로렌스,로버트비. , 엘리오트,마르틴알. , 허드젠스,제프리씨.
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67775 , Y10S414/14 , Y10S414/141
摘要： 동적 핀 및 기판 캐리어로부터 동적 핀이 제거되는 것을 방지하도록 적용되는 기판 캐리어가 제공된다. 동적 핀 위의 전단 부재는 동적 핀에 대하여 기판 캐리어의 가로 운동을 방지하기 위해 기판 캐리어의 전단 형상과 상호 작용한다. 동적 핀에 채용되는 기판 캐리어 조종기가 또한 제공된다.

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