专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101119815B1 빔 편향 장치 有权
标题翻译：光束扫描仪
公开(公告)号：KR101119815B1
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020110031175
申请日：2011-04-05
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 송인천 , 김태중 , 이승우 , 전병선
IPC分类号： G02B26/12
CPC分类号： G02B26/127 , G02B21/0032 , G02B26/105 , G02F1/29
摘要： PURPOSE: A beam deflection apparatus is provided to reduce conversion time between a low speed beam deflector and a high speed beam deflector through effective alignment and to enhance measuring efficiency. CONSTITUTION: A first deflector(110) is formed in order to revolve around the x-axis and bends a beam which is entered. A second deflector(120) is formed in order to revolve around the z-axis and bends the beam which is biased from the first deflector. A third deflector(130) is formed in order to revolve around the y-axis and bends the beam which is biased from the second deflector. The beam is successively reflected by the first deflector, the second deflector, and the third deflector and is biased. The first deflector, the second deflector, and the third deflector are selected one of a low speed beam deflector and a high speed beam deflector.
摘要翻译：目的：提供一种光束偏转装置，通过有效的对准，减少低速光束偏转器和高速光束偏转器之间的转换时间，并提高测量效率。构成：形成第一偏转器（110）以围绕x轴旋转并弯曲输入的光束。形成第二偏转器（120）以围绕z轴旋转并使从第一偏转器偏置的光束弯曲。第三偏转器（130）被形成为围绕y轴旋转并弯曲从第二偏转器偏置的光束。光束被第一偏转器，第二偏转器和第三偏转器相继反射并被偏置。第一偏转器，第二偏转器和第三偏转器被选择为低速光束偏转器和高速光束偏转器之一。

2. 发明授权

KR101032434B1 리니어 터렛 스캐너 有权
标题翻译：线性扫描仪
公开(公告)号：KR101032434B1
公开(公告)日：2011-05-03
申请号：KR1020110024119
申请日：2011-03-18
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 이승우 , 김태중 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G02B21/02 , G01B9/04 , G01N21/00
CPC分类号： G02B21/025 , G02B7/14 , G02B21/248 , G03B7/20
摘要： PURPOSE: A linear turret scanner is provided to precisely control a position through a linear movement by using a linear turret. CONSTITUTION: A linear turret(300) horizontally moves and replace an object lens(400) with a different magnification. An optical axis driving unit(200) is installed on one side of the linear turret and moves according to the movement of the linear turret. The optical axis driving unit moves the object lens in an optical axis by the displacement of the object lens.
摘要翻译：目的：提供线性转塔扫描仪，通过使用直线转塔通过线性运动精确控制位置。构成：直线转塔（300）以不同的放大率水平移动和更换物镜（400）。光轴驱动单元（200）安装在直线转塔的一侧，并根据直线转塔的运动而移动。光轴驱动单元通过物镜的位移在光轴上移动物镜。

3. 发明公开

KR1020100018984A 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경 有权
标题翻译：光束扫描色谱显微镜
公开(公告)号：KR1020100018984A
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：KR1020080077771
申请日：2008-08-08
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 전병선 , 이승우 , 김태중 , 송인천
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/06
CPC分类号： G02B21/0032 , G02B21/0044 , G02B21/0068 , G02B21/0076 , G02B21/008
摘要： PURPOSE: A beam scanning chromatic confocal microscope is provided to reduce measurement time since one measurement of any point on X-Y plane is sufficient while minimizing the movement of a measure system. CONSTITUTION: An optical source unit(1) emits a white light or a light in which lights with a plurality of wavelengths are mixed. The collimating lens(3) induces the light coming out from the optical source unit to be parallel with the collimating lens. A beam splitter(5A) divides the collimated light passing through the collimating lens. A scanning system(9) comprises a plurality of mirrors and a driving part rotating the mirrors. The scanning system adjusts the progressive direction of the light passing through the beam splitter and moves the light projected on the specimen in parallel with the plane in which the specimen is placed. An objective lens(12) guides the light passing through the scanning system to the specimen.
摘要翻译：目的：提供光束扫描彩色共聚焦显微镜，以减少测量时间，因为X-Y平面上的任何点的一次测量足以使测量系统的移动最小化。构成：光源单元（1）发射混合有多个波长的光的白光或光。准直透镜（3）引导从光源单元出射的光与准直透镜平行。分束器（5A）对通过准直透镜的准直光进行划分。扫描系统（9）包括多个反射镜和使反射镜旋转的驱动部分。扫描系统调节通过光束分离器的光的逐行方向，并将投射在样本上的光平行于放置样本的平面移动。物镜（12）将通过扫描系统的光引导到样本。

4. 发明授权

KR101368486B1 색 필터를 이용한 파장 검출기 및 상기 파장 검출기를 구비한 고속 크로마틱 공초점 현미경 有权
标题翻译：使用COLO滤波器的波长检测器和具有波长检测器的高速色谱显微镜
公开(公告)号：KR101368486B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120124307
申请日：2012-11-05
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 김태중 , 이승우 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G01J3/51 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0032 , G01J3/513 , G02B21/0068 , G02B27/283 , G02B27/30
摘要： The present invention relates to a wavelength detector using a color filter and a high-speed chromatic confocal microscope having the wavelength detector. The purpose of the present invention is to provide a wavelength detector which uses a color filter and is a high-speed wavelength detection system to apply a high-speed beam scanner to a beam scanning type chromatic confocal microscope; and a high-speed chromatic confocal microscope which adopts the wavelength detector to rapidly improve the image acquisition speed of the beam scanning type chromatic confocal microscope.
摘要翻译：本发明涉及使用滤色器的波长检测器和具有波长检测器的高速彩色共焦显微镜。本发明的目的是提供一种使用滤色器并且是高速波长检测系统的波长检测器，以将高速波束扫描仪应用于波束扫描型彩色共焦显微镜; 和采用波长检测器快速提高光束扫描型彩色共聚焦显微镜图像采集速度的高速彩色共聚焦显微镜。

5. 发明公开

KR1020110087418A 유연 힌지기구를 이용한 스테이지 无效
标题翻译：使用弯曲铰链模块的阶段
公开(公告)号：KR1020110087418A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020100006830
申请日：2010-01-26
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 김효영 , 안다훈 , 김정재 , 김경천 , 김태중 , 이승우 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G01N1/00 , H01J37/20 , H01L21/67 , B81B3/00
摘要： PURPOSE: A stage using a flexible hinge module is provided to improve nano-precision by reducing thermal deformation errors. CONSTITUTION: A stage using a flexible hinge module comprises a stage(4), three flexure modules, piezoelectric drive units(1), a base frame(5), capacitor sensors(6), and a measurement unit. The stage measures a test piece. The flexure modules are connected to the stage. The piezoelectric drive units drive the flexure modules. The base frame is located at the bottom of the stage. The capacitor sensors are formed in the base frame and measure the movement of the stage. The measurement unit is composed of jigs(7) for fixing the sensor.
摘要翻译：目的：提供使用柔性铰链模块的舞台，通过减少热变形误差来提高纳米精度。构成：使用柔性铰链模块的平台包括台（4），三个弯曲模块，压电驱动单元（1），基架（5），电容传感器（6）和测量单元。舞台测试一个测试片。弯曲模块连接到平台。压电驱动单元驱动弯曲模块。底座位于舞台底部。电容器传感器形成在基架中并测量载物台的运动。测量单元由用于固定传感器的夹具（7）组成。

6. 发明授权

KR100964251B1 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경 有权
标题翻译：光束扫描色共焦显微镜
公开(公告)号：KR100964251B1
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：KR1020080077771
申请日：2008-08-08
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 전병선 , 이승우 , 김태중 , 송인천
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/06
摘要： 본 발명의 목적은 깊이 방향으로의 기계적인 이송장치가 없이 측정 대상물의 3차원 형상을 정확하게 얻을 수 있도록 하는, 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경을 제공함에 있다. 본 발명에 의한 빔 스캐닝 방식의 크로마틱 공초점 현미경(100)은, 점광원 형태로 형성되며, 백색광(white light) 또는 다수의 파장을 가지는 광선들이 혼합된 빛(polychromatic light)을 방출하는 광원부(1); 상기 광원부(1)의 전방에 구비되며, 상기 광원부(1)로부터 나온 빛을 평행광으로 유도하는 시준 렌즈(3); 상기 시준 렌즈(3)를 통과한 평행광을 분리하는 빔 스플리터(beam splitter, 5A); 다수 개의 거울 및 상기 거울들을 회동시키는 구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 빔 스플리터(5A)를 통과한 빛의 진행 방향을 조정함으로써 시편(200)에 빛이 입사되는 부분을 시편(200)이 놓여진 면에 평행한 방향(XY 면)으로 이동시키는 스캐닝 시스템(9); 상기 스캐닝 시스템(9)을 통과하여 나온 빛을 파장에 따라 분리하여 시편(200)으로 입사시키는 대물 렌즈계(12); 상기 시편(200)으로 입사되어 상기 시편(200) 표면에서 반사되어 나온 빛을 받아들이는 수광 렌즈(6); 상기 수광 렌즈(6)의 후방에 구비되며, 구멍이 형성되어 수광 렌즈(6)에 의해 집광된 광선을 상기 구멍으로만 통과시키고 구멍 이외의 부분에서는 광선의 진행을 차단하는 검출부측 핀홀(7); 스펙트로미터(spectrometer)로 구현되어, 상기 검출부측 핀홀(7)을 통과한 광선의 세기 및 파장을 측정하여 가장 빛의 세기가 강한 파장 성분을 검출하는 검출부(8); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
공초점 현미경, 크로마틱 공초점 현미경, 빔 스캐닝

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式