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1. 发明授权

KR102465052B1 슬라이드 게이트 밸브 有权
公开(公告)号：KR102465052B1
公开(公告)日：2022-11-09
申请号：KR1020200035516
申请日：2020-03-24
IPC分类号： F16K3/314 , F16K3/316 , F16K15/02
摘要： 본발명은슬라이드게이트밸브에관한것으로, 유체의유로에대해가로방향으로이동하여유로를차단하는차단위치와유로를개방하는개방위치간을슬라이딩이동하는슬라이드디스크와, 유로의상부유체통로를갖는상부하우징과, 상부유체통로와유로축선을따라연통되며상부유체통로의유출개구보다큰 개구면적의유입개구를갖는하부유체통로를가지고, 상부하우징과의사이에슬라이드디스크의슬라이딩이동을위한디스크슬라이딩슬롯을두고상부하우징과결합되며, 차단위치에서슬라이드디스크의선단엣지와슬라이드디스크의판면방향을따라접촉하는실링리브를갖는하부하우징을포함한다.

2. 发明授权

KR102434599B1 압전 서보 밸브 有权
公开(公告)号：KR102434599B1
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：KR1020160123702
申请日：2016-09-27
IPC分类号： F16K31/00 , F16K11/07 , F16K3/24 , F16K3/314 , H02N2/06
摘要： 본발명은스풀의직선운동에따라밸브몸체의내부를통과하는유체의흐름을단속하는압전서보밸브에관한것으로, 더욱상세하게는압전소자에의해변위를발생시키는압전액추에이터와, 상기압전액추에이터에서발생한변위를확대하여스풀의양단으로전달하는변위전달레버를통해스풀을직선운동시켜유체의통과흐름을확실하게단속할수 있는압전서보밸브에관한것이다. 이러한본 발명은, 유체가통과하는유입유로와배출유로가구비된밸브몸체; 상기유입유로와배출유로의사이공간에서직선운동가능하게설치되어위치에따라상기유체의통과흐름을단속하는스풀; 상기밸브몸체의일측에구비되고외부에서인가되는전원에따라압전운동하는압전소자로이루어져변위를발생시키는압전액추에이터; 상기압전액추에이터와상기스풀의사이에설치되어상기압전액추에이터에서발생하는변위를확대시켜상기스풀로전달하여상기스풀을직선운동시키는변위전달레버; 및상기압전액추에이터에인가되는전원을제어하여상기스풀의위치를결정하는컨트롤러;로구성되는것을특징으로하는압전서보밸브를기술적요지로한다.

3. 发明授权

KR102422682B1 급속 개방 고온 구면 밀봉 차단 밸브의 급속 개방 기구 有权
公开(公告)号：KR102422682B1
公开(公告)日：2022-07-18
申请号：KR1020217038477
申请日：2020-12-15
IPC分类号： F16K11/074 , F16K25/00 , F16K27/04 , F16K3/16 , F16K3/314 , F16K3/36 , F16K37/00 , F16K41/04 , F16K49/00

4. 发明授权

KR102401142B1 슬라이드 밸브 有权
公开(公告)号：KR102401142B1
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：KR1020197036210
申请日：2019-03-14
IPC分类号： F16K11/16 , F16K31/54 , F16K31/122 , F16K17/02 , F16K3/10 , F16K51/02 , F16K3/314
摘要： 본발명의슬라이드밸브는, 중공부(中空部)와, 상기중공부를사이에두고서로대향하도록설치되어연통(連通)하는유로가되는제1 개구부및 제2 개구부를가지는밸브상자와, 상기밸브상자의상기중공부내에배치되어상기제1 개구부를폐색(閉塞) 가능한중립밸브체와, 상기중립밸브체를상기제1 개구부에대해폐색상태로하는밸브폐색위치와, 상기중립밸브체를상기제1 개구부로부터퇴피한개방상태로하는밸브개방위치와의사이에서, 상기중립밸브체를회동(回動)시키는회전축과, 상기회전축을회전시키는래크피니언및 상기래크피니언을구동하는회전에어실린더로이루어진회전장치와, 상기중립밸브체의폐색을해제하는동작을실시하는폐색해제에어실린더로이루어진폐색해제구동부와, 상기중립밸브체의폐색을해제하는동작과상기중립밸브체의회전동작을순차적으로동작가능하게하는시퀀스회로를가진다. 상기회전에어실린더는, 상기회전에어실린더와일체(一體)로동작가능한피스톤과, 상기피스톤의동작방향에직렬로배치되어상기피스톤을폐(閉) 동작가능한제1 및제3 압력공간과, 개(開) 동작가능한제2 압력공간및 제4 압력공간을가진다. 상기시퀀스회로는, 에어오퍼레이트식 3채널스풀밸브와, 에어오퍼레이트식 2채널스풀밸브와, 체크밸브및 유량조정밸브가조합된스피드컨트롤밸브와, 역지밸브와, 상기역지밸브에병렬로설치되어상기중립밸브체의상기회전동작을종료할때까지상기폐색해제에어실린더의폐색압력을안정된상태로, 상기폐색압력을유지가능하게하는회전동작종료검출스위치밸브를가진다. 상기시퀀스회로는, 1계통의구동압축공기공급에의한상기슬라이드밸브의오픈시에는, 상기폐색해제에어실린더의구동이종료했을때에, 상기제1 압력공간을비가압상태로하고, 상기제2 압력공간을가압상태로하고, 상기제3 압력공간및 상기제4 압력공간을가압상태로하여, 상기회전에어실린더의개(開) 동작을개시시킨다, 상기구동압축공기공급을해제하는것에의한상기슬라이드밸브의클로즈시에는, 상기제1 압력공간및 상기제2 압력공간을비가압상태로하고, 상기제3 압력공간을가압상태의밀폐보관유지상태로하고, 상기제4 압력공간을비가압상태로하여, 상기회전에어실린더의폐(閉) 동작을개시시키고, 상기회전동작의종료시에상기폐색해제에어실린더의폐색동작을개시시킨다.

5. 发明公开

KR1020220061422A 라인블라인드밸브 有权
公开(公告)号：KR1020220061422A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：KR1020200147383
申请日：2020-11-06
IPC分类号： F16K3/312 , F16K3/314 , F16K35/00 , F16K31/54 , F16H19/04
摘要： 라인블라인드밸브에대한발명이개시된다. 본발명의라인블라인드밸브는: 제1통로부가형성되는제1플레이트부; 제1통로부에대향되도록제2통로부가형성되고, 제1플레이트부와이격되게설치되는제2플레이트부; 및제1통로부와제2통로부에연통되도록연통홀부가형성되고, 제1통로부와제2통로부를개방및 폐쇄하도록제1플레이트부와제2플레이트부사이에이동가능하게배치되는블라인드플레이트를포함하고, 블라인드플레이트는, 복수의블라인드세그먼트; 복수의블라인드세그먼트를연결하는연결프레임부; 및연결프레임부와복수의블라인드세그먼트를체결하는복수의체결부재를포함하는것을특징으로한다.

6. 发明授权

KR102388094B1 포펫 밸브 有权
公开(公告)号：KR102388094B1
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：KR1020200153989
申请日：2020-11-17
IPC分类号： F16K47/04 , F16K15/02 , F16K3/314
摘要： 본발명의일 실시예에따른포펫밸브는, 내부에유체채널을구비하는밸브바디; 상기유체채널을개폐하도록장착된포펫; 및상기유체채널에장착되어유체채널이닫히는방향으로상기포펫을밀어주는탄성력을제공하는스프링을포함하고, 상기포펫은상기유체채널의내주면에접촉하는단부경사부에형성된홈을포함한다.

7. 发明公开

KR1020210154113A 컨트롤 밸브 및 이를 이용한 예비 퍼지가 가능한 기화 시스템 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210154113A
公开(公告)日：2021-12-20
申请号：KR1020210164628
申请日：2021-11-25
IPC分类号： F16K11/20 , F16K3/314 , H01L21/67
摘要： 본발명의일 실시예에따르면, 소스를저장할수 있는통형상을가지며외부로부터유체를유입받을수 있는인렛과기화된가스를외부로유출할수 있는아웃렛을가진캐니스터; 상기캐니스터의인렛으로유체가이동할수 있는경로를제공하는제1라인; 상기캐니스터의아웃렛으로부터유출되는물질이처리설비로이동할수 있는경로를제공하는제2라인; 제1라인으로부터분기되어제2라인으로합류하는분기라인으로서, 제1라인을통해서이동하는유체의적어도일부가제2라인으로이동할수 있는경로를제공하는상기분기라인; 및상기분기라인에위치되어상기분기라인을통해서이동되는유체의양을조절할수 있는컨트롤밸브;를포함하는기화기시스템이개시된다.

8. 发明授权

KR102339882B1 역압대응이 가능한 티 모션 진자식 게이트밸브 有权
公开(公告)号：KR102339882B1
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：KR1020200009562
申请日：2020-01-24
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/314 , F16K3/06 , F16K27/04 , H01L21/02
摘要： 본발명은디스플레이제조공정이나반도체제조공정의진공장비구성에공정챔버와진공펌프사이의유체의흐름을제어하기위해설치되는진자식게이트밸브에대한것으로회전몸체의내경을압력공간의외경으로하고상부씰플레이트와하부씰플레이트의접촉면을압력공간의내경으로하고상,하부씰플레이트의회전몸체와수평면을경계로하는압력공간을마련하고압력에어의팽창으로상하씰 플레이트가회전몸체의중심선을기준으로대칭으로이동하여밸브본체와밀착하여유체통로를차단하고압력에어공급을중단시 스프링의복원력에의해복귀하는티모션(T-Motion)으로작동하여작동의안전성을높이며압력에어의압력으로상,하부씰플레이트이하우징플랜지와본체의하우징과각각밀착함으로역압대응이가능하고회전몸체내에하나의압력공간이존재함으로에어공급통로를하나만구비하여미끄럼구동부를최소화할 수있으며순서스프링을사용하여상,하부씰 플레이트의동작순서를정하고이를빔센서(Beam Sensor)로읽어밸브의오작동을방지할수 있으며미끄럼구동부의씰링체교체등의장치보수시 회전몸체를밸브하우징외곽의하우징커버내부로이동하고하우징커버제거후 미끄럼구동부의분해조립이가능함으로밸브를공정챔버와진공펌프와의분리하지않고미끄럼구동부및 씰링체의보수가가능하고회전몸체의직선운동없이회전운동만하여회전축을상,하베어링으로양단지지함으로씰 플레이트의처짐을최소화할 수있는구조를가진다. 회전축은랙 피니언구조와실린더의조합이나구동모터에연결되어회전몸체의회전운동력을부여하는구조를특징으로한다.

9. 发明授权

KR102219281B1 더블 프리벤션 게이트 밸브 有权
公开(公告)号：KR102219281B1
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：KR1020190060640
申请日：2019-05-23
申请人： 한정렬
发明人： 한정렬
IPC分类号： H01L21/677 , F16K3/314 , F16K3/316 , F16K15/02 , F16K27/04 , F16K51/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은더블프리벤션게이트밸브에관한것으로서, 내부에슬라이드공간(11)이형성되고, 하부측으로슬라이드공간(11)의폭보다작은외직경을가지는원형의메인유로(12)가양측으로형성된장방형의하우징(10)과; 슬라이드공간(11)에서이송가능하게설치된것으로서, 메인유로(12)를선택적으로개폐하는디스크밸브조립체(20)와; 하우징(10)에설치된것으로서, 메인유로(12)를개폐하기위하여디스크밸브조립체(20)를이송시키는엑츄에이터(30)와; 하우징(10)의일측에설치되는것으로서메인유로(12)와연통되는제1링가이더(40)와; 하우징(10)의타측에설치되는것으로서제1링가이더(40)의맞은편에서메인유로(12)와연통되는제2링가이더(50)와; 제2링가이더(50)에끼워지는것으로서, 이송되는디스크밸브조립체(20)가슬라이드공간(11)에위치될때, 메인유로(12)를관통하게이송되어제1링가이더(40)에연통되게결합되는프로텍션링(60);을포함하는것을특징으로한다.

10. 发明授权

KR102206550B1 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102206550B1
公开(公告)日：2021-01-25
申请号：KR1020190033898
申请日：2019-03-25
申请人： 주식회사 에이씨엔 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 최대규 , 장희선
IPC分类号： H01L21/67 , H01L51/56 , F16K3/314 , F16K51/02 , F16K27/04
摘要： 본발명은게이트밸브를제공한다. 인접하는제1챔버와제2챔버의사이에배치되어상기제1챔버의제1내부공간과상기제2챔버의제2내부공간을서로연통또는차단시키는게이트밸브는, 버퍼공간, 상기버퍼공간및 상기제1내부공간을연통시키는제1개구와상기버퍼공간및 상기제2내부공간을연통시키는제2개구가형성된하우징과; 상기제1개구와상기제2개구를개폐하는밸브유닛을포함하되, 상기밸브유닛은, 상기버퍼공간내에위치되어상기버퍼공간내에서이동가능하고, 상기바디를관통하는개방부가형성된바디와; 상기바디를폐쇄위치와개방위치간에이동시키는구동기를포함하되, 상기개방위치는상기개방부가상기제1개구및 상기제2개구와중첩되는위치이고, 상기폐쇄위치에서는상기개방부가상기제1개구및 상기제2개구와중첩되지않는위치일수 있다.

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