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    • 1. 发明授权
    • 반도체 장치 및 그 제조 방법
    • 半导体装置及其制造方法
    • KR100697137B1
    • 2007-03-21
    • KR1019990062556
    • 1999-12-27
    • 소니 주식회사
    • 이모또쯔또무와다신이찌
    • H01L27/06
    • H01L21/8234H01L27/095H01L27/098
    • 공통 베이스 상에 형성된 서로 다른 임계 전압들을 갖는 전계 효과 트랜지스터들을 포함하는 반도체 장치에 있어서, pn 접합 게이트를 갖는 제1 전계 효과 트랜지스터, 및 쇼트키 접합을 갖는 제2 전계 효과 트랜지스터를 포함하고, 제1 전계 효과 트랜지스터의 임계 전압은 pn 접합의 깊이에 기초하여 설정되고, 제2 전계 효과 트랜지스터의 임계 전압은 쇼트키 접합의 장벽 포텐셜의 선택에 기초하여 설정되는 반도체 장치가 개시된다.
      전계 효과 트랜지스터, 임계 전압, pn 접합, 쇼트키 접합, 공통 베이스
    • 形成包括具有不同阈值电压的场效应晶体管的半导体器件,在一个共同的基础上,并且具有一个第一场效应晶体管的第二场效应晶体管,和具有pn结栅极的肖特基结,第一 所述场效应晶体管的阈值电压被设定在pn结的深度的基础上,所述场效应晶体管的第二阈值电压是半导体器件,它是基于上设置肖特基结的阻挡层电势的选择设置。
    • 2. 发明公开
    • 접합형 전계 효과 트랜지스터의 제조 방법
    • 制造场效应晶体管的方法
    • KR1020000023317A
    • 2000-04-25
    • KR1019990040535
    • 1999-09-21
    • 소니 주식회사
    • 이모또쯔또무이시아이요시노리가마다미끼오
    • H01L21/336
    • H01L29/66462H01L21/28587
    • PURPOSE: A method for manufacturing a junction field effect transistor is provided to realize a linearity having a low ON resistance, a maximum drain current, and high transmission gain and to reduce a gate length by forming gate electrodes with gate regions in a magnetic arrangement. CONSTITUTION: Channel layers are formed with epitaxial layers and has a low-high doping structure to enhance a linearity of a transmission gain. A gate electrode(7) is formed with a pn junction of a p+gate region(6) and an n-type GaAs layer(5) to enhance a height of a gate potential barrier and to achieve a low ON resistance and a maximum drain current. The gate electrode(7) is formed with the p+ gate region(6) in a magnetic arrangement, to reduce a gate length. A GaAs JFET is secured with a reduced gate length, the ON resistance, and the maximum drain current.
    • 目的:提供一种用于制造结型场效应晶体管的方法,以实现具有低导通电阻,最大漏极电流和高透射增益的线性度,并通过在磁性布置中形成具有栅极区域的栅电极来减小栅极长度。 构成:沟道层由外延层形成,并具有低 - 高掺杂结构,以增强透射增益的线性。 栅电极(7)形成有p +栅极区(6)和n型GaAs层(5)的pn结,以增强栅极势垒的高度,并实现低导通电阻和最大值 漏极电流。 栅极电极(7)以磁性排列形成有p +栅极区域(6),以减小栅极长度。 GaAs JFET以栅极长度减小,导通电阻和最大漏极电流保证。
    • 3. 发明公开
    • 전계 효과 트랜지스터의 핀치-오프 전압의 측정 회로, 측정트랜지스터, 측정 방법 및 제조 방법
    • 用于测量场效应晶体管的夹断电压的电路,测量晶体管,测量方法和制造方法
    • KR1019980081176A
    • 1998-11-25
    • KR1019980012355
    • 1998-04-08
    • 소니 주식회사
    • 이모또쯔또무
    • H01L21/336
    • 전계 효과 트랜지스터의 핀치-오프 전압을 측정하기 위한 핀치-오프 전압 측정 회로는 측정 수단, 측정 커패시터 및 접속 회로를 포함한다. 측정 수단은 전계 효과 트랜지스터에 전압을 인가하여 접속 회로를 통해 인가된 전압에 대한 임피던스의 변화를 검출하여 전계 효과 트랜지스터의 핀치-오프 전압을 측정한다. 접속 회로는 측정 수단이 접속되는 제1 검출 단자 및 제2 검출 단자, 전계 효과 트랜지스터의 소스 또는 드레인 중 하나가 접속되는 제1 소자 접속 단자, 전계 효과 트랜지스터의 소스 또는 드레인 중 다른 하나가 접속되는 제2 소자 접속 단자, 및 게이트가 접속되는 제3 소자 접속 단자를 포함하고, 여기서 측정 커패시터가 접속되는 하나의 검출 단자와 제3 소자 접속 단자가 단락되고, 측정 커패시터는 제1 검출 단자와 제1 소자 접속 단자 사이 및/또는 제2 검출 단자와 제2 소자 접속 단자 사이에서 접속되고, 전계 효과 트랜지스터 내의 소스 또는 드레인과 게이트 사이의 트랜지스터 커패시턴스보다 충분히 큰 커패시턴스 값을 갖는다.
    • 5. 发明公开
    • 반도체 장치 및 그 제조 방법
    • 半导体器件及其制造方法
    • KR1020000048423A
    • 2000-07-25
    • KR1019990062556
    • 1999-12-27
    • 소니 주식회사
    • 이모또쯔또무와다신이찌
    • H01L27/06
    • H01L21/8234H01L27/095H01L27/098
    • PURPOSE: A semiconductor device and a fabrication method thereof are provided to have an improved reliability even when at least one FET among FETs is constructed with a modulation doped FET(MODFET). CONSTITUTION: A semiconductor device includes field effect transistors(FETs) having different threshold voltages, being formed on a common substrate. The semiconductor device includes a first field effect transistor having a P-N junction(J1) gate, and a second field effect transistor having a Schottky junction(J2). The threshold voltage of the first field effect transistor is established on the basis of the depth of the P-N junction. In addition, the threshold voltage of the second field effect transistor is established on the basis of the selected potential barrier of the Schottky junction.
    • 目的:提供半导体器件及其制造方法,即使当FET中的至少一个FET由调制掺杂FET(MODFET)构成时,其也具有提高的可靠性。 构成:半导体器件包括形成在公共衬底上的具有不同阈值电压的场效应晶体管(FET)。 半导体器件包括具有P-N结(J1)栅极的第一场效应晶体管和具有肖特基结(J2)的第二场效应晶体管。 基于P-N结的深度建立第一场效应晶体管的阈值电压。 此外,第二场效应晶体管的阈值电压是基于所选择的肖特基结的势垒建立的。