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1. 发明授权

KR101727709B1 곡선 터렛 有权
公开(公告)号：KR101727709B1
公开(公告)日：2017-04-17
申请号：KR1020150132589
申请日：2015-09-18
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 송인천 , 이승우 , 전병선
IPC分类号： G02B21/24 , G02B7/02
摘要： 본발명은곡선터렛에관한것이다. 본발명의목적은, 대물렌즈변경시 위치정렬이용이하게이루어질수 있음과동시에변경동작중 대물렌즈및 관찰대상물등 간의충돌이구조적으로배제될수 있도록하는, 곡선터렛을제공함에있다. 본발명의또다른목적은, 제작이용이하고경제적이며, 수동및 자동모두에적용할수 있는, 곡선터렛을제공함에있다.

2. 发明授权

KR101119815B1 빔 편향 장치 有权
标题翻译：光束扫描仪
公开(公告)号：KR101119815B1
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020110031175
申请日：2011-04-05
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 송인천 , 김태중 , 이승우 , 전병선
IPC分类号： G02B26/12
CPC分类号： G02B26/127 , G02B21/0032 , G02B26/105 , G02F1/29
摘要： PURPOSE: A beam deflection apparatus is provided to reduce conversion time between a low speed beam deflector and a high speed beam deflector through effective alignment and to enhance measuring efficiency. CONSTITUTION: A first deflector(110) is formed in order to revolve around the x-axis and bends a beam which is entered. A second deflector(120) is formed in order to revolve around the z-axis and bends the beam which is biased from the first deflector. A third deflector(130) is formed in order to revolve around the y-axis and bends the beam which is biased from the second deflector. The beam is successively reflected by the first deflector, the second deflector, and the third deflector and is biased. The first deflector, the second deflector, and the third deflector are selected one of a low speed beam deflector and a high speed beam deflector.
摘要翻译：目的：提供一种光束偏转装置，通过有效的对准，减少低速光束偏转器和高速光束偏转器之间的转换时间，并提高测量效率。构成：形成第一偏转器（110）以围绕x轴旋转并弯曲输入的光束。形成第二偏转器（120）以围绕z轴旋转并使从第一偏转器偏置的光束弯曲。第三偏转器（130）被形成为围绕y轴旋转并弯曲从第二偏转器偏置的光束。光束被第一偏转器，第二偏转器和第三偏转器相继反射并被偏置。第一偏转器，第二偏转器和第三偏转器被选择为低速光束偏转器和高速光束偏转器之一。

3. 发明授权

KR102258958B1 고속 이미징 방법 및 이를 이용한 고속 이미징 현미경 有权
公开(公告)号：KR102258958B1
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：KR1020190174817
申请日：2019-12-26
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 송인천 , 이승우 , 전병선
IPC分类号： G02B21/36 , G06T5/50

4. 发明授权

KR101032434B1 리니어 터렛 스캐너 有权
标题翻译：线性扫描仪
公开(公告)号：KR101032434B1
公开(公告)日：2011-05-03
申请号：KR1020110024119
申请日：2011-03-18
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 이승우 , 김태중 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G02B21/02 , G01B9/04 , G01N21/00
CPC分类号： G02B21/025 , G02B7/14 , G02B21/248 , G03B7/20
摘要： PURPOSE: A linear turret scanner is provided to precisely control a position through a linear movement by using a linear turret. CONSTITUTION: A linear turret(300) horizontally moves and replace an object lens(400) with a different magnification. An optical axis driving unit(200) is installed on one side of the linear turret and moves according to the movement of the linear turret. The optical axis driving unit moves the object lens in an optical axis by the displacement of the object lens.
摘要翻译：目的：提供线性转塔扫描仪，通过使用直线转塔通过线性运动精确控制位置。构成：直线转塔（300）以不同的放大率水平移动和更换物镜（400）。光轴驱动单元（200）安装在直线转塔的一侧，并根据直线转塔的运动而移动。光轴驱动单元通过物镜的位移在光轴上移动物镜。

5. 发明公开

KR1020100018984A 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경 有权
标题翻译：光束扫描色谱显微镜
公开(公告)号：KR1020100018984A
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：KR1020080077771
申请日：2008-08-08
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 전병선 , 이승우 , 김태중 , 송인천
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/06
CPC分类号： G02B21/0032 , G02B21/0044 , G02B21/0068 , G02B21/0076 , G02B21/008
摘要： PURPOSE: A beam scanning chromatic confocal microscope is provided to reduce measurement time since one measurement of any point on X-Y plane is sufficient while minimizing the movement of a measure system. CONSTITUTION: An optical source unit(1) emits a white light or a light in which lights with a plurality of wavelengths are mixed. The collimating lens(3) induces the light coming out from the optical source unit to be parallel with the collimating lens. A beam splitter(5A) divides the collimated light passing through the collimating lens. A scanning system(9) comprises a plurality of mirrors and a driving part rotating the mirrors. The scanning system adjusts the progressive direction of the light passing through the beam splitter and moves the light projected on the specimen in parallel with the plane in which the specimen is placed. An objective lens(12) guides the light passing through the scanning system to the specimen.
摘要翻译：目的：提供光束扫描彩色共聚焦显微镜，以减少测量时间，因为X-Y平面上的任何点的一次测量足以使测量系统的移动最小化。构成：光源单元（1）发射混合有多个波长的光的白光或光。准直透镜（3）引导从光源单元出射的光与准直透镜平行。分束器（5A）对通过准直透镜的准直光进行划分。扫描系统（9）包括多个反射镜和使反射镜旋转的驱动部分。扫描系统调节通过光束分离器的光的逐行方向，并将投射在样本上的光平行于放置样本的平面移动。物镜（12）将通过扫描系统的光引导到样本。

6. 发明公开

KR1020160017299A 공초점 라인스캔 카메라 및 이를 포함한 공초점 현미경 有权
标题翻译：近红外共焦线扫描相机和包含它的共焦显微镜
公开(公告)号：KR1020160017299A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：KR1020140099783
申请日：2014-08-04
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 이승우 , 전병선 , 송인천
IPC分类号： G02B21/00 , G01N21/88 , H04N5/225
CPC分类号： G02B21/00 , G01N21/88 , G02B21/06 , H04N5/225
摘要： 본발명은근적외선공초점라인스캔카메라및 이를포함하는공초점현미경에관한것이다. 본발명의일 측면에따르면, 빛을조사하는광원부; 상기광원부로부터조사된빛의경로를조절하여상기빛을시편상에제1 방향및 그와수직인제2 방향중 어느하나를따르는선형으로선택적으로주사하는라인스캐닝부; 상부에상기시편이안착되고, 상기시편을평면상에서이동시키는시편이송부; 상기시편에상기빛의초점이형성되도록상기라인스캐닝부를통과한빛을굴절시켜상기시편으로안내하는대물렌즈; 및핀홀을포함하고, 상기시편으로부터반사된빛 중상기핀홀에초점이위치하는빛을통과시키는핀홀부를포함하되, 상기시편이송부는상기라인스캐닝부가상기빛을상기제1 방향으로주사할때상기시편을상기제2 방향으로이동시키고, 상기제2 방향으로주사할때 상기시편을상기제1 방향으로이동시키는근적외선공초점라인스캔카메라가제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种近红外共焦线扫描照相机，以及包含该相机的显微镜。根据本发明的一个方面，提供一种近红外共焦线扫描照相机，包括：照射光的光源部分; 行扫描部，通过调整从光源部照射的光的路径来选择性地扫描在试样上的与第一方向垂直的第一方向或第二方向上的线中的光; 样本转印部，其具有安装在其上部的样本，并且将样本移动到平面上; 通过折射已经通过线扫描部分的光以形成样品上的光的焦点来将光引导到样品的物镜; 以及具有针孔的针孔部分，并且将通过其焦点的光放置在从样本反射的光中的针孔上，其中当线扫描部分沿第一方向扫描光时，样本转印部分沿第二方向移动样本并且当线扫描部分沿第二方向扫描光时沿第一方向移动样本。

7. 发明授权

KR101368486B1 색 필터를 이용한 파장 검출기 및 상기 파장 검출기를 구비한 고속 크로마틱 공초점 현미경 有权
标题翻译：使用COLO滤波器的波长检测器和具有波长检测器的高速色谱显微镜
公开(公告)号：KR101368486B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120124307
申请日：2012-11-05
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 김태중 , 이승우 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G01J3/51 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0032 , G01J3/513 , G02B21/0068 , G02B27/283 , G02B27/30
摘要： The present invention relates to a wavelength detector using a color filter and a high-speed chromatic confocal microscope having the wavelength detector. The purpose of the present invention is to provide a wavelength detector which uses a color filter and is a high-speed wavelength detection system to apply a high-speed beam scanner to a beam scanning type chromatic confocal microscope; and a high-speed chromatic confocal microscope which adopts the wavelength detector to rapidly improve the image acquisition speed of the beam scanning type chromatic confocal microscope.
摘要翻译：本发明涉及使用滤色器的波长检测器和具有波长检测器的高速彩色共焦显微镜。本发明的目的是提供一种使用滤色器并且是高速波长检测系统的波长检测器，以将高速波束扫描仪应用于波束扫描型彩色共焦显微镜; 和采用波长检测器快速提高光束扫描型彩色共聚焦显微镜图像采集速度的高速彩色共聚焦显微镜。

8. 发明授权

KR100992029B1 3차원 형상 측정 장치 有权
标题翻译：三维形状测量系统
公开(公告)号：KR100992029B1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：KR1020060125260
申请日：2006-12-11
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 권대갑 , 이승우 , 강동균 , 유홍기 , 최영만 , 전병선
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
摘要： 본 발명은 광학 장치들을 사용하여 미세한 시편의 형상을 3차원적으로 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 다양한 방법으로의 형상 측정이 가능하여 측정 작업의 정확성 및 효율을 극대화시킬 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 3차원 형상 측정 장치는, 레이저 광원(110), 상기 레이저 광원(110)으로부터의 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 보내는 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어지는 공초점 현미경 시스템(100); 광원(210), 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어지는 백색광 간섭 현미경 시스템(200); 상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 결합하는 결합수단; 및 시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지(301), 상기 공초점 현미경 시스템(100) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 기능을 담당하는 대물렌즈(303)를 포함하여 이루어지는 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)를 포함하여 이루어지는 공유 시스템(300); 을 포함하여 이루어진다. 이 때, 상기 결합수단은 이색성 거울(240) 인 것이 바람직하다.
공초점 현미경, 백색광 간섭 현미경, 반도체, 디스플레이, LCD, 측정, 검사, 3차원 형상 측정 장치

9. 发明授权

KR102043765B1 다중 측정 라만 분광기 有权
公开(公告)号：KR102043765B1
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：KR1020190047131
申请日：2019-04-23
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 전병선 , 이승우 , 송인천
IPC分类号： G01J3/44 , G01N21/65 , G01J3/02

10. 发明公开

KR1020170023692A 곡선 터렛 有权
标题翻译：曲线炮塔
公开(公告)号：KR1020170023692A
公开(公告)日：2017-03-06
申请号：KR1020150132589
申请日：2015-09-18
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 송인천 , 이승우 , 전병선
IPC分类号： G02B21/24 , G02B7/02
摘要： 본발명은곡선터렛에관한것이다. 본발명의목적은, 대물렌즈변경시 위치정렬이용이하게이루어질수 있음과동시에변경동작중 대물렌즈및 관찰대상물등 간의충돌이구조적으로배제될수 있도록하는, 곡선터렛을제공함에있다. 본발명의또다른목적은, 제작이용이하고경제적이며, 수동및 자동모두에적용할수 있는, 곡선터렛을제공함에있다.

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