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1. 发明授权

KR101764688B1 선회 베어링을 구비한 플랩 전환밸브 有权
标题翻译：带旋转轴承的活瓣开关阀
公开(公告)号：KR101764688B1
公开(公告)日：2017-08-03
申请号：KR1020100103719
申请日：2010-10-22
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K3/18 , F16K51/02 , H01L21/68 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02
摘要： 본발명은기밀하게(air-tight) 격리될수 있는반도체또는기판처리공정챔버로, 반도체소자또는기판을이동시키기위한플랩전환밸브에관한것이다. 연장된제1 개구부(1)가, 밀폐위치(C) 및개방위치(O) 사이에서선회베어링을통해선회축을중심으로선회할수 있는연장된밸브밀폐빔(4)에의해밀폐될수 있다. 드라이브(13)에의해샤프트(11)가샤프트축(12)을중심으로회전할수 있으며, 샤프트는상기밸브밀폐빔(4)에가동가능하게연결됨으로써, 샤프트(11)의회전으로인해밸브밀폐빔(4)이선회할수 있도록한다. 본발명에따르면, 선회베어링은, 상기밸브하우징(14) 내의샤프트축(12)을따라각각이격된상태로분배되며, 밸브밀폐빔(4) 및샤프트(11)가장착되는적어도세 개의베어링요소(27)에의해형성된다. 상기샤프트축(12)은선회축(10)에서소정거리이격된다. 제1 아암들(29)이샤프트(11)에배치되며, 이에따라밸브밀폐빔(4)의후면(7)에힘이적용되어밸브밀폐빔(4)을선회하도록한다. 본발명의한 실시예에따르면, 상기밸브밀폐빔(4), 선회베어링및 샤프트(11)는기밀밸브하우징(14) 내의밸브커버(20) 상에배치되며, 여기서샤프트(11), 선회베어링및 밸브밀폐빔(4)은밸브커버(20)가분리및 제거됨에따라밸브하우징(14)에서분리될수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于将半导体器件或衬底移动到可以气密隔离的半导体或衬底处理室中的挡板切换阀。细长的第一开口（1），可以通过所述关闭位置（C）和所述阀密封光束的打开位置（O）（4）从延伸可绕枢轴通过之间的轴承转动关闭。轴13可以通过驱动器13绕轴轴线12旋转，并且轴可移动地连接到阀密封梁4，（4）能够打电话。根据本发明，枢转轴承，被分配给各个沿轴间隔开的状态的轴12在阀壳体14，阀密封梁（4）和轴（11）的至少三个支承元件是复它是由27形成。轴线12与截头圆锥10隔开预定的距离。第一臂29布置在轴11上，使得力施加到阀密封梁4的后表面7以枢转阀密封梁4。根据本发明的一个实施例中，配置在所述阀关闭的光束4，摆动轴承，和轴11的阀盖（20）是气密阀外壳（14），其中，所述轴11，摆动轴承并且当阀盖20被移除和移除时，闭阀梁4可以与阀壳体14分离。

2. 发明公开

KR1020130118261A 밸브, 특히 진공밸브 审中-实审
标题翻译：阀门，特别真空阀门
公开(公告)号：KR1020130118261A
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020130042514
申请日：2013-04-17
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히 , 블레하토마스
IPC分类号： F16K3/18 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/14 , F16K3/0281 , F16K3/06
摘要： PURPOSE: A vacuum valve is provided to enable the relative movement of closing elements in a closing direction. CONSTITUTION: A vacuum valve comprises a penetrated opening and a closing element (3). The closing element moves from a releasing position for releasing the penetrated opening to a closing position for closing the penetrated opening in a closing direction. The closing element is arranged between first and second valve seats which surround the penetrated opening and has first and second closing parts (8, 9). The first closing part is stuck to the first valve seat at the closing position. The second closing part is stuck to the second valve seat at the closing position.
摘要翻译：目的：提供一个真空阀，以使关闭元件在关闭方向上的相对移动。构成：真空阀包括穿透开口和闭合元件（3）。关闭元件从用于将穿透开口释放的释放位置移动到用于在关闭方向上关闭穿透开口的关闭位置。闭合元件布置在围绕穿透开口的第一和第二阀座之间并且具有第一和第二闭合部分（8,9）。第一关闭部分在关闭位置被卡在第一阀座上。第二关闭部分在关闭位置被卡在第二阀座上。

3. 发明公开

KR1020120116941A 진공 밸브 有权
公开(公告)号：KR1020120116941A
公开(公告)日：2012-10-23
申请号：KR1020127016153
申请日：2011-01-07
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/30 , F16K3/314 , F16K27/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/14 , F16K3/02 , F16K3/30 , F16K3/314 , F16K27/04
摘要： 본 발명은 진공 밸브에 관한 것이며, 상기 진공 밸브는, 축 (3) 을 구비한 통로 (2) 와, 상기 통로 (2) 를 둘러싸고 제 1 평면 (13) 에 놓여 있는 시트 (8) 와, 상기 통로 (2) 를 둘러싸고, 상기 제 1 평면 (13) 에 대해 쐐기모양으로 서 있는 제 2 평면 (14) 에 놓여 있는 카운터 시트 (9) 를 구비한 밸브 하우징 (1) 과, 상기 통로 (2) 가 개방되어 있는 개방위치와 상기 통로 (2) 가 밀봉되어 있는 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있으며, 상기 제 1 평면 (13) 에 대해 평행으로 놓여 있는 폐쇄 플레이트 (10) 와 상기 제 2 평면 (14) 에 대해 평행으로 놓여 있는 카운터 플레이트 (11) 를 구비한 폐쇄 장치 (12) 와, 세로축 (26) 을 구비하며 상기 폐쇄 장치 (12) 를 받치고 있고 직선으로 이동될 수 있는 밸브 로드 (23) 를 포함한다. 상기 폐쇄 플레이트 (10) 와 상기 카운터 플레이트 (11) 를 서로 벌리기 위해, 상기 폐쇄 장치 (12) 는, 상기 폐쇄 플레이트 (10) 와 상기 카운터 플레이트 (11) 사이에 놓여 있으며 상기 폐쇄 플레이트 (10) 와 상기 카운터 플레이트 (11) 에 대해 상기 밸브 로드 (23) 의 폐쇄 방향 (22) 으로 이동될 수 있는 펼침 유닛 (16) 을 구비하며, 상기 폐쇄 장치는 또한 상기 펼침 유닛 (16) 에 대해 이동 가능하게 안내된 지지 부품 (34) 을 구비하고, 상기 지지 부품은 상기 폐쇄 플레이트 (10) 및/또는 상기 카운터 플레이트 (11) 와 연결되어 있다.

4. 发明授权

KR100845160B1 진공밸브 有权
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR100845160B1
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020010085622
申请日：2001-12-27
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K3/18
CPC分类号： F16K3/18 , F16K51/02
摘要： 밸브 하우징 (1) 내에 제공되고, 하나 이상의 밸브 로드 (7) 가 설치된 밸브 플레이트 (5) 에 의해 폐쇄될 수 있는 밸브 개구부 (2), 밸브 플레이트를 밸브 개구부를 개방하는 개방위치로부터 밸브 개구부의 반대편이지만 밸브 시트 (4) 로부터 떨어진 위치로 이동시키는 1 이상의 제 1 피스톤 실린더 유닛 (8), 밸브 플레이트를 밸브 개구부 (2) 의 반대편이지만 밸브 시트 (4) 로부터 떨어진 위치에서 밸브 시트 (4) 로 이동시키고 밸브 시트에 대하여 가압시키는 1 이상의 제 2 피스톤 실린더 유닛 (10) 을 포함하는 진공 밸브. 제 1 피스톤 실린더 유닛 (8) 의 베이스 (33) 및 제 2 피스톤 실린더 유닛 (10) 의 베이스 (34) 사이에는 제 1 연결라인 (35) 이 이어지고, 비복귀밸브 (36) 가 제 1 연결라인 (35) 에 설치되며, 제 2 피스톤 실린더 유닛 (10) 의 폐쇄실린더공간 (31) 내의 압력 이상의 압력이 제 1 피스톤 실린더 유닛 (8) 의 폐쇄실린더공간에 존재할 경우 상기 비복귀밸브가 닫혀지며, 제 2 피스톤 실린더 유닛 (10) 의 피스톤 (11) 에는 맨드릴 (42) 이 제공되며, 밸브 플레이트가 밸브 시트 (4) 로부터 완전히 떨어진 위치에 있을 경우 (도 5) 맨드릴 (42) 이 상기 비복귀밸브 (36) 를 개방하게 된다.

5. 发明授权

KR101770990B1 피봇 가능 밸브 폐쇄 빔을 갖는 플랩 이송 밸브 有权
标题翻译：带有可转动阀门关闭梁的活瓣转换阀
公开(公告)号：KR101770990B1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020110010177
申请日：2011-02-01
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K1/20 , F16K51/02 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02 , H01L21/67751 , H01L21/67772
摘要： 본발명은기밀방식으로격리될수 있는반도체또는기판공정실로의반도체소자들또는기판들의이송을위한플랩이송밸브에관한것으로서, 이플랩이송밸브는제 1의밀봉평면(41) 상에놓이는제 1의밀봉면(3)에의해프레임의형태로둘러싸인길다란제 1 개구(1) 및제 1의밀봉면과기밀접촉될수 있고제 2 밀봉평면(42) 위에위치되는상기제 1의밀봉면(3)에대응하는제 2의밀봉면(9)을가진길다란밸브폐쇄빔(4)을가진다. 지지체(40)는상기밸브폐쇄빔(4)의상기후면(7) 상에배치되고, 지지체(40) 상에는상기밸브폐쇄빔(4)이경사축선(44)을중심으로제한된피봇팅각도로피봇가능연결부(43)를통해피봇할수 있도록배치된다. 상기지지체(40)는상기밸브폐쇄빔(4)과함께피봇팅베어링(60)에의해, 폐쇄위치(C)와개방위치(O) 사이에서피봇팅축선(10)을중심으로피봇할수 있다. 상기피봇팅축선(10)은상기제 1의밀봉평면(41) 상에놓이고, 상기경사축선(44)은상기제 2 밀봉평면(42) 상에놓인다.
摘要翻译：本发明涉及用于半导体元件的转移或半导体或可被分离气密的方式的基板处理室的基板的翼片供给阀，IPLE的照片实验室供给阀处于第一放置在第一的密封面（41）它对应于密封面3细长的第一开口（1）的密封表面（3）的所述第一可密封表面和气密接触mitje 1和位于第二密封平面上方（42）在一帧的形式被包围以及具有第二密封表面（9）的细长阀关闭梁（4）。支撑件40是阀闭合梁4服装气候面7被布置在在所述支撑件（40）阀关闭束4 yigyeong枢轴到限制为约44的枢转角度的SA轴可能的连接（43）。支撑件40可以沿阀关闭梁4它到枢轴轴承（60）与闭合位置（C）和打开位置（O）围绕枢转轴线（10）一起之间枢转。枢转轴线10搁置在基座构件1的密封表面41上并且倾斜轴线44位于密封基座2密封表面42上。

6. 发明授权

KR101482815B1 진공밸브를 제어 또는 조절하기 위한 방법 有权
标题翻译：用于控制或调节真空阀的方法
公开(公告)号：KR101482815B1
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020107001330
申请日：2008-07-21
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 뒤리베른하르트 , 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , H01L21/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , Y10T137/0396
摘要： 본 발명은 진공밸브를 제어 또는 조절하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브 개구부 (2) 를 가진 밸브 몸체 (1) 와, 진공밸브를 폐쇄하기 위해 폐쇄 경로 (s) 에 걸쳐 개방 위치와 폐쇄 위치의 사이에서 조정될 수 있고 폐쇄 위치에서는 상기 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하는 (이때, 적어도 하나의 탄성시일 (4) 이 시일링 표면 (35) 에 눌려진다) 폐쇄 부재 (3) 와, 상기 폐쇄 부재 (3) 를 조정하기 위한 액추에이터 (5) 와, 상기 액추에이터 (5) 를 작동시킬 수 있는 제어장치 (9) 를 구비하며, 상기 제어장치 (9) 를 위한 중요한 파라미터로서 탄성시일 (4) 이 시일링 표면 (35) 상에 안착되는 폐쇄 경로 (s) 의 포인트 (p) 및/또는 상기 포인트에 존재하는 폐쇄 부재 (3) 의 속도 (v) 가 동원된다.

7. 发明授权

KR101197067B1 진공 밸브 有权
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR101197067B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020050083748
申请日：2005-09-08
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 에르네플로리안 , 가이저프리드리히 , 바흐만크리스토프
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/02
CPC分类号： F16K3/0227 , F16K3/0218 , F16K3/14 , F16K51/02
摘要： 진공 밸브는, 종축선 (3) 을 갖는 밸브 개구 (2) 와 밸브 시이트 (26) 를 구비한 밸브 하우징 (1); 밸브 개구 (2) 를 개방하는 개방 위치와 밸브 하우징의 밸브 시이트와 접촉하여 밸브 개구를 밀폐 및 밀봉하는 밀폐 위치 사이에서 이동 방향 (7) 으로 일직선으로 이동가능하고, 또한 이 이동 방향으로 이동가능한 1 이상의 밸브 로드 (5) 에 설치되는 밸브 플레이트 (4); 밸브 플레이트 (4) 의 전방면 또는 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 에 배열되는 가요성 밀봉 링 (8); 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 또는 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에 배열되고, 또한 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 위치에서 밀봉 링 (8) 과 접촉하게 되는 밀봉면 (27) 으로서, 상기 밀봉면 (27) 과 밀봉 링 (8) 은 밸브 플레이트의 이동 방향 (7) 과 밸브 개구 (2) 의 종축선 (3) 모두에 수직인 축선 (31) 을 중심으로 밸브 플레이트 (4) 의 이동 방향에 대하여 경사진 평행한 평면 (28, 29) 에 배열되는 밀봉면 (27); 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에서 밀봉 링 (8) 또는 밀봉면 옆에 또는 밸브 시이트 (26) 에서 밀봉면 (27) 또는 밀봉 링 옆에 배열되는 1 이상의 슬라이딩-이격부 (32) 를 포함하고, 상기 슬라이딩-이격부 (32) 는, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달할 때까지, 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분을 따라서 밸브를 밀폐할 때 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서, 밸브 플레이트를 밸브 하우징으로부터 거리를 두고 유지시켜, 밀봉 링의 압축을 제한한다.
진공 밸브
摘要翻译：真空阀包括具有带纵向轴线（3）和阀座（26）的阀开口（2）的阀壳体（1）; 可以在用于打开阀门开口（2）的打开位置和用于密封和密封与阀门壳体的阀座接触的阀门开口的关闭位置之间沿运动方向（7）线性地移动，设置在阀杆（5）上的阀板（4）; 一个布置在阀板（4）的前面或阀壳体（1）的阀座（26）上的柔性密封环（8）; 作为布置在阀壳体1的阀座26或阀板4的前表面上并且还在阀板4的关闭位置中与密封环8接触的密封表面27，密封表面27和密封环8围绕垂直于阀板的运动方向7和阀开口2的纵向轴线3的轴线31布置在阀板4上密封表面（27），布置在相对于移动方向倾斜的平行平面（28,29）中; 包括至少一个设置在阀板（4）的正面上靠近密封环（8）或密封面或在阀座（26）上的滑动间隔部分（32）当沿着阀板的行程路径的最后部分密封阀时，滑动间隔部分32相对于阀壳体形成用于阀板的滑动轴承，直到其到达阀板的关闭位置在阀板的关闭位置，阀板与阀壳保持一定距离以限制密封环的压缩。

8. 发明公开

KR1020110044164A 선회 베어링을 구비한 플랩 전환밸브 有权
标题翻译：带浮动轴承的翼片转子阀
公开(公告)号：KR1020110044164A
公开(公告)日：2011-04-28
申请号：KR1020100103719
申请日：2010-10-22
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K3/18 , F16K51/02 , H01L21/68 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02
摘要： PURPOSE: A flap change valve comprising a rotating bearing is provided to ensure uniform contact and sealing performance over a closed unit and to facilitate the maintenance of the closed unit. CONSTITUTION: A flap change valve comprises a first opening, a closed beam(4), a rotating bearing, a shaft(11), and a drive(13). The rotating bearing is formed by a plurality of bearing elements(27). The bearing elements are arranged to be spaced apart along a shaft axis and a rotating axis in a valve housing. The closed beam is mounted on the bearing element. The rotating axis is extended from the side of the first opening to the horizontal surface of a sealing surface and rotates to a common rotating axis. The shaft is mounted on at least some of the bearing elements and is extended in a direction perpendicular to the horizontal surface of the first sealing surface at an interval from the rotating axis.
摘要翻译：目的：提供一种包括旋转轴承的换页阀，以确保在封闭单元上的均匀接触和密封性能，并有助于关闭单元的维护。构成：翼片更换阀包括第一开口，闭合梁（4），旋转轴承，轴（11）和驱动器（13）。旋转轴承由多个轴承元件（27）形成。轴承元件布置成沿轴线和阀壳体中的旋转轴线间隔开。封闭梁安装在轴承元件上。旋转轴线从第一开口的一侧延伸到密封表面的水平表面，并旋转到共同的旋转轴线。轴安装在至少一些轴承元件上，并且在与旋转轴线间隔一定距离的方向上以与第一密封表面的水平表面垂直的方向延伸。

9. 发明公开

KR1020100046150A 진공밸브를 제어 또는 조절하기 위한 방법 有权
标题翻译：用于控制或调节真空阀的方法
公开(公告)号：KR1020100046150A
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：KR1020107001330
申请日：2008-07-21
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 뒤리베른하르트 , 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , H01L21/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , Y10T137/0396
摘要： In a method for controlling or regulating a vacuum valve which has a valve body (1) with a valve opening (2), a closure member (3) which can be adjusted between an open position and a closed position over a closing travel (5) in order to close the vacuum valve and which, in the closed position, closes off the valve opening (2), wherein at least one elastic seal (4) is pressed against a sealing surface (35), an actuator (5) for adjusting the closure member (3), and a control device (9) by means of which the actuator (5) can be activated, consideration is given, as a significant parameter for the control device (9), to that point (p) of the closing travel (s) at which the elastic seal (4) sets down on the sealing surface (35), and/or to the speed (v) of the closure member (3) at said point (p).
摘要翻译：在用于控制或调节真空阀的方法中，所述真空阀具有带阀门开口（2）的阀体（1），封闭构件（3）可在关闭行程（5）上的打开位置和关闭位置之间调节），以便关闭真空阀，并且在关闭位置关闭阀开口（2），其中至少一个弹性密封件（4）被压靠在密封表面（35）上，致动器（5）用于调节关闭构件（3）和控制装置（9），通过该控制装置可以启动致动器（5），作为控制装置（9）的重要参数，考虑到该点（p）在所述点（p）处弹性密封件（4）在密封表面（35）上设置的闭合行程和/或关闭构件（3）的速度（v）。

10. 发明公开

KR1020070065783A 흐름 경로의 필수적인 기밀 폐쇄를 위한 밸브 有权
标题翻译：阀门基本上封闭流动路径
公开(公告)号：KR1020070065783A
公开(公告)日：2007-06-25
申请号：KR1020060106251
申请日：2006-10-31
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K3/04 , F16K3/02 , F16K25/00 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/10
摘要： A valve for essentially gastight closing of a flow path is provided to endure a high pressure load and to maintain the valve with having a simple and compact design. A valve for essentially gastight closing of a flow path comprises a valve housing(1), a valve disc(5), and at least one drive(8). The valve housing has a first opening(3) for the flow path and a first valve seat(4) surrounding the first opening. The valve housing has a first wall(2). The valve disc has a closed side(6). A sealing ring(7) corresponding to the first valve seat is disposed in the closed side. The valve disc can be pivoted or displaced to a middle position parallel to the first valve seat. The valve disc includes an external disc section and an inner disc section.
摘要翻译：提供用于基本上气密地关闭流路的阀以承受高压负荷并且以简单紧凑的设计来维持阀。用于基本上气密地关闭流路的阀包括阀壳体（1），阀盘（5）和至少一个驱动器（8）。阀壳体具有用于流路的第一开口（3）和围绕第一开口的第一阀座（4）。阀壳体具有第一壁（2）。阀盘具有封闭侧（6）。对应于第一阀座的密封环（7）设置在封闭侧。阀盘可以枢转或移位到平行于第一阀座的中间位置。阀盘包括外部盘部分和内部盘部分。

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