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2. 发明公开

KR1020150052802A 압력 센서 审中-实审
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：KR1020150052802A
公开(公告)日：2015-05-14
申请号：KR1020140153840
申请日：2014-11-06
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 린청-시엔 , 탕성린 , 수왕쉔 , 린치아민 , 르네휴멜 , 울리치바르취 , 마리온헤르메르스도르프
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/12 , H01L21/00
CPC分类号： G01L9/0073 , B23P19/04 , B81B7/0051 , B81B7/0054 , B81B2201/0264 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C2203/0792 , G01L9/12 , G01L19/0084 , G01L19/145 , G01L19/146 , Y10T29/49165 , Y10T29/49904
摘要： 압력센서는포함제 1 기판(1) 및상기제 1 기판(1)에부착된캡(4)을포함한다. 캡(4)은처리회로(241), 캐비티(41) 및상기캐비티(41)를분리하는변형가능멤브레인(42) 및상기압력센서의외부로개방된포트를포함한다. 포트에서의압력에대한변형가능멤브레인(42)의응답을처리회로(241)에의하여처리될수 있는신호로변환하기위하여감지수단이제공된다. 캡(4)은, 변형가능멤브레인(42)이상기제 1 기판(1)에대향하도록그리고포트에기여하는갭(6)이변형가능멤브레인(42) 및제 1 기판(1) 사이에제공되도록제 1 기판(1)에부착된다. 제 1 기판(1)은캡(4)이부착된지지부(7), 압력센서를외부디바이스로전기적으로연결시키기위한콘택부(8), 및지지부(7)를콘택부(8)로부터서스펜딩(suspend)하기위한하나이상의서스펜션엘리먼트(9)를포함한다.
摘要翻译：压力传感器包括附接到第一基板（1）的第一基板（1）和盖（4）。盖（4）包括处理电路（241），空腔（41），用于分离空腔（41）的可变形膜（42）和通向压力传感器外部的端口。提供感测装置，用于将可变形膜（42）的响应转换成端口处的压力，使其成为能够由处理电路（241）处理的信号。盖（4）附接到第一基板（1），使得可变形膜（42）面向第一基板（1），并且使得在可变形膜（42）之间提供用于有助于端口的间隙（6））和第一基板（1）。第一基板（1）包括：安装盖（4）的支撑部分（7）; 用于将所述压力传感器电连接到外部装置的接触部分（8）以及用于将支撑部分（7）从接触部分（8）悬挂的一个或多个悬挂元件（9）。

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