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    • 4. 发明授权
    • 전계효과 트랜지스터를 이용한 자외선 센서 및 이의 제조방법
    • 使用场效应晶体管的超紫外线传感器及其制造方法
    • KR101581634B1
    • 2015-12-30
    • KR1020150053893
    • 2015-04-16
    • 성균관대학교산학협력단
    • 이내응당빈쾅트란쾅트룽황병웅
    • H01L27/14H01L29/66H01L29/16
    • 전계효과트랜지스터를이용한자외선센서가개시된다. 전계효과트랜지스터를이용한자외선센서는기판; 상기기판상에배치된게이트전극; 상기게이트전극상에배치된제1 절연층; 상기제1 절연층상에배치되고전자가도핑된 2차원물질; 상기 2차원물질상에배치되고상기 2차원물질과전기적으로연결되어있는소스(source) 전극; 상기 2차원물질상에배치되고상기소스(source) 전극과이격된상태로상기 2차원물질과전기적으로연결되어있는드레인(drain) 전극; 상기소스전극상에배치된제2 절연층; 상기드레인전극상에배치된제3 절연층; 및상기 2차원물질로부터수직한방향을따라상기 2차원물질상에배치된 1차원구조물들을포함한다.
    • 公开了使用场效应晶体管的紫外线传感器。 使用场效应晶体管的紫外线传感器包括:基板; 布置在所述基板上的栅电极; 布置在栅电极上的第一绝缘层; 布置在第一绝缘层上并被电子掺杂的二维材料; 源电极,其布置在二维材料上并与二维材料电连接; 排列电极,其布置在所述二维材料上,并与所述二维材料电连接,同时与所述源电极分离; 布置在源电极上的两个绝缘层; 布置在所述漏电极上的第三绝缘层; 以及在垂直于二维材料的方向上布置在二维材料上的一维结构。