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1. 发明授权

KR101525661B1 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치 有权
标题翻译：载体夹具上的柔性衬垫安装装置
公开(公告)号：KR101525661B1
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：KR1020130040487
申请日：2013-04-12
申请人： (주)에스티아이 , 삼성전기주식회사
发明人： 이권진 , 김동일 , 이명우 , 최갑수 , 한규용 , 황현덕 , 유달현 , 박우철 , 이훈조
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , B65G49/06 , H01L51/56
摘要： 본발명은윈도우프레임형상의베이스플레이트와, 상기베이스플레이트에매립설치된다수의마그넷과, 상기베이스플레이트에힌지로결합되어, 상기마그넷의인력에의해장착된플렉시블기판의상부를클램핑하되, 윈도우프레임형상인상기베이스플레이트의중앙통공측면의각 변상부에하나씩 마련되는누름판과, 상기베이스플레이트에마련되어상기누름판의저면을노출시켜, 외부의클램핑제어핀의삽입에의해상기누름판을상향으로회동시킬수 있도록하는홀과, 상기베이스플레이트와상기누름판에상하로관통되어상기플렉시블기판을처리하는유체가드레인되는다수의드레인홀을포함하는반송지그와; 상기반송지그가올려지는고정프레임과; 상기고정프레임의하부에서상하로이동하는이동프레임과; 상기이동프레임에고정되어상기홀을통해삽입되어상기반송지그의상기누름판을회동시키는상기클램핑제어핀을포함한다. 본발명은마그넷을이용하여플렉시블기판을반송지그에처짐없이고정할수 있으며, 플렉시블기판의고정상태가자기력에의해유지되기때문에이물의발생이방지되어, 플렉시블기판의처리과정에서이물에의한수율저하를방지할수 있는효과가있다.

2. 发明授权

KR101503587B1 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법 有权
标题翻译：柔性基板转移装置及其方法
公开(公告)号：KR101503587B1
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：KR1020130030913
申请日：2013-03-22
申请人： (주)에스티아이 , 삼성전기주식회사
发明人： 이명우 , 김동일 , 한규용 , 최갑수 , 황현덕 , 유달현 , 박우철 , 이훈조
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/67736 , H01L21/67346 , H01L21/68707
摘要： 본 발명은 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법에 관한 것으로, 플렉시블 기판을 로딩하는 로딩부와, 트레이에 장착된 플렉시블 기판을 이송하여 공정이 진행되도록 하는 공정이송부와, 이송가이드를 따라 상기 로딩부와 공정이송부 사이를 수평이동하는 이송로봇과, 상기 이송로봇을 따라 상하 이동하며, 상기 플렉시블 기판을 잡아 상기 이송로봇의 변위에 따라 이동시키되, 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여 처짐을 방지하는 텐션장치부를 포함한다. 본 발명은 로딩부를 통해 연속으로 공급되는 플렉시블 기판에 텐션을 부가하여 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정이송부로 이송하고, 공정이송부에 대기하는 트레이에 장착함으로써, 트레이에 장착되어 공정이 진행되는 플렉시블 기판이 처짐이 발생하지 않은 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정의 신뢰성을 향상시키고 수율의 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

3. 发明公开

KR1020140124026A 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치 有权
标题翻译：用于柔性基座的承载件和用于运输工具上的柔性基座的安装装置
公开(公告)号：KR1020140124026A
公开(公告)日：2014-10-24
申请号：KR1020130040487
申请日：2013-04-12
申请人： (주)에스티아이 , 삼성전기주식회사
发明人： 이권진 , 김동일 , 이명우 , 최갑수 , 한규용 , 황현덕 , 유달현 , 박우철 , 이훈조
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , B65G49/06 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/6734 , B65G49/061 , B65G49/062 , H01L21/6773 , H01L21/68728
摘要： 본 발명은 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 매립 설치된 다수의 마그넷과, 상기 베이스 플레이트에 힌지로 결합 되어, 상기 마그넷의 인력에 의해 장착된 플렉시블 기판의 상부를 클램핑하는 누름수단과, 상기 베이스 플레이트에 마련되어 상기 누름수단의 저면을 노출시켜, 외부의 클램핑 제어핀의 삽입에 의해 상기 누름수단을 상향으로 회동시킬 수 있도록 하는 홀을 포함한다. 본 발명은 마그넷을 이용하여 플렉시블 기판을 반송 지그에 처짐 없이 고정할 수 있으며, 플렉시블 기판의 고정상태가 자기력에 의해 유지되기 때문에 이물의 발생이 방지되어, 플렉시블 기판의 처리 과정에서 이물에 의한 수율 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于柔性基板的载体夹具和用于将柔性基板安装在其上的装置。载体夹具包括埋置并安装在基板中的多个磁体; 夹紧柔性基板的上部的按压装置，该柔性基板的上部通过铰链组合到基板上，并通过磁体的磁吸引力安装在基板上; 以及设置在基板上的孔，用于露出按压构件的底面，并且具有插入其中的外部夹紧控制销，从而允许按压装置向上移动。用于将柔性基板安装在载体夹具上的装置能够通过使用磁体将弹性夹具固定在载体夹具上，同时防止载体的挠曲，并且具有防止在柔性基板期间由于异物导致的屈服的降低的效果处理过程由于柔性基板的固定状态由磁力维持。

4. 发明公开

KR1020140116569A 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법 有权
标题翻译：用于柔性基板的传送装置及其方法
公开(公告)号：KR1020140116569A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020130030913
申请日：2013-03-22
申请人： (주)에스티아이 , 삼성전기주식회사
发明人： 이명우 , 김동일 , 한규용 , 최갑수 , 황현덕 , 유달현 , 박우철 , 이훈조
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/67736 , H01L21/67346 , H01L21/68707 , H01L21/67132 , H01L21/67742 , H01L21/67748
摘要： The present invention relates to a transfer device for a flexible substrate and a method thereof. The transfer device comprises a loading unit which loads a flexible substrate; a process transfer unit which transfers the flexible substrate installed in a tray in order to proceed a process; a transfer robot which horizontally moves between the loading unit and the process transfer unit along the transfer guide: and a tension device unit which vertically moves along the transfer robot and transfers the flexible substrate according to the displacement of the transfer robot by grabbing the flexible substrate and which prevents the flexible substrate from being sagged by applying tension to the flexible substrate. The transfer device applies tension to the flexible substrate continuously provided through the loading unit in order to make the flexible substrate completely open. The transfer device transfers the flexible substrate to the process transfer unit and allows the flexible transfer unit to be installed in the tray waiting in the process transfer unit. The flexible substrate, which is installed in the tray during the process, is completely open without being sagged. Therefore, the transfer device enhances the reliability of the process and prevents the lowering of the yield.
摘要翻译：本发明涉及柔性基板的转印装置及其方法。传送装置包括装载柔性基板的装载单元; 处理转移单元，其传送安装在托盘中的柔性基板以进行处理; 传送机器人，其沿着传送引导件在装载单元和处理传送单元之间水平移动;张力装置单元，其沿着传送机器人垂直移动，并通过抓取柔性基板根据传送机器人的位移传送柔性基板并且其通过向柔性基底施加张力来防止柔性基底下垂。传送装置通过装载单元连续地提供柔性基板张力，以使柔性基板完全打开。传送装置将柔性基板传送到处理传送单元，并且允许柔性传送单元安装在在处理传送单元中等待的托盘中。在该过程中安装在托盘中的柔性基底在没有下垂的情况下是完全开放的。因此，转印装置提高了工艺的可靠性并防止了成品率的降低。

5. 发明授权

KR101433516B1 기판과 기판 반송용 트레이 반송장치 및 반송방법 有权
标题翻译：用于传输基板和托盘以传输基板的装置和方法
公开(公告)号：KR101433516B1
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：KR1020130030914
申请日：2013-03-22
申请人： (주)에스티아이 , 삼성전기주식회사
发明人： 김동일 , 이명우 , 한규용 , 최갑수 , 황현덕 , 유달현 , 박우철 , 이훈조
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67028 , H01L21/67346 , H01L21/67715 , H01L21/67736 , B65G49/06
摘要： The present invention is to provide a device and a method of transferring substrates and trays for transferring substrates capable of rapidly, accurately, and stably performing the continuous processing of substrates by continuously transferring trays for transferring substrates at high speed and precision in a clean state. The device comprises a loader part (200) to which the substrates and the trays (10) for storing the substrates are entered by a substrate loading device (100); a loader part lifting/lowering part (300) having a loader part lifter (330) lifted along a guide rail (310) arranged in one side of the loader part (200) to transfer the trays (10) to the loader part (200); a substrate processing part (400) for performing a substrate processing process while the trays in which the substrates are stored are transferred; an unloader part (500) for discharging the substrates separated from the trays (10) in which the substrates passing the substrate processing part (400) are stored; an unloader part lifting/lowering part (600) having an unloader part lifter (630) lifted along a guide rail (610) arranged in one side of the unloader part (500) to move the trays (10) separated from the substrates to the upper part of the guide rail (610); and a return part (700) for returning the trays (10) from the unloader part lifting/lowering part (600) to the loader part lifting/lowering part (300).
摘要翻译：本发明是提供一种转印基板和托盘的装置和方法，该基板和托盘能够通过在清洁状态下以高速和精确的方式连续地转印用于传送基板的托盘，从而快速，准确和稳定地执行基板的连续加工。装置包括装载部分（200），用于存储基板的基板和托盘（10）通过基板装载装置（100）进入其中; 具有装载部件升降器（330）的装载部分升降部件（300），其沿着布置在装载部件（200）一侧的导轨（310）提升，以将托盘（10）转移到装载部件（200））; 用于在存储基板的托盘的同时进行基板处理工序的基板处理部（400）; 用于排出从通过基板处理部分（400）的基板的托盘（10）分离的基板的卸载部分（500）; 具有设置在卸载器部件（500）的一侧的导轨（610）提升的卸载部件升降器（630）的卸载部件升降部件（600），以将从基板分离的托盘（10）移动到导轨的上部（610）; 以及用于将托盘（10）从卸载部升降部（600）返回到装载部升降部（300）的返回部（700）。

6. 发明授权

KR101394485B1 롤투롤 기판 이송장치 有权
标题翻译：滚动基板传送装置
公开(公告)号：KR101394485B1
公开(公告)日：2014-05-13
申请号：KR1020120065956
申请日：2012-06-20
申请人： (주)에스티아이
发明人： 한규용 , 최갑수 , 김동일
IPC分类号： B65H23/038 , G02F1/13 , H01L21/677
摘要： 본 발명은 기판을 공급하는 공급롤; 상기 기판을 회수하는 회수롤; 및 직경이 일단부에서 타단부를 향해 테이퍼져 있고, 상기 공급롤과 상기 회수롤 사이에 배치되며, 상기 기판의 하면에 접촉하여 상기 기판을 상기 공급롤로부터 상기 회수롤로 이송하는 복수의 하부롤러를 포함하는 하부롤러 어레이를 포함하는 롤투롤 기판 이송 장치를 제공한다.

7. 发明公开

KR1020130142605A 롤투롤 기판 이송장치 有权
标题翻译：滚动基板传送装置
公开(公告)号：KR1020130142605A
公开(公告)日：2013-12-30
申请号：KR1020120065956
申请日：2012-06-20
申请人： (주)에스티아이
发明人： 한규용 , 최갑수 , 김동일
IPC分类号： B65H23/038 , G02F1/13 , H01L21/677
CPC分类号： B65H23/038 , B65G13/06 , G02F1/1303 , H01L21/67706
摘要： The present invention provides a transfer device of a roll to roll substrate including a supply role supplying the substrate; a collection role collecting the substrate; and a lower roller array including a plurality of lower rollers. The diameter of the lower roller array is tapered from one end to the other end, and the lower roller array is arranged between the supply role and the collection role. The lower roller array includes the lower rollers transferring the substrate from the supply role to the collection role by being in contact with the lower surface of the substrate.
摘要翻译：本发明提供一种卷对卷基板的转印装置，包括供给基板的供给角色; 收集底物的收集角色; 以及包括多个下辊的下辊阵列。下辊阵列的直径从一端到另一端呈锥形，下辊阵列布置在供应角色和收集角色之间。下辊阵列包括通过与衬底的下表面接触而将衬底从供应角色转移到收集作用的下辊。

8. 发明授权

KR101394482B1 기판 처리장치 有权
公开(公告)号：KR101394482B1
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120009593
申请日：2012-01-31
申请人： (주)에스티아이
发明人： 명기남 , 최갑수 , 김동일 , 김명도
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G47/69 , G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 버퍼 카세트의 승하강이 이루어지면 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판이 버퍼 카세트 내부에 차례로 저장되고 또한, 저장된 기판이 다음 공정으로 차례로 이송되므로 기판 처리시간을 단축시킬 수 있고, 불필요한 장비를 줄여 전체 장비를 컴팩트화할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 기판 처리장치는 일정 간격으로 배치되어 회전하는 다수개의 샤프트; 상기 샤프트에 고정 설치되어 상면에 안착되는 기판을 이송시키는 다수개의 반송 롤러; 상기 샤프트 사이에 서로 마주보게 설치되는 다수쌍의 수직 프레임과, 상기 수직 프레임의 상단 및 하단을 연결시키는 제1, 2 연결 프레임과, 상기 수직 프레임들 사이에 설치되어 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판들의 하면을 순차적으로 지지하는 복수개의 버퍼 프레임을 포함하여 이루어지는 버퍼 카세트; 그리고, 상기 버퍼 카세트의 양측에 설치되는 한쌍의 가이드 빔과, 일단은 상기 수직 프레임 또는 상기 제1 연결 프레임에 결합되고, 타단은 상기 가이드 빔에 수직 이동 가능하게 결합되는 엘레베이터 암과, 상기 가이드 빔에 설치되어 엘리베이터 암을 수직이동시키는 구동수단을 포함하여 이루어지는 엘리베이터를 포함하여 이루어진다.

9. 发明公开

KR1020130088383A 기판 처리장치 有权
标题翻译：基板加工设备
公开(公告)号：KR1020130088383A
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：KR1020120009593
申请日：2012-01-31
申请人： (주)에스티아이
发明人： 명기남 , 최갑수 , 김동일 , 김명도
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G47/69 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G47/69 , B65G49/061 , B65G49/067 , G02F1/1303 , H01L21/67769 , H01L21/68742
摘要： PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to store and transfer substrates by moving a buffer cassette up and down, thereby omitting unnecessary devices to make compact equipment. CONSTITUTION: Shafts (100) are arranged at regular intervals and rotate. Carrier rollers (200) are installed on the shafts and moves the substrate (G) mounted on an upper surface. A buffer cassette (300) temporarily stores the substrate transferred for a preset process. The buffer cassette consists of a vertical frame (310), first and second connection frames (320,330), and a buffer frame (340). An elevator (400) moves the buffer cassette up and down.
摘要翻译：目的：提供一种基板处理装置，用于通过上下移动缓冲器盒来存储和传送基板，从而省略不必要的装置以制造紧凑的设备。规定：轴（100）定期安排并旋转。承载辊（200）安装在轴上并移动安装在上表面上的基板（G）。缓冲器盒（300）临时存储用于预设过程传送的衬底。缓冲盒由垂直框架（310），第一和第二连接框架（320,330）和缓冲框架（340）构成。电梯（400）上下移动缓冲器盒。

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