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    • 4. 发明公开
    • 이황화몰리브덴을 이용한 촉각센서의 제조방법
    • 利用二硫化钼制造触觉传感器的方法
    • KR1020170088003A
    • 2017-08-01
    • KR1020160007607
    • 2016-01-21
    • 한국표준과학연구원연세대학교 산학협력단
    • 김민석박연규박민훈안종현박용주첸시앙
    • G01L1/18G01L1/22G01L5/00G01B7/16H01L29/16H01L23/31
    • G01B7/16G01L1/18G01L1/22G01L5/00H01L23/31H01L29/16
    • 본발명은이황화몰리브덴을이용한촉각센서및 그제조방법에관한것이다. 이를위해, 실리콘기반의웨이퍼(60)를준비하는단계(제 1 단계); 웨이퍼(60)의일면을패시베이션처리하여제 1 패시베이션층(62)을형성하는단계(제 2 단계); 제 1 패시베이션층(62)상에그래핀층(64)을성막하는단계(제 3 단계); 그래핀층(64)을패터닝하여그래핀패턴(65)을형성하는단계(제 4 단계); 그래핀패턴(65)위에이산화황몰리브덴(70)을인쇄하고패터닝하는단계(제 5 단계); 이산화황몰리브덴(70)의일면을패시베이션처리하여제 2 패시베이션층(80)을형성하는단계(제 6 단계); 및웨이퍼(60)로부터분리하여촉각센서를생성하는단계(제 7 단계);를포함하는것을특징으로하는이황화몰리브덴을이용한촉각센서의제조방법이제공된다.
    • 使用二硫化钼的触觉传感器及其制造方法技术领域本发明涉及使用二硫化钼的触觉传感器及其制造方法。 为此,准备硅基晶片60的步骤(第一步骤); 通过钝化晶片60的表面来形成第一钝化层62(第二步骤); 在第一钝化层62上形成石墨烯层64(第三步骤); 通过图案化石墨烯层64形成石墨烯图案65(第四步骤); 在graphen图案65上打印和图案化二氧化钼70(第五步); 通过钝化钼(70)二氧化硫的表面来形成第二钝化层(80)(步骤6); 和一个步骤(步骤7),以从晶片中分离60产生触觉传感器,用于制造使用二硫化钼,提供一种包括触摸传感器的方法,包括:一个。
    • 9. 发明授权
    • 플렉서블 촉각센서
    • 灵活的传感器
    • KR101502824B1
    • 2015-03-17
    • KR1020140037583
    • 2014-03-31
    • 이정일이재혁
    • 이정일이재혁
    • G01L1/22B81B7/02
    • G01L1/22B81B3/0018B81B7/02B81B2201/0264
    • 본 발명에 의한 플렉서블 촉각센서는, 감광성 폴리머로 이루어진 서브스트레이트층, 상기 서브스트레이트층 상에 형성되는 4개의 금속 스트레인게이지, 상기 금속 스트레인게이지와 연결되어 형성되는 금속배선, 하면이 상기 4개의 금속 스트레인게이지 각각의 일부와 접착되고 일정 높이로 형성되는 4개의 서포트 기둥 및 상기 4개의 서포트 기둥에 의해 지지되는 감지판을 포함함으로써, 본 발명에 의하면 촉각센서로서의 필수적인 유연성을 가지면서도 3축의 힘을 분리, 측정이 용이한 촉각센서의 제공이 가능하다.
    • 根据本发明,柔性触觉传感器包括:由光敏聚合物制成的基片; 在基板上形成四个金属应变片; 连接到金属应变计的金属线; 形成在固定高度的四个支撑柱,并且其下表面部分地结合到四个金属应变计中的每一个上; 以及由四个支撑柱支撑的接触板。 根据本发明,提供了一种能够分解和测量三轴的力同时具有作为触觉传感器所需的灵活性的触觉传感器。