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1. 发明公开

KR1020170035772A 웨이퍼 캐비티 내에서 플라즈마를 검출하기 위한 계측 방법들 및 스테이션-대-스테이션 및 툴-대-툴 매칭을 위한 계측 방법의 사용 审中-实审
标题翻译：用于检测晶片腔体中等离子体的测量方法以及用于站到站和刀具到刀具匹配的测量方法的使用
公开(公告)号：KR1020170035772A
公开(公告)日：2017-03-31
申请号：KR1020160109153
申请日：2016-08-26
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 사키야마유키노리 , 란지네니야스완스 , 터커제레미 , 케일더글라스 , 아우구스티니악에드워드 , 카푸어수닐
IPC分类号： H01L21/66 , H05H1/46 , H01L21/02
CPC分类号： H01J37/32935 , C23C16/45544 , C23C16/50 , C23C16/5096 , C23C16/52 , H01J37/32183 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H01L21/67253
摘要： 반도체웨이퍼프로세싱동안플라즈마의형성을검출하기위한프로세싱챔버는, 프로세스챔버로가스화학물질을제공하기위한상부전극을포함한다. 상부전극은플라즈마를생성하도록웨이퍼캐비티로 RF 전력을제공하기위해매칭네트워크를통해 RF 전력소스에연결된다. 프로세스챔버는또한증착프로세스동안반도체웨이퍼를수용하고지지하기위한하부전극을포함한다. 하부전극은상부전극의표면과하부전극의상단표면사이에웨이퍼캐비티를형성하도록프로세스챔버내에배치된다. 하부전극은전기적으로접지된다. 코일센서는프로세스챔버외부로연장하는하부전극의베이스에배치된다. 코일센서는실질적으로하부전극의베이스를둘러싼다. 코일센서는웨이퍼캐비티를통해전도되는 RF 전류의특성들을측정하도록구성된다. 코일센서에의해측정된 RF 전류의특성들은웨이퍼캐비티내에서플라즈마의존재를확인하도록사용된다.
摘要翻译：用于在半导体晶片处理期间检测等离子体形成的处理室包括用于向处理室提供气体化学品的上电极。顶部电极通过匹配网络耦合到RF功率源以向晶片腔提供RF功率以产生等离子体。处理室还包括用于在沉积处理期间接收和支撑半导体晶片的下电极。下电极设置在处理室内以在上电极的上表面和下电极的上表面之间限定晶片腔。下电极电接地。线圈传感器设置在延伸出处理室的下电极的基部处。线圈传感器基本上围绕下电极的基部。线圈传感器被配置为测量通过晶片腔传导的RF电流的特性。线圈传感器测量的RF电流的特性用于确认晶片腔体中等离子体的存在。

2. 发明公开

KR1020170142876A 복수의 플라즈마 프로세싱 스테이션들에 걸쳐 임피던스들 또는 전력을 조정하기 위한 결합기 및 분배기 审中-实审
标题翻译：一个组合器和分配器，用于调整多个等离子体处理站的阻抗或功率
公开(公告)号：KR1020170142876A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020170066496
申请日：2017-05-30
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 토마스조지 , 란지네니야스완스 , 아우구스티니악에드워드
IPC分类号： H01J37/32 , H03H7/38
CPC分类号： C23C16/458 , C23C16/505 , C23C16/52 , H03H7/40
摘要： 복수의플라즈마프로세싱스테이션들에걸쳐임피던스들또는전력또는이들의조합을조정하기위한시스템들및 방법들이기술된다. 시스템들중 일시스템은제 1 주파수를가진제 1 RF (radio frequency) 신호를생성하는제 1 RF 생성기, 제 2 주파수를가진제 2 RF 신호를생성하는제 2 RF 생성기, 및제 1 RF 신호를수신하도록제 1 RF 생성기에커플링된제 1 매칭네트워크를포함한다. 제 1 임피던스매칭네트워크는제 1 RF 신호를수신할시 제 1 수정된 RF 신호를출력한다. 시스템은제 2 RF 신호를수신하도록제 2 RF 생성기에커플링된제 2 매칭네트워크를더 포함한다. 제 2 매칭네트워크는제 2 RF 신호를수신할시 제 2 수정된 RF 신호를출력한다. 시스템은제 1 매칭네트워크의출력부및 제 2 매칭네트워크의출력부에커플링된결합기및 분배기를더 포함한다.
摘要翻译：描述了用于在多个等离子体处理站上调整阻抗或功率或其组合的系统和方法。该系统的系统接收第二RF发生器，mitje第一RF信号，以生成具有第一RF产生器的第二RF信号，并用于产生第一射频（RF），具有第一频率信号的第二频率以及耦合到第一RF发生器的第一匹配网络。第一阻抗匹配网络在接收到第一RF信号时输出第一修改的RF信号。该系统还包括耦合到第二RF发生器以接收第二RF信号的第二匹配网络。第二匹配网络在接收到第二RF信号时输出第二修改的RF信号。该系统还包括耦合到第一匹配网络的输出和第二匹配网络的输出的组合器和分离器。

3. 发明公开

KR1020170074750A RF 단말로부터 인접한 비-RF 단말로의 절연 파괴를 방지하기 위한 장치들 및 방법들 审中-实审
标题翻译：用于防止从RF端子到相邻的非RF端子的绝缘击穿的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170074750A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：KR1020160161447
申请日：2016-11-30
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 김형준 , 카푸어수닐 , 리저카를 , 버크하트빈스
IPC分类号： H01J37/32 , H01R39/08
CPC分类号： H01J37/32082 , C23C16/505 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/32174 , H01J37/3244 , H01J37/32577 , H01J37/32697 , H01J37/32706 , H01J37/32715 , H01J2237/332 , H01J2237/334 , H01L21/6831 , H01L21/68764 , H01L21/68771
摘要： 절연시스템은 RF (radio frequency) 전력을수용하기위해매칭네트워크를통해하나이상의 RF 전력공급부들에커플링된입력접합부를포함한다. 절연시스템은채널경로들사이에 RF 전력을분배하기위해입력접합부에연결된복수의채널경로들을더 포함한다. 절연시스템은채널경로들각각사이및 결합된전력을출력하기위해분배된 RF 전력의일부분들을수용하기위해플라즈마챔버의전극에연결되고, 결합된 RF 전력을전극으로제공하는출력접합부를포함한다. 채널경로들각각은 RF 전력과상이한타입의신호를차단하기위한하단커패시터및 상단커패시터를포함한다. 절연시스템은 RF 단말과비-RF 단말이서로인접하게배치될때 RF 단말과비-RF 단말간의전압차에의해생성된전기적아킹 (arcing) 의위험을방지한다.
摘要翻译：隔离系统包括经由匹配网络耦合到一个或多个RF电源以接收射频（RF）功率的输入接点。隔离系统还包括耦合到输入结的多个信道路径，用于在信道路径之间分配RF功率。隔离系统包括连接到等离子体室的电极的输出结点，以接收每个信道路径之间的分布式RF功率的一部分，并输出组合的功率并将组合的RF功率提供给电极。每个通道路径包括底部电容器和顶部电容器，用于阻挡与RF功率不同类型的信号。当RF端子和非RF端子彼此相邻布置时，隔离系统防止由RF端子和非RF端子之间的电压差造成的电弧放电风险。

4. 发明公开

KR1020170054239A 복수 출력 무선주파수 매칭 모듈 및 연관된 방법들 审中-实审
标题翻译：多输出射频匹配模块及相关方法
公开(公告)号：KR1020170054239A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：KR1020160134840
申请日：2016-10-18
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 리저카를 , 카푸어수닐 , 린다커브래드포드제이.
IPC分类号： H01J37/32 , H03H7/01
CPC分类号： H03H7/38 , H01J37/32183
摘要： 매칭모듈은입력노드에연결된입력단말, 가변부하커패시터, 및복수의 RF 신호전달브랜치들을포함한다. 입력단말은하나이상의 RF 생성기들로부터 RF 신호들을수신하도록연결된다. 부하커패시터는입력노드와기준접지전위사이에연결된다. 복수의 RF 신호전달브랜치들각각은입력노드에연결된각각의진입 (ingress) 단말및 복수의출력단말들중 각각하나의출력단말에연결된각각의진출 (egress) 단말을갖는다. 매칭모듈의복수의출력단말들각각은복수의플라즈마프로세싱스테이션들/챔버들중 상이한하나로 RF 신호들을전달하도록연결된다. 복수의 RF 신호전달브랜치들각각은진입단말과진출단말사이에직렬방식으로전기적으로연결된대응하는인덕터및 대응하는가변튜닝커패시터를포함한다.
摘要翻译：匹配模块包括耦合到输入节点的输入端子，可变负载电容器和多个RF信号传输分支。输入端子被耦合以接收来自一个或多个RF发生器的RF信号。负载电容连接在输入节点和参考地电位之间。多个RF信号传送分支中的每一个具有连接到输入节点的入口端子和连接到多个输出端子中的每一个的输出端子的相应出口端子。匹配模块的多个输出终端中的每一个被耦合以将RF信号传送到多个等离子体处理站/室中的不同的一个。多个RF信号传输分支中的每一个包括串联电连接在入口终端和入口终端之间的对应电感器和对应的可变调谐电容器。

5. 发明公开

KR1020160117274A 샤워헤드 전압 변동을 사용한 결함 검출 审中-实审
标题翻译：使用水平电压变化的故障检测
公开(公告)号：KR1020160117274A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160037403
申请日：2016-03-29
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 란지네니야스완쓰 , 빙엄아론 , 응위엔투안
IPC分类号： G01R31/28 , G01R19/165 , G01R35/00 , G01R1/067 , G01R1/04 , H01L21/02 , H01L21/66 , H01J37/32
CPC分类号： H01L21/67253 , H01J37/32082 , H01J37/32091 , H01J37/32174 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J37/32926 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01L21/02274 , H01L21/3065 , G01R31/2831 , G01R1/0491 , G01R1/067 , G01R19/16576 , G01R19/1659 , G01R35/007 , G08B21/182 , H01L22/14
摘要： 플라즈마프로세싱시스템의프로세싱조건들을검출하기위한방법들및 시스템들이제공된다. 일방법은 RF (radio frequency) 전력공급부로부터의 RF 전력을플라즈마프로세싱시스템의샤워헤드에제공하는단계및 플라즈마프로세싱시스템내에배치된기판상에서프로세스동작을실행하는단계를포함한다. 방법은 RF 전력공급부와샤워헤드사이에인라인으로연결된전압프로브를사용하여샤워헤드의전압을센싱하는단계를더 포함한다. 전압의센싱은프로세스동작의실행동안전압값들을생성한다. 방법은실행될프로세스동작을위해미리규정된전압체크밴드와전압값들을비교하는단계를포함한다. 비교단계는전압값들이전압체크밴드의외부에있을때를검출하도록구성된다. 방법은또한전압값들이전압체크밴드의외부에있을때를비교단계가검출할때 경보를생성하는단계를포함한다. 경보는프로세스동작을위해미리규정되었던전압체크밴드에기초하여결함의타입을식별하도록더 구성된다.
摘要翻译：提供了一种用于检测等离子体处理系统的处理条件的方法和系统。一种方法包括从RF电源向等离子体处理系统的喷头提供射频（RF）功率，并且在布置在等离子体处理系统中的衬底上运行处理操作。该方法还包括使用在RF电源和喷头之间在线连接的电压探头感测喷头的电压。电压检测在工艺运行过程中产生电压值。该方法包括将电压值与为运行的过程操作预定义的电压检查带进行比较。该比较被配置为检测电压值何时在电压检查带之外。该方法还包括当比较检测到电压值在电压检查带之外时产生警报。该警报还被配置为基于为处理操作预定义的电压检查频带来识别故障类型。

6. 发明公开

KR1020210042888A 복수의 플라즈마 프로세싱 스테이션들에 걸쳐 임피던스들 또는 전력을 조정하기 위한 결합기 및 분배기 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210042888A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：KR1020210047411
申请日：2021-04-12
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 토마스조지 , 란지네니야스완스 , 아우구스티니악에드워드
IPC分类号： H01J37/32 , H03H7/38
摘要： 복수의플라즈마프로세싱스테이션들에걸쳐임피던스들또는전력을조정하기위한결합기및 분배기는제 1 주파수의수정된 RF (radio frequency) 신호를수신하도록구성된제 1 복수의분기회로들로서, 상기제 1 복수의분기회로들각각은상기제 1 주파수의복수의 RF 신호들을출력하도록상기제 1 주파수의상기수정된 RF 신호의대응하는부분을튜닝하도록구성된튜닝엘리먼트를포함하는, 상기제 1 복수의분기회로들; 제 2 주파수의수정된 RF 신호를수신하도록구성된제 2 복수의분기회로들로서, 상기제 2 복수의분기회로들각각은상기제 2 주파수의복수의 RF 신호들을출력하도록상기제 2 주파수의상기수정된 RF 신호의대응하는부분을튜닝하도록구성된튜닝엘리먼트를포함하는, 상기제 2 복수의분기회로들; 및복수의플라즈마프로세싱스테이션들에복수의출력신호들을분배하기위해, 상기제 1 주파수의상기복수의 RF 신호들각각을상기제 2 주파수의상기복수의 RF 신호들중 대응하는하나와결합하도록구성된복수의출력분기회로들을포함한다.

7. 发明授权

KR102241517B1 복수의 플라즈마 프로세싱 스테이션들에 걸쳐 임피던스들 또는 전력을 조정하기 위한 결합기 및 분배기 有权
公开(公告)号：KR102241517B1
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：KR1020200069563
申请日：2020-06-09
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 토마스조지 , 란지네니야스완스 , 아우구스티니악에드워드
IPC分类号： H01J37/32 , H03H7/38
摘要： 복수의플라즈마프로세싱스테이션들에걸쳐임피던스들또는전력을조정하기위한결합기및 분배기는제 1 주파수의수정된 RF (radio frequency) 신호를수신하도록구성된제 1 복수의분기회로들로서, 상기제 1 복수의분기회로들각각은상기제 1 주파수의복수의 RF 신호들을출력하도록상기제 1 주파수의상기수정된 RF 신호의대응하는부분을튜닝하도록구성된튜닝엘리먼트를포함하는, 상기제 1 복수의분기회로들; 제 2 주파수의수정된 RF 신호를수신하도록구성된제 2 복수의분기회로들로서, 상기제 2 복수의분기회로들각각은상기제 2 주파수의복수의 RF 신호들4070을출력하도록상기제 2 주파수의상기수정된 RF 신호의대응하는부분을튜닝하도록구성된튜닝엘리먼트를포함하는, 상기제 2 복수의분기회로들; 및복수의플라즈마프로세싱스테이션들에복수의출력신호들을분배하기위해, 상기제 1 주파수의상기복수의 RF 신호들각각을상기제 2 주파수의상기복수의 RF 신호들중 대응하는하나와결합하도록구성된복수의출력분기회로들을포함한다.

8. 发明授权

KR102149573B1 복수의 스테이션들에서 웨이퍼 보우 제어 有权
公开(公告)号：KR102149573B1
公开(公告)日：2020-08-31
申请号：KR1020170088772
申请日：2017-07-13
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 아우구스티니악에드워드 , 프렌치데이비드 , 카푸어수닐 , 사키야마유키노리 , 토마스조지
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/67 , H01L21/02

9. 发明公开

KR1020170054224A 상호 유도된 필터들 审中-实审
标题翻译：相互派生的过滤器
公开(公告)号：KR1020170054224A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：KR1020160126513
申请日：2016-09-30
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 로간아론 , 김형준 , 란지네니야스완스 , 리저카를
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46 , H03H7/01
CPC分类号： H03H1/0007 , H02M1/44
摘要： 부하에공급된신호들로부터 RF (radio frequency) 전력을필터링하기위한상호유도된필터가기술된다. 상호유도된필터는제 1 부하엘리먼트에공급된신호들중 일신호로부터 RF 전력을필터링하기위한부하의제 1 부하엘리먼트에연결된제 1 부분을포함한다. 부하는플라즈마챔버의페데스탈과연관된다. 상호유도된필터는제 2 부하엘리먼트에공급된신호들중 또다른일 신호로부터 RF 전력을필터링하기위한부하의제 2 부하엘리먼트에연결된제 2 부분을더 포함한다. 제 1 부분과제 2 부분은제 2 부분에대해제 1 부분과연관된공진주파수의커플링을더 용이하게하도록서로상호커플링되기위해서서로트위스트된다 (twisted).
摘要翻译：描述了用于从提供给负载的信号中过滤RF（射频）功率的相互导出的滤波器。互相导出的滤波器包括连接到负载的第一负载元件的第一部分，用于从提供给第一负载元件的信号的信号中滤除RF功率。并且与它所连接的等离子体室的基座相关联。互相导出的滤波器还包括耦合到负载的第二负载元件的第二部分，用于从提供给第二负载元件的另一个信号中过滤RF功率。第一部分任务2部分相对于第二部分扭转以彼此相互耦合，以促进与第一部分相关联的谐振频率的耦合。

10. 发明授权

KR102212429B1 상호 유도된 필터들 有权
公开(公告)号：KR102212429B1
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：KR1020190140142
申请日：2019-11-05
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 카푸어수닐 , 로간아론 , 김형준 , 란지네니야스완스 , 리저카를
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46 , H03H7/01
摘要： 부하에공급된신호들로부터 RF (radio frequency) 전력을필터링하기위한상호유도된필터가기술된다. 상호유도된필터는제 1 부하엘리먼트에공급된신호들중 일신호로부터 RF 전력을필터링하기위한부하의제 1 부하엘리먼트에연결된제 1 부분을포함한다. 부하는플라즈마챔버의페데스탈과연관된다. 상호유도된필터는제 2 부하엘리먼트에공급된신호들중 또다른일 신호로부터 RF 전력을필터링하기위한부하의제 2 부하엘리먼트에연결된제 2 부분을더 포함한다. 제 1 부분과제 2 부분은제 2 부분에대해제 1 부분과연관된공진주파수의커플링을더 용이하게하도록서로상호커플링되기위해서서로트위스트된다 (twisted).

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