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1. 发明授权

KR101835193B1 듀티 사이클식 자이로스코프 有权
标题翻译：占空比陀螺仪
公开(公告)号：KR101835193B1
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：KR1020157028086
申请日：2014-02-28
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 쉐퍼,데릭 , 왕,스탠리
IPC分类号： G01C19/5776 , H03L7/085 , H03L7/089 , H03L7/099
CPC分类号： G01C19/10 , G01C19/065 , G01C19/5776 , H03G3/20 , H03L7/0891 , H03L7/093 , H03L7/099 , Y10T74/1229
摘要： 자이로스코프시스템은구동시스템및 감지시스템에결합되는 MEMS 자이로스코프를포함한다. 구동시스템은진동상태로 MEMS 자이로스코프를유지하고, 감지시스템은회전속도를나타내는 MEMS 자이로스코프의출력신호를수신하고, 증폭하고, 복조한다. 자이로스코프시스템은구동시스템으로부터기준클럭(REFCLK)을수신하고시스템클럭(CLK)을생성하는위상동기루프(PLL)를더 포함한다. 마지막으로, 자이로스코프시스템은구동시스템및 감지시스템의작동상태를설정하고또한 PLL의상태를제어하는시스템클럭상에서작동하는제어기를포함한다. 하나이상의시스템상태변수는보호모드동안실질적으로고정상태로유지되어자이로스코프시스템의저전력모드와정상작동모드사이의빠른전이를가능하게한다.
摘要翻译：陀螺仪系统包括耦合到驱动系统和感测系统的MEMS陀螺仪。驱动系统将MEMS陀螺仪维持在振动状态，并且感测系统接收，放大并解调表示旋转速度的MEMS陀螺仪的输出信号。陀螺仪系统包括从驱动系统接收参考时钟（REFCLK）并产生系统时钟（CLK）的锁相环（PLL）。最后，陀螺仪系统包括一个控制器，用于设置驱动系统和感测系统的工作状态，并且还用于控制PLL状态的系统时钟。一个或多个系统状态变量在保护模式期间保持基本静止，以实现陀螺仪系统的低功率模式和正常操作模式之间的快速转换。

2. 发明公开

KR1020170021846A 집적된 CMOS 및 MEMS 센서 제조 방법 및 구조 审中-实审
标题翻译：集成CMOS和MEMS传感器制造的方法和结构
公开(公告)号：KR1020170021846A
公开(公告)日：2017-02-28
申请号：KR1020177001572
申请日：2015-07-06
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 스미스,피터
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00238 , B81B7/02 , B81C1/00246 , B81C2201/0197 , B81C2203/0792
摘要： CMOS-MEMS 구조를제공하는방법이개시된다. 본방법은 MEMS 작동기판상에제1 상부금속을및 CMOS 기판상에제2 상부금속을패터닝하는단계를포함한다. 상기 MEMS 작동기판및 상기 CMOS 기판각각은그 위에산화물층을포함한다. 본방법은 MEMS 작동기기판의상기제1 패터닝된상부금속을상기베이스기판의상기제2 패터닝된상부금속에접합하는제1 접합단계를이용하여, MEMS 작동기판및 베이스기판상에각각의산화물층을식각하는단계를포함한다. 마지막으로, 본방법은 MEMS 작동기판내로작동층을식각하는단계및 MEMS 작동기판을 MEMS 핸들기판에접합하는제2 접합단계를이용하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于提供CMOS-MEMS结构的方法。该方法包括图案化MEMS致动器板上的第一上部金属和CMOS衬底上的第二上部金属。 MEMS操作基板和CMOS基板中的每一个在其上包括氧化物层。该方法包括以下步骤：应用将MEMS致动器基板的第一图案化的上金属结合到基底基板的第二图案化的上金属以在MEMS工作基板和基底基板上形成相应的氧化物层的第一结合步骤和蚀刻。最后，该方法包括使用第二接合步骤将有源层蚀刻到MEMS致动基板中并且将MEMS致动基板接合到MEMS处理基板。

3. 发明公开

KR1020170002547A MEMS 음향 센서 및 환경 센서를 포함하는 집적 패키지 및 이를 제조하는 방법 审中-实审
标题翻译：包含MEMS声学传感器和环境传感器的MEMS集成封装及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170002547A
公开(公告)日：2017-01-06
申请号：KR1020167033906
申请日：2015-05-08
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 차이,줄리어스밍-린 , 캐그다이저,바리스 , 림,마틴 , 켄킨,알렉시에스.
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： B81B7/02 , B81B2201/0214 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2201/0278 , B81B2201/0292 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81C1/0023 , B81C2203/0792 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/16152 , H04R1/04 , H04R19/04 , H04R29/004 , H04R2201/003 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 적어도하나의환경센서및 적어도하나의 MEMS 음향센서의집적된패키지가개시된다. 이패키지는양 센서들을환경에노출시키는공유포트를포함하며, 환경센서는환경특성을측정하고음향센서는음향파들을측정한다. 포트는환경센서를공기흐름에노출시키고음향센서를음향파들에노출시킨다. 음향센서의실례는마이크로폰이며, 환경센서의실례는습기센서이다.
摘要翻译：公开了至少一个环境传感器和至少一个MEMS声学传感器的集成封装。该包装包含共享端口，将两个传感器公开到环境中，其中环境传感器测量环境的特性并且声学传感器测量声波。该端口将环境传感器暴露于气流，声传感器暴露于声波。声学传感器的示例是麦克风，并且环境传感器的示例是湿度传感器。

4. 发明公开

KR1020150132411A 가속도계 상에서 자기 물질들을 이용하는 자력계 审中-实审
标题翻译：磁力计使用磁性材料加速度计
公开(公告)号：KR1020150132411A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：KR1020157029236
申请日：2014-03-13
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 시거,조셉 , 키우,진 , 톰슨,매튜,줄리안
IPC分类号： G01R33/028 , G01R33/02 , G01P15/08
CPC分类号： G01R33/02 , B81B2201/00 , G01P15/08 , G01R33/0286 , H01L21/00 , H01L2221/00
摘要： MEMS 디바이스는제 1 프루프매스, 제 1 프루프매스의표면상에부분적으로증착된제 1 자화된자기물질, 제 1 프루프매스를지지하기위해기판에고정된제 1 스프링, 및제 1 프루프매스에결합되고주변가속도에의해야기된제 1 프루프매스의움직임을감지하도록동작가능한제 1 감지요소를포함한다. MEMS 디바이스는제 1 프루프매스에결합되고주변자기장에의해야기된제 1 프루프매스의움직임을감지하도록동작가능한제 2 감지요소를더 포함한다.

5. 发明公开

KR1020150020034A 디바이스 기반 자세 생성을 사용하여 데이터 레이트들 및 전력 소비를 감소시키기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：使用基于设备的方法来降低数据速率和功耗的方法
公开(公告)号：KR1020150020034A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020140056291
申请日：2014-05-12
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 길윌리암케리 , 림제임스비. , 카라한시난
IPC分类号： G01C19/5776 , G01D21/02 , G01P15/00 , G01P15/14 , G01C17/02 , G06F19/00
摘要： 방법은 자이로스코프 센서로부터 자이로스코프 데이터를 수신하고, 상기 자이로스코프 데이터를 사용하여 적분을 수행하며 제 1 프로세서를 사용하여 적분된 자이로스코프 데이터를 생성함으로써 모션 데이터를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 자이로스코프 센서 외에, 하나 이상의 센서들로부터 데이터를 수신하는 단계, 및 제 2 프로세서를 사용하여 모션 데이터를 생성하기 위해 상기 적분된 자이로스코프 데이터 및 상기 데이터를 사용하여 센서 융합을 수행하는 단계를 더 포함한다.
摘要翻译：使用基于设备的姿态生成来降低数据速率和功耗的方法包括：通过从陀螺仪传感器接收陀螺仪数据来生成运动数据的步骤; 使用陀螺仪数据进行积分; 以及使用第一处理器生成所述集成陀螺仪数据。使用基于设备的姿态生成来降低数据速率和功耗的方法还包括从陀螺传感器之外的一个或多个传感器接收数据的步骤; 以及使用所述集成陀螺仪数据和所述数据来定影传感器以使用第二处理器来生成运动数据的步骤。

6. 发明公开

KR1020140116543A 이동 디바이스에서의 센서에 대한 사용 중 자동 교정 방법 有权
标题翻译：用于移动设备中传感器的自动校准方法
公开(公告)号：KR1020140116543A
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：KR1020147023596
申请日：2012-11-30
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 케알,윌리엄,케리 , 쳉,유안 , 구,안지아 , 림,제임스 , 린,샹-훙
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/14 , G01C25/00 , G01C19/5776 , G06F17/10 , G01P15/00
CPC分类号： G01C25/005 , G01P21/00
摘要： 휴대용 디바이스에서의 가속도계를 교정하는 방법, 시스템 및 컴퓨터 판독 가능 매체가 개시된다. 방법, 시스템 및 컴퓨터 판독 가능 매체는 가속도계로부터 데이터를 수신하는 것, 및 특정 기준들을 만족시키는 데이터를 순응적으로 선택하는 하나 이상의 선택 규칙들에 기반하여 데이터로부터의 가속도계 샘플들을 제공하는 것을 포함한다. 방법 시스템 및 컴퓨터 판독 가능 매체는 또한 가속도계 샘플들을 수학적 모드에 맞추는 것을 포함한다. 방법 시스템 및 컴퓨터 판독 가능 매체는 수학적 모델의 중심에 기반하여 가속도계의 바이어스를 제공하는 것을 더 포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于校准便携式设备中的加速度计的方法，系统和计算机可读介质。方法，系统和计算机可读介质包括从加速度计接收数据，并且基于自适应地选择满足特定标准的数据的一个或多个选择规则从数据提供加速度计样本。方法系统和计算机可读介质还包括将加速度计样本拟合到数学模式。方法系统和计算机可读介质还包括基于数学模型的中心提供加速度计的偏置。

7. 发明公开

KR1020140066757A 안내 질량 시스템을 포함하는 미세가공된 자이로스코프 有权
标题翻译： MICROMACHINED GYROSCOPE包括引导质量系统
公开(公告)号：KR1020140066757A
公开(公告)日：2014-06-02
申请号：KR1020147009829
申请日：2012-09-10
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 시거,조셉 , 아나크,오잔
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5642
CPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5755
摘要： 자이로스코프가 개시된다. 자이로스코프는 기재; 및 안내 질량 시스템을 포함한다. 안내 질량 시스템은 검증 질량 및 안내 암을 포함한다. 검증 질량 및 안내 암은 기재에 평행한 평면에 배치된다. 검증 질량은 안내 암에 연결된다. 또한, 안내 암은 스프링에 의하여 기재에 연결된다. 안내 암은 검증 질량의 이동이 평면 내에서 제1 방향으로 이루어지게 한다. 안내 암 및 검증 질량은 제1 감지 축에 대하여 회전한다. 제1 감지 축은 평면 내에 있으며 제1 방향에 평행하다. 자이로스코프는 검증 질량을 제1 방향으로 진동시키기 위한 구동기를 포함한다. 또한, 자이로스코프는 평면 내에 있고 제1 방향과 직교하는 제1 입력 축에 대한 각속도에 반응하여 평면에 수직인 검증 질량의 이동을 감지하기 위한 변환기를 포함한다.

8. 发明授权

KR102217083B1 압력 센서 有权
公开(公告)号：KR102217083B1
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：KR1020140153840
申请日：2014-11-06
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 린청-시엔 , 탕성린 , 수왕쉔 , 린치아민 , 르네휴멜 , 울리치바르취 , 마리온헤르메르스도르프
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/12 , H01L21/00
摘要： 압력센서는포함제 1 기판(1) 및상기제 1 기판(1)에부착된캡(4)을포함한다. 캡(4)은처리회로(241), 캐비티(41) 및상기캐비티(41)를분리하는변형가능멤브레인(42) 및상기압력센서의외부로개방된포트를포함한다. 포트에서의압력에대한변형가능멤브레인(42)의응답을처리회로(241)에의하여처리될수 있는신호로변환하기위하여감지수단이제공된다. 캡(4)은, 변형가능멤브레인(42)이상기제 1 기판(1)에대향하도록그리고포트에기여하는갭(6)이변형가능멤브레인(42) 및제 1 기판(1) 사이에제공되도록제 1 기판(1)에부착된다. 제 1 기판(1)은캡(4)이부착된지지부(7), 압력센서를외부디바이스로전기적으로연결시키기위한콘택부(8), 및지지부(7)를콘택부(8)로부터서스펜딩(suspend)하기위한하나이상의서스펜션엘리먼트(9)를포함한다.

9. 发明授权

KR102085399B1 프로그램 가능 음향 센서를 위한 다중 기능 핀들 有权
公开(公告)号：KR102085399B1
公开(公告)日：2020-03-05
申请号：KR1020160179636
申请日：2016-12-27
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 카그다세르,바리스 , 올리아에이,오미드 , 아리아,베흐라드
IPC分类号： H04R3/00 , H04R1/08 , H04R19/00

10. 发明授权

KR101939503B1 집적된 CMOS 및 MEMS 센서 제조 방법 및 구조 有权
公开(公告)号：KR101939503B1
公开(公告)日：2019-04-11
申请号：KR1020177001572
申请日：2015-07-06
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 스미스,피터
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00

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