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    • 5. 发明授权
    • 반도체 장치 및 이의 제조 방법
    • 半导体装置及其制造方法
    • KR101573311B1
    • 2015-12-02
    • KR1020140011094
    • 2014-01-29
    • 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
    • 박동주김재윤김진성안예슬한규완
    • H01L23/12H01L23/48
    • H01L2224/16225H01L2225/1023H01L2225/1041H01L2924/15331H01L2924/18161H01L2924/3511
    • 본발명은반도체장치및 이의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는팬-인피오피타입의패키지를구성하는인터포저의구조를개선하여, 워피지현상을방지할수 있도록한 반도체장치및 이의제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은기판위에도전가능하게부착된반도체칩 및적층용볼과, 반도체칩과적층용볼을봉지하는몰딩컴파운드수지와, 적층용볼이노출되도록몰딩컴파운드수지에형성된관통몰드비아를포함하는하부반도체패키지와; 상기하부반도체패키지의적층용볼에도전가능하게연결되며적층되어, 하부반도체패키지와상부반도체패키지를도전가능하게연결하는인터포저; 를포함하되, 상기인터포저의저면에몰딩지지체를일체로몰딩하고, 인터포저의접속용볼이하부반도체패키지의적층용볼에융착된후, 동일한재질및 열팽창계수를갖는몰딩지지체와하부반도체패키지의몰딩컴파운드수지가서로인접배열되도록한 것을특징으로하는반도체장치및 이의제조방법을제공한다.
    • 为了提高构成的包装内插器的结构进给的操作的类型,一种半导体器件及其制造方法,其使得防止战争皮脂现象的本发明是一种半导体装置,以及作为其涉及一种方法,用于制备,更具体地,涉及一种风扇 它涉及。 为此,本发明是低,包括通过模内经由形成在所述模制化合物的树脂,从而被暴露的是,袋的挑战可以连接到所述半导体芯片和一个基片上的多层yongbol,半导体芯片和多层yongbol多层yongbol模塑料树脂 半导体封装; 用于连接到层叠体,以使所述下半导体封装的导电yongbol的内插器被堆叠,使得所述导电下半导体封装并连接在上半导体封装; 包括,但,被模制到模制支承体上的内插器的下表面一体,连接yongbol中介层熔合到下半导体封装的层叠yongbol后,模制支承体的模制,并且具有相同的材料的下半导体封装和热膨胀系数 并且复合树脂彼此相邻布置,以及用于制造半导体器件的方法。