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1. 发明公开

KR1020060036687A 클린룸에서 사용되는 파티클 측정 장치 无效
标题翻译：用于清洁室的颗粒探针装置
公开(公告)号：KR1020060036687A
公开(公告)日：2006-05-02
申请号：KR1020040085756
申请日：2004-10-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장현천 , 김태협 , 김재봉
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67017 , G01N15/06 , G01N2015/0046
摘要： 본 발명은 클린룸에서의 파티클 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 파티클 측정 장치는 클린룸의 필터 표면으로부터 배출되는 공기를 포집하는 샘플링 프로브 또는 샘플링 프로브를 지지하고, 이동시키기 위한 스탠드에 파티클 측정 데이터를 실시간으로 출력하는 디스플레이 장치를 구비한다. 그러므로 작업자는 스캐닝 작업을 진행하면서 측정된 파티클 발생 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있다. 본 발명에 의하면, 클린룸에 설치되어 있는 청정도 유지용 필터의 리크 테스트를 보다 정확하고 세밀히 측정할 수 있으며, 신뢰성 있는 측정 데이터를 바탕으로 필터 보수 및 교체 작업을 수행할 수 있다.
반도체 제조 설비, 클린룸, 파티클, 측정 장치, 디스플레이

2. 发明授权

KR100505061B1 기판 이송 모듈 失效
标题翻译：基板传输模块
公开(公告)号：KR100505061B1
公开(公告)日：2005-08-01
申请号：KR1020030008847
申请日：2003-02-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김현준 , 안요한 , 함동석 , 김재봉
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67772
摘要： FOUP와 기판 가공 모듈 사이에서 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 모듈에 있어서, 기판 이송 챔버의 내부는 가스 공급부로부터 공급되는 퍼지 가스에 의해 퍼지된다. 기판 이송 챔버로 공급된 퍼지 가스는 가스 순환 배관을 통해 순환되며, 순환되는 퍼지 가스는 필터링 유닛에 의해 정제된다. 필터링 유닛에 의해 정제된 퍼지 가스는 다시 기판 이송 챔버로 공급된다. 기판 이송 챔버의 외부 공기가 기판 이송 챔버로 유입되지 않으므로, 반도체 기판의 공기 분자상 오염이 방지된다. 또한, 기판 이송 챔버로 공급된 퍼지 가스가 가스 순환 배관을 통해 순환되므로, 퍼지 가스의 소모량이 감소된다.

3. 发明公开

KR1020040041257A 외부 공기 조절기 无效
标题翻译：外部空气控制器
公开(公告)号：KR1020040041257A
公开(公告)日：2004-05-17
申请号：KR1020020069429
申请日：2002-11-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 황정성 , 김현준 , 황태진
IPC分类号： F24F3/16
摘要： PURPOSE: An external air controller is provided to secure the sufficient removing efficiency of filters by collecting pollutants through a dust collecting unit. CONSTITUTION: A first air inflow pipe(100) is installed to flow external air in. A first interrupting film(102) is installed at a front end of the first air inflow pipe to interrupt the external air from flowing into the first air inflow pipe. A cyclone dust collecting unit(104) is installed on one side of the first air inflow pipe and collects fine pollutants from air flowed into the first air inflow pipe. The cyclone dust collecting unit separates the fine pollutants by using centrifugal force generated by vortex of gas or fluid. A plurality of filters(110b,110c) are arranged to filter the fine pollutants from air flowed into an air purifying pipe(110).
摘要翻译：目的：提供外部空气控制器，以通过集尘单元收集污染物来确保过滤器的充分去除效率。构成：安装第一空气流入管（100）以流过外部空气。第一中断膜（102）安装在第一空气流入管的前端，以中断外部空气流入第一空气流入管。旋风集尘单元（104）安装在第一空气流入管的一侧，并从流入第一空气流入管的空气中收集微细污染物。旋风除尘器采用气体或液体涡流产生的离心力分离微细污染物。多个过滤器（110b，110c）布置成从流入空气净化管（110）的空气中过滤细小污染物。

4. 发明公开

KR1019990069662A 액정을 이용한 정전기 센서 无效
标题翻译：使用液晶的静电传感器
公开(公告)号：KR1019990069662A
公开(公告)日：1999-09-06
申请号：KR1019980004053
申请日：1998-02-11
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 김태호 , 유남희 , 이순영
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 웨이퍼나 글래스에 발생되는 정전기의 전위를 측정하는 액정을 이용한 정전기 센서에 관한 것이다.
본 발명은, 균일한 밝기의 광을 제공하는 발광부, 상기 발광부의 상부에 설치되어 정전기가 형성된 소정 대전체의 전위에 따라 배열상태를 달리하는 액정이 형성되어 있는 액정형성부 및 상기 액정형성부의 상부에 설치되어 상기 발광부로부터 조사되어서 상기 액정형성부를 통과하는 광을 감지하는 수광수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 액정을 이용함으로써 소정 면에 형성된 정전기의 분포가 전기적 신호에 의하거나 시각적으로 확인되어 정전기의 분포가 쉽게 확인되는 효과가 있다.

5. 实用新型

KR2019940008556Y1 콤퓨터의 동작상태 표시장치 失效
标题翻译：计算机的活动状态显示单元
公开(公告)号：KR2019940008556Y1
公开(公告)日：1994-12-23
申请号：KR2019920002651
申请日：1992-02-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉
IPC分类号： G06F3/14
摘要： 내용 없음.

6. 发明公开

KR1020080034329A 클린룸의 모니터링 시스템 및 그의 처리 방법 无效
标题翻译： CLEAMROOM监控系统及其处理方法
公开(公告)号：KR1020080034329A
公开(公告)日：2008-04-21
申请号：KR1020060100436
申请日：2006-10-16
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임성재 , 김재봉 , 장현천 , 이건형 , 이혜미
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A clean room monitoring system and a method for processing the same are provided to selectively remove organic contaminants within a clean room and monitor the component of a specific organic contaminant in real-time, by using a light source and a monochromator. A clean room monitoring system for monitoring organic contaminants within a clean room, comprises a sample input unit(102), a selective component removal interface(110), and an analyzer(130). The sample input unit receives sample air from the inside of the clean room. The selective component removal interface having a plurality of channels(104,106,108), equally distributes the sample air to each channel to selectively remove resident contaminant component from the distributed sample air. The analyzer detects receives the sample air and resident contaminant component from the selective component removal interface to detect effective contaminant components for actual monitoring, and monitors changes in the effective contaminant components.
摘要翻译：提供洁净室监视系统及其处理方法，以便通过使用光源和单色仪来实时地选择性地去除洁净室内的有机污染物并监测特定有机污染物的组分。一种用于监测洁净室内的有机污染物的清洁室监测系统，包括样品输入单元（102），选择性组分去除界面（110）和分析仪（130）。样品输入单元从洁净室的内部接收样品空气。具有多个通道（104,106,108）的选择性部件去除界面，均匀地将样品空气分配到每个通道以选择性地从分布式样品空气中去除驻留的污染物组分。分析仪检测从选择性元件去除界面接收样品空气和驻留的污染物成分，以检测有效的污染物组分进行实际监测，并监测有效污染物组分的变化。

7. 发明授权

KR100621618B1 열 탈착 시스템 失效
标题翻译：热解吸系统
公开(公告)号：KR100621618B1
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：KR1020030077640
申请日：2003-11-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 김현준 , 김태협 , 장현천
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 열 탈착 시스템에 관한 것으로, 챔버 내에 장착된 기판을 가열하여 상기 기판 표면에 흡착된 물질을 탈착시키는 열 탈착 시스템에 있어서, 상기 챔버는 상기 기판을 영역별로 구분하는 벽을 가지고 있고, 상기 벽에 의해 구분된 영역은 각각 독립적인 캐리어 가스관을 가지는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 대구경화된 웨이퍼의 센터부와 에지부 간의 수율 차이에 대한 원인 규명 등 기존에는 불가능했던 웨이퍼 센터부와 에지부 간의 구분 분석을 진행할 수 있어 웨이퍼 영역성 불량 분석에 활용할 수 있는 효과가 있다.

8. 发明公开

KR1020060090091A 오염 분석 방법 无效
标题翻译：分析污染的方法
公开(公告)号：KR1020060090091A
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：KR1020050011304
申请日：2005-02-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김태협 , 김재봉 , 장현천
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 부유 분자성 오염물의 분석 방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 복수개의 오염 측정 대상 포인트 중에서 동일한 저농도값을 갖는 포인트별로 이루어진 제1 통합포인트와 동일한 고농도값을 갖는 포인트들로 이루어진 제2 통합포인트를 설정하는 단계와, 상기 제1 통합포인트에 대한 오염물 농도를 측정하는 단계와, 상기 제1 통합포인트 측정 결과 양호한 경우 상기 제2 통합포인트를 측정하고, 상기 제1 통합포인트 측정 결과 불량한 경우 상기 제1 통합포인트를 이루는 상기 동일한 저농도값을 갖는 포인트들을 측정하는 단계와, 그리고 상기 제2 통합포인트 측정 결과 양호한 경우 상기 제1 통합포인트를 측정하고, 상기 제2 통합포인트 측정 결과 불량한 경우 상기 제2 통합포인트를 이루는 상기 동일한 고농도값을 갖는 포인트들을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 동일한 오염 농도값을 갖는 포인트들을 한데 묶어 이를 하나의 포인트로 관리하다가 기준 농도값을 상회하면 이들을 풀어서 각각의 포인트별로 샘플링한다. 이를 통해 효율적인 모니터링이 가능해지며 부가적으로 투자 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

9. 发明授权

KR100605106B1 그레이팅 패널 및 그것을 사용하는 청정실 시스템 失效
标题翻译：磨砂面板和清洁室系统使用磨砂面板
公开(公告)号：KR100605106B1
公开(公告)日：2006-07-31
申请号：KR1020040051177
申请日：2004-07-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 황정성 , 조창민 , 양재현 , 전상문 , 김재봉
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： F24F13/068 , F24F3/161
摘要： 본 발명은 본 발명은 청정실 환경에서 사용되는 바닥과 같은 그레이팅(Grating) 패널과, 그 패널을 사용하는 청정실 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 그레이팅(Grating) 패널은 복수개의 천공구멍들을 갖는 베이스판을 포함하되, 천공구멍은 공기가 유입되는 유입부와, 공기가 유출되는 유출부를 갖으며, 상기 유입부는 상기 유출부에 가까울수록 그 단면적이 감소되며, 상기 유출부는 상기 유입부로부터 멀어질수록 그 단면적이 증가된다.

10. 发明授权

KR100544055B1 대기중의 오염물질 시료 채취장치 失效
标题翻译：空气污染物取样装置
公开(公告)号：KR100544055B1
公开(公告)日：2006-04-14
申请号：KR1019980031392
申请日：1998-08-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이동주 , 김재봉 , 김기두 , 박은정
IPC分类号： G01N1/22
摘要： 본 발명은 구조변경된 파티클 샘플러와 이온 샘플러를 직렬로 일체화하여 대기중으로부터 오염물질 즉, 이온과 파티클을 채취할 수 있도록 하는 대기중의 오염물질 시료 채취장치에 관한 것으로, 이는 직렬 결합된 다수개의 스테이지로 구성되어서 대기중의 공기로부터 파티클을 크기별로 분리 포집하는 파티클 샘플러와, 상기 파티클 샘플러에 직렬 연결되어서 진공상태에서 파티클 샘플러로부터 배출되는 공기중의 이온을 용해하는 이온 샘플러를 구비한 대기중의 오염물질 시료 채취장치를 구성함으로써, 공기중으로부터 파티클과 이온량을 정확하게 측정하여 반도체를 생산하는 장치의 수율을 높이기 위한 데이터의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

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