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1. 发明公开

KR1020090097399A 복수 개의 도파관을 사용하여 분산을 갖는 메타물질을구현하는 기판 无效
标题翻译：使用多种波长的分散式元件的基础
公开(公告)号：KR1020090097399A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：KR1020080022511
申请日：2008-03-11
申请人： 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
发明人： 백찬욱 , 박건식 , 김종민 , 전성찬 , 신영민 , 소진규
IPC分类号： H01P1/201
CPC分类号： H01P1/201 , H01P3/122 , H01P3/13
摘要： A substrate is provided to perform a dispersive meta material by using diffraction between electromagnetic waves which pass a plurality of waveguides. A substrate(1) includes a first surface(10), a second surface(20), and a plurality of waveguides(30). An electromagnetic wave is incident on the first surface. The electromagnetic wave is emitted from the second surface. A plurality of waveguides is arranged according to a first axial direction and a second axial direction. The first axial direction is parallel to a polarizing direction of the electromagnetic wave. The second axial direction is vertical to the first axial direction. A plurality of waveguides generates diffraction of the electromagnetic wave by delivering the electromagnetic wave from the first surface to the second surface. A plurality of waveguides generates Fabry-Perot resonance of the electromagnetic wave.
摘要翻译：提供衬底以通过使通过多个波导的电磁波之间的衍射来执行分散的间位材料。基板（1）包括第一表面（10），第二表面（20）和多个波导（30）。电磁波入射在第一表面上。电磁波从第二表面发射。多个波导根据第一轴向和第二轴向布置。第一轴向平行于电磁波的偏振方向。第二轴向垂直于第一轴向。多个波导通过将电磁波从第一表面传递到第二表面而产生电磁波的衍射。多个波导产生电磁波的法布里 - 珀罗共振。

2. 发明公开

KR1020090067516A 공진 수단의 구동 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于驱动共振装置的装置和方法
公开(公告)号：KR1020090067516A
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：KR1020070135200
申请日：2007-12-21
申请人： 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
发明人： 전성찬 , 김선일 , 손영목 , 백찬욱 , 김현진
IPC分类号： H03B1/00 , B82Y40/00
摘要： An apparatus and a method for driving a resonant unit are provided to high maintain a value of a quality factor of a nano resonator by applying a DC power to a resonant unit. An AC power source part(10) generates a driving power having a fixed size in order to generate resonance in a resonant unit(30). An attenuating part(11) is connected between the AC power source part and the resonant unit. A phase dividing part(12) is connected between the AC power source part and the resonant unit. The phase dividing part divides an AC power generated in the AC power source part into two or more power having a fixed phase difference. A DC power supply source part(20) generates a DC power of a desired size. The resonant unit is resonated by using the AC power as the driving power. A detecting unit(40) grasps a resonant property of the resonant unit by detecting an inducing voltage. A control part(50) controls the AC power source part and the DC power source part.
摘要翻译：提供了用于驱动谐振单元的装置和方法，以通过向谐振单元施加DC电力来高度维持纳米谐振器的品质因数的值。交流电源部分（10）产生具有固定尺寸的驱动电力，以便在谐振单元（30）中产生谐振。在AC电源部分和谐振单元之间连接有衰减部分（11）。相位分离部（12）连接在交流电源部与谐振单元之间。相分离部将交流电源部中产生的交流电力分成具有固定相位差的2个以上的电力。直流电源部件（20）产生期望尺寸的直流电力。谐振单元通过使用AC电力作为驱动电力来谐振。检测单元（40）通过检测感应电压来掌握谐振单元的谐振特性。控制部（50）控制交流电源部和直流电源部。

3. 发明授权

KR101330140B1 공진 수단의 구동 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于驱动共振装置的装置和方法
公开(公告)号：KR101330140B1
公开(公告)日：2013-11-18
申请号：KR1020070135200
申请日：2007-12-21
申请人： 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
发明人： 전성찬 , 김선일 , 손영목 , 백찬욱 , 김현진
IPC分类号： H03B1/00 , B82Y40/00
摘要： 공진 수단에 교류 전력을 인가하는 교류 전원부; 상기 공진 수단에 직류 전력을 인가하는 직류 전원부; 및 상기 교류 전원부 및 상기 직류 전원부에 의해 인가된 전력에 의해 상기 공진 수단이 선형 조화 진동(linear harmonic oscillation)하도록 상기 직류 전원부 및 상기 교류 전원부를 제어하는 제어부를 포함하는 공진 수단의 구동 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 공진 수단의 구동 장치 및 방법을 사용하면, 나노 공진기와 같은 공진 수단에 인가되는 구동 전력의 크기를 증가시켜 신호 대 잡음 비율이 향상됨에 따라 신호의 검출이 용이하며, 공진 수단에 직류 전력을 인가함으로써 조화 진동을 유지할 수 있으므로 구동 전력의 크기가 증가하는 경우에도 나노 공진기의 양호도 Q의 값을 높게 유지할 수 있다.
공진, 선형, 조화 진동

4. 发明授权

KR101310668B1 다단계 기판 식각 방법 및 이를 이용하여 제조된테라헤르츠 발진기 有权
标题翻译：通过该方法制造的多级基板蚀刻方法和太赫兹辐射源
公开(公告)号：KR101310668B1
公开(公告)日：2013-09-24
申请号：KR1020070074593
申请日：2007-07-25
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백찬욱 , 김종석 , 전성찬 , 김선일 , 김종민 , 전찬봉 , 이상훈
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01P11/003 , Y10T428/24802
摘要： 다단계 기판 식각 방법 및 이를 이용하여 제조된 테라헤르츠 발진기가 개시된다. 본 발명은 제1 기판의 어느 한 면에 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제1 기판을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 식각 하고자 하는 깊이와 동일한 두께를 갖는 제2 기판을 상기 제1 기판과 접합하는 단계; 상기 접합된 제2 기판 위에 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 및 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 식각 선택비를 갖는 산화막을 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 깊은 단차에서도 에칭 바닥면을 균일하게 할 수 있고, 가장자리의 곡률 반경을 최소화하며, 벽면의 T-shape 형상 등을 방지하여 에칭 품질을 향상시킬 수 있고, 에칭 깊이를 미리 래핑(lapping) 이나 폴리싱(polishing)을 통해 조절 가능하고, 상하판의 얼라인 키를 이용하여 정확하게 접합할 수 있으며, 멀티 레이어(multi layer) 공정이 가능하여 발진기나 증폭기 구조의 정밀도와 균일도를 얻을 수 있다.

5. 发明公开

KR1020110124590A 탄소계 나노 물질을 이용한 공진기 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：使用碳纳米材料的谐振器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110124590A
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020100044062
申请日：2010-05-11
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 신제식 , 전성찬 , 박윤권 , 송인상 , 김영일 , 김덕환 , 김철수
IPC分类号： H03H9/24 , B82Y30/00 , B82B3/00 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/2463 , B82Y30/00 , H03H2009/02322 , B82B3/0004
摘要： PURPOSE: A resonator which uses carbon based nano materials and a manufacturing method thereof are provided to include a silicon carbide layer and a carbon based nano material layer, thereby reducing energy loss with high rigidity compared to density. CONSTITUTION: A sacrificial layer(120) is arranged on a substrate(110). A resonance structure(130) is arranged on the sacrificial layer. The sacrificial layer supports both sides of the resonance structure of a dual fixing beam type. The resonance structure comprises a carbon based nano material layer(132) and a silicon carbide layer(131). The carbon based nano material layer includes one of materials among graphene, graphite, and CNT(Carbon Nano Tube).
摘要翻译：目的：提供一种使用碳纳米材料的谐振器及其制造方法，其包括碳化硅层和碳基纳米材料层，从而与密度相比，具有高刚性的能量损失。构成：牺牲层（120）布置在基底（110）上。谐振结构（130）布置在牺牲层上。牺牲层支撑双重固定梁类型的共振结构的两侧。谐振结构包括碳基纳米材料层（132）和碳化硅层（131）。碳纳米材料层包括石墨烯，石墨和CNT（碳纳米管）之一的材料之一。

6. 发明授权

KR101946003B1 그래핀을 채용한 고주파 회로 및 그의 구동방법 有权
公开(公告)号：KR101946003B1
公开(公告)日：2019-02-11
申请号：KR1020110067971
申请日：2011-07-08
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 신현진 , 최재영 , 전성찬 , 김환균 , 윤형서 , 오주영 , 임주환
IPC分类号： H01L21/768 , H01L27/04

7. 发明授权

KR101892540B1 바이오 물질의 알에프 특성 측정 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101892540B1
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：KR1020120049543
申请日：2012-05-10
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 손상욱 , 김덕환 , 송인상 , 전성찬 , 박호수 , 신제식 , 이문철
IPC分类号： G01N27/02 , G01N22/00 , G01N27/22
CPC分类号： G01N27/08 , A61B5/05 , A61B5/053 , A61B5/14532 , A61B5/14546 , G01N27/02 , G01N27/07 , G01N27/226
摘要： 바이오물질의알에프특성측정방법및 장치가개시된다. 바이오물질의알에프특성측정장치는, 바이오시료(biological sample)의유동경로를제공하는미세채널과, 상기유동경로상에형성되어상기바이오시료가접촉되는감지부를포함할수 있다. 제1 신호전극은상기감지부의제1 영역에 RF 신호를전달하고, 제2 신호전극은상기감지부의제2 영역에상기 RF 신호를전달한다.

8. 发明授权

KR101336962B1 복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기 有权
标题翻译：纳米谐振器采用复合结构梁
公开(公告)号：KR101336962B1
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：KR1020070053705
申请日：2007-06-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 전성찬 , 김선일 , 백찬욱
IPC分类号： H01P7/00
CPC分类号： H03H9/2463 , B82Y15/00 , H03H9/02244 , Y10S977/712 , Y10S977/72 , Y10S977/724 , Y10S977/932
摘要： 복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기가 개시된다. 본 발명은 나노 빔을 이용하는 공진기에 있어서, 실리콘 카바이드 빔; 상기 실리콘 카바이드 빔 위에 증착된 희생층; 및 상기 희생층 위에 증착된 저밀도의 금속 전도체를 포함하는 복합 구조의 빔을 이용한다. 본 발명에 의하면, 나노 빔의 전기적 전도성을 높이고, 초전도 자력선을 필요로 하지 않고 실온, 준공진의 조건에서도 충분한 공진이 가능하여 실용화가 용이하고, 양호도를 향상시킬 수 있으며, 기가 헤르쯔 이상의 고주파 영역에서의 동작이 용이하다.

9. 发明授权

KR101301157B1 다단계 기판 식각 방법 및 이를 이용하여 제조된테라헤르츠 발진기 有权
标题翻译：使用相同方法制造的多阶段衬底蚀刻和TERAHERTZ振荡器的方法
公开(公告)号：KR101301157B1
公开(公告)日：2013-09-03
申请号：KR1020070114456
申请日：2007-11-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백찬욱 , 홍석우 , 김종석 , 전성찬 , 김선일
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： H03B28/00 , B44C1/227 , H01L23/66 , H01L2223/6627 , H01L2924/0002 , H01L2924/1903 , H01L2924/00
摘要： 제1 기판의 어느 한 면에 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제1 기판을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 제2 기판의 어느 한 면에 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 미리 설정된 깊이만큼 식각하여 홀을 형성하는 단계; 상기 제1 기판의 식각된 면이 상기 제2 기판의 식각된 면에 접합되도록 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 접합하는 단계; 상기 제2 기판에 제3 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제3 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 식각하여, 상기 제2 기판을 관통하는 홀을 형성하는 단계를 포함하는 다단계 기판 식각 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다단계 기판 식각 방법을 사용하면, 식각 후 바닥면에 곡률 반경이 생기거나 단차면에서 오버행(overhang) 구조가 생성되는 것을 방지할 수 있어 식각 품질을 개선할 수 있고, 각 기판에 위치한 얼라인 키를 사용하여 기판을 정교하게 접합할 수 있으며, 다층(multi-layer) 공정이 가능한 이점이 있다.
식각, 발진기, 테라헤르츠, 공융

10. 发明授权

KR101957339B1 그래핀을 채용한 고주파 회로 및 그의 구동방법 有权
公开(公告)号：KR101957339B1
公开(公告)日：2019-03-13
申请号：KR1020110067970
申请日：2011-07-08
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 신현진 , 최재영 , 전성찬 , 김환균 , 윤형서 , 오주영 , 임주환
IPC分类号： H01L21/768 , H01L27/04

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