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1. 发明授权

KR100628889B1 정전기 센서 및 이를 갖는 정전기 측정 장치 失效
标题翻译：静电电导率传感器和用于测量静电电导率的装置
公开(公告)号：KR100628889B1
公开(公告)日：2006-09-26
申请号：KR1020050001484
申请日：2005-01-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 김태협 , 장현천
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 정전기 센서 및 정전기 측정 장치에서, 정전기 센서는 대상물의 표면이 띠는 정전기로 구동 전압을 형성하는 전극부 및 전극부와 연결되며 구동 전압에 의해 발광하는 유기 이엘을 갖는 발광부를 포함한다. 그리고 정전기 측정 장치는 정전기 센서와 정전기 센서를 대상물을 따라 이동시키기 위한 이동부를 포함한다. 따라서, 유기 이엘과 투명 전극을 사용함으로서 실시간으로 정전기 센서의 색체 변화를 통해 정전기 분포를 정확하게 측정하며 정전기 대전현상을 분석하여 정전기 발생 원인을 효과적으로 규명할 수 있다.

2. 发明公开

KR1019990001950A 반도체 공정가스 분석장치 无效
标题翻译：半导体工艺气体分析仪
公开(公告)号：KR1019990001950A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970025428
申请日：1997-06-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김호왕 , 장현천
IPC分类号： H01L21/20
摘要： 본 발명은 표준가스와 고순도가스를 혼합하여 형성된 혼합 표준가스를 사용하는 반도체 공정가스 분석장치에 관한 것이다.
본 발명은, 고순도가스가 공급되는 고순도가스 공급라인과 표준가스가 공급되는 표준가스 공급라인이 서로 연결된 후, 다시 극미량 분석기기와 연결구성된 반도체 공정가스 분석장치에 있어서, 상기 고순도가스 공급라인 및 표준가스 공급라인이 연결되는 지점에 일정 내부공간을 가지는 버퍼부가 형성됨을 특징으로 한다.
따라서, 고순도가스와 표준가스를 용이하게 혼합하여 정확한 농도의 혼합 표준가스를 형성할 수 있는 효과가 있다.

3. 发明公开

KR1020080099032A 박테리아 자동샘플링 장치 无效
标题翻译：用于自动采样细菌的装置
公开(公告)号：KR1020080099032A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：KR1020070044620
申请日：2007-05-08
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고길선 , 장현천 , 임성재 , 김동연 , 이혜미 , 김우정
IPC分类号： G01N1/14 , H01L21/66
摘要： An automatic bacteria sampling apparatus can minimize the analysis error by sterilizing and washing the pipeline in a standby mode. An automatic bacteria sampling apparatus(100) comprises a case(102) having a receiving portion(104), an introduction pipe(106), a discharge line(108), and a heater(110). The introduction pipe is arranged in the case and connected to one side of the receiving portion. The discharge line is arranged in the case and is connected to the other side of the receiving portion. The heater is installed adjacent to the introduction pipe.
摘要翻译：自动细菌取样装置可以通过在待机模式下对管道进行消毒和洗涤来最小化分析误差。自动细菌取样装置（100）包括具有接收部分（104），导入管（106），排出管线（108）和加热器（110）的壳体（102）。引入管布置在壳体中并连接到接收部分的一侧。排出线布置在壳体中并连接到接收部分的另一侧。加热器安装在导入管附近。

4. 发明公开

KR1020060036687A 클린룸에서 사용되는 파티클 측정 장치 无效
标题翻译：用于清洁室的颗粒探针装置
公开(公告)号：KR1020060036687A
公开(公告)日：2006-05-02
申请号：KR1020040085756
申请日：2004-10-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장현천 , 김태협 , 김재봉
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67017 , G01N15/06 , G01N2015/0046
摘要： 본 발명은 클린룸에서의 파티클 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 파티클 측정 장치는 클린룸의 필터 표면으로부터 배출되는 공기를 포집하는 샘플링 프로브 또는 샘플링 프로브를 지지하고, 이동시키기 위한 스탠드에 파티클 측정 데이터를 실시간으로 출력하는 디스플레이 장치를 구비한다. 그러므로 작업자는 스캐닝 작업을 진행하면서 측정된 파티클 발생 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있다. 본 발명에 의하면, 클린룸에 설치되어 있는 청정도 유지용 필터의 리크 테스트를 보다 정확하고 세밀히 측정할 수 있으며, 신뢰성 있는 측정 데이터를 바탕으로 필터 보수 및 교체 작업을 수행할 수 있다.
반도체 제조 설비, 클린룸, 파티클, 측정 장치, 디스플레이

5. 发明公开

KR1020070080508A 파티클 측정 장치 无效
标题翻译：用于测量纸张的装置
公开(公告)号：KR1020070080508A
公开(公告)日：2007-08-10
申请号：KR1020060011872
申请日：2006-02-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장현천 , 김동연 , 윤동환
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A particle measurement apparatus is provided to measure the number of particles of a low pressure gas by performing the dilution of external air using a buffer chamber, a purge filter and a predetermined filter. A particle measurement apparatus includes a chamber(110) for collecting and buffering a predetermined gas, a purge filter, a predetermined filter and a particle counter. The purge filter(108) is used for changing the pressure of an inner space of the chamber into the atmospheric pressure. The predetermined filter(118) supplies the deficiency of a sample air flow by filtering the external air supplied into the chamber. The particle counter(102) is connected with the chamber in order to measure the number of particles of the external air.
摘要翻译：提供粒子测量装置，通过使用缓冲室，吹扫过滤器和预定过滤器进行外部空气的稀释来测量低压气体的颗粒数。颗粒测量装置包括用于收集和缓冲预定气体的室（110），吹扫过滤器，预定过滤器和颗粒计数器。吹扫过滤器（108）用于将室的内部空间的压力改变为大气压力。预定的过滤器（118）通过过滤供应到室中的外部空气来提供样品空气流的不足。颗粒计数器（102）与室连接以便测量外部空气的颗粒数。

6. 发明公开

KR1020070064901A 오염물질 검출 시스템 및 방법 无效
标题翻译：用于检测污染物质的系统和方法
公开(公告)号：KR1020070064901A
公开(公告)日：2007-06-22
申请号：KR1020050125493
申请日：2005-12-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임성재 , 김동연 , 이혜미 , 안요한 , 황태진 , 함동석 , 장현천 , 이수웅 , 김우정
IPC分类号： G01N27/00 , H01L21/66 , G01N33/00
摘要： A system and method for detecting contamination materials are provided to shorten installation time, reduce maintenance costs, and maintenance operations and times of an operator. A system for detecting contamination materials includes an introduction member(110), an integration member(120), a suction member(130), a buffer member(140), a detection part(150), a controller(160), and a display member(170). The introduction member is disposed in a predetermined space(10) to introduce the air. The integration member receives the air from the introduction member. The suction member forcedly sucks the air. The buffer member receives the air to distribute the air into detection members. The detection part has detection members to detect different contaminants. The controller receives the detected signal to transmits the signal to the display member.
摘要翻译：提供一种用于检测污染物质的系统和方法，以缩短安装时间，降低维护成本，以及操作者的维护操作和时间。用于检测污染物质的系统包括引入构件（110），整合构件（120），抽吸构件（130），缓冲构件（140），检测部分（150），控制器（160）和显示构件（170）。引入构件设置在预定空间（10）中以引入空气。集成部件从导入部件接收空气。抽吸构件强制吸入空气。缓冲构件接收空气以将空气分配到检测构件中。检测部件具有用于检测不同污染物的检测部件。控制器接收检测到的信号以将信号发送到显示构件。

7. 发明公开

KR1020060081077A 정전기 센서 및 이를 갖는 정전기 측정 장치 失效
标题翻译：静态感应传感器及测量具有相同功能的静电场的装置
公开(公告)号：KR1020060081077A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020050001484
申请日：2005-01-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 김태협 , 장현천
IPC分类号： G01R29/12
CPC分类号： G01R29/12
摘要： 정전기 센서 및 정전기 측정 장치에서, 정전기 센서는 대상물의 표면이 띠는 정전기로 구동 전압을 형성하는 전극부 및 전극부와 연결되며 구동 전압에 의해 발광하는 유기 이엘을 갖는 발광부를 포함한다. 그리고 정전기 측정 장치는 정전기 센서와 정전기 센서를 대상물을 따라 이동시키기 위한 이동부를 포함한다. 따라서, 유기 이엘과 투명 전극을 사용함으로서 실시간으로 정전기 센서의 색체 변화를 통해 정전기 분포를 정확하게 측정하며 정전기 대전현상을 분석하여 정전기 발생 원인을 효과적으로 규명할 수 있다.

8. 发明公开

KR1019990001385A 반도체장치 제조설비용 이슬점측정장치의 센서부 및 그 퍼지방법 无效
标题翻译：半导体器件制造设备的露点测量装置的传感器部件及其清洗方法
公开(公告)号：KR1019990001385A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970024689
申请日：1997-06-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김호왕 , 류재준 , 장현천 , 김수련
IPC分类号： H01L21/22
摘要： 본 발명은 반도체장치 제조설비용 이슬점측정장치의 센서부 및 그 퍼지방법에 관한 것이다.
본 발명은, 가스에 포함되어 있는 수분 또는 습기 등을 측정하는 반도체장치 제조설비용 이슬점측정장치의 센서부에 있어서, 상기 센서부에 상기 가스를 유입시키는 유입수단 및 상기 센서부에 유입된 가스를 배기시키는 배기수단 각각에 대기중의 수분 또는 습기 등의 유입을 차단시키는 개폐수단을 더 구비시킴을 특징으로 한다.
따라서, 이슬점측정장치의 센서부는 별도의 안정화 작업이 필요없고 또한 측정데이터의 신뢰도 등의 향상으로 인하여 이슬점측정장치의 효율성이 향상되는 효과가 있다.

9. 发明公开

KR1020080034329A 클린룸의 모니터링 시스템 및 그의 처리 방법 无效
标题翻译： CLEAMROOM监控系统及其处理方法
公开(公告)号：KR1020080034329A
公开(公告)日：2008-04-21
申请号：KR1020060100436
申请日：2006-10-16
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임성재 , 김재봉 , 장현천 , 이건형 , 이혜미
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A clean room monitoring system and a method for processing the same are provided to selectively remove organic contaminants within a clean room and monitor the component of a specific organic contaminant in real-time, by using a light source and a monochromator. A clean room monitoring system for monitoring organic contaminants within a clean room, comprises a sample input unit(102), a selective component removal interface(110), and an analyzer(130). The sample input unit receives sample air from the inside of the clean room. The selective component removal interface having a plurality of channels(104,106,108), equally distributes the sample air to each channel to selectively remove resident contaminant component from the distributed sample air. The analyzer detects receives the sample air and resident contaminant component from the selective component removal interface to detect effective contaminant components for actual monitoring, and monitors changes in the effective contaminant components.
摘要翻译：提供洁净室监视系统及其处理方法，以便通过使用光源和单色仪来实时地选择性地去除洁净室内的有机污染物并监测特定有机污染物的组分。一种用于监测洁净室内的有机污染物的清洁室监测系统，包括样品输入单元（102），选择性组分去除界面（110）和分析仪（130）。样品输入单元从洁净室的内部接收样品空气。具有多个通道（104,106,108）的选择性部件去除界面，均匀地将样品空气分配到每个通道以选择性地从分布式样品空气中去除驻留的污染物组分。分析仪检测从选择性元件去除界面接收样品空气和驻留的污染物成分，以检测有效的污染物组分进行实际监测，并监测有效污染物组分的变化。

10. 发明授权

KR100621618B1 열 탈착 시스템 失效
标题翻译：热解吸系统
公开(公告)号：KR100621618B1
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：KR1020030077640
申请日：2003-11-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김재봉 , 김현준 , 김태협 , 장현천
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 열 탈착 시스템에 관한 것으로, 챔버 내에 장착된 기판을 가열하여 상기 기판 표면에 흡착된 물질을 탈착시키는 열 탈착 시스템에 있어서, 상기 챔버는 상기 기판을 영역별로 구분하는 벽을 가지고 있고, 상기 벽에 의해 구분된 영역은 각각 독립적인 캐리어 가스관을 가지는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 대구경화된 웨이퍼의 센터부와 에지부 간의 수율 차이에 대한 원인 규명 등 기존에는 불가능했던 웨이퍼 센터부와 에지부 간의 구분 분석을 진행할 수 있어 웨이퍼 영역성 불량 분석에 활용할 수 있는 효과가 있다.

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