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61. 发明公开

KR1020170142240A 영상분광광학계를 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법 审中-实审
标题翻译：使用图像光谱学测量多层结构的厚度和形状的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170142240A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020160075238
申请日：2016-06-16
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김영식 , 이혁교 , 이윤우
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G06F17/10
CPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , G06F17/10
摘要： 본발명은반사광과간섭광을이용한다층막구조물의두께, 형상측정장치및 측정방법에대한것이다. 보다상세하게는박막이코팅된측정대상물의두께정보와형상정보를획득하기위한방법에있어서, 광원에서출사된광을빔스플리터에의해 2개의광으로분할하는제1단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중하나의광을박막을입힌측정대상물에입사시킨후, 박막의상층부와하층부에서반사되는광이간섭된제1반사광을영상분광기가획득하는제2단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중나머지하나의광을기준미러에입사시킨후 반사시켜제2반사광을획득하는제3단계; 상기제1반사광과상기제2반사광이합쳐진간섭광을영상분광기가획득하는제4단계; 상기제1반사광의간섭무늬를획득하여절대반사율값을구하는제5단계; 상기간섭광의간섭무늬로부터두께정보와형상정보를갖는위상성분값을추출하는제6단계; 상기절대반사율값과상기위상성분값으로부터박막두께정보를측정하는제7단계; 및상기제7단계에서측정된박막두께정보와상기위상성분값으로부터박막형상정보를측정하는제8단계를포함하는것을특징으로하는반사광과간섭광을이용한다층막구조물의두께와형상측정방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用反射光和干涉光来测量多层膜结构的厚度和形状的设备和方法。更具体地说，涉及用于获得厚度信息和所述测量对象的形状信息的方法是薄膜包衣，将所述的两个光通过由光源的光分束器发射的光的第一步骤; 然后在涂覆有薄膜的测量对象的第一步连接两个光重我的光分割的第二步骤中，第一反射光的光从上层和下层薄膜干涉，图像拾取光谱仪反射; 第三步骤，使在第一步骤中分离的两个光中的另一个进入参考反射镜，然后反射第二反射光以获得第二反射光; 第四步，其中图像分光镜获取其中第一反射光和第二反射光被组合的干涉光; 第五步骤，获取第一反射光的干涉条纹以获得绝对反射率值; 第六步，从干涉光的干涉条纹中提取具有厚度信息和形状信息的相位分量值; 从绝对反射率值和相位分量值测量薄膜厚度信息的第七步骤; 和涉及的膜厚度的信息和对厚度和形状使用的反射光与干扰光测量所述多层膜结构的方法，它其特征在于，它包括在步骤7中测量的测量从同相分量的值的薄膜形状信息的第八步骤。

62. 发明公开

KR1020170126181A 초퍼 감지센서를 구비한 증착두께 측정장치 审中-实审
标题翻译：带斩波检测传感器的沉积厚度测量装置
公开(公告)号：KR1020170126181A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020160056249
申请日：2016-05-09
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 안주일
IPC分类号： G01B11/06 , G01J5/62
摘要： 본발명은증착장비에서초퍼감지센서를구비한증착두께측정장치에관한것으로서, 증착물질이유입되는유입부를갖는센서하우징과; 상기센서하우징내에구비되어모터에의해회전하면서센서하우징내에유입된증착물질이센서부로유입되는양을조절하는초퍼와; 상기센서하우징내에구비되어상기초퍼의회전상태를감지하는초퍼감지센서를포함하여구성됨으로써, 증착두께측정센서의오작동을방지하고, 증착장비의신뢰성을높일수 있는효과를갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有沉积厚度测量装置，包括在沉积设备中的斩波器传感器，所述入口部分是沉积的材料入口的传感器壳体; 设置在传感器壳体中的斩波器，用于在通过电动机旋转的同时将引入到传感器壳体中的蒸发材料的量调节到传感器单元中; 而且，在传感器外壳上设置有用于检测斩波器的旋转状态的斩波器检测传感器，因此防止了堆积厚度测量传感器的误动作，提高了成膜装置的可靠性。

63. 发明授权

KR101795566B1 그래핀 검사 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101795566B1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：KR1020160000956
申请日：2016-01-05
申请人： 경기대학교 산학협력단
发明人： 주상현
IPC分类号： G01N13/00 , G01N13/02 , G01N21/95 , G01B11/08 , G01B11/06 , G01B11/26 , G06T7/00 , C01B31/04 , F26B3/06
CPC分类号： C01B32/182 , F26B3/06 , G01B11/06 , G01B11/08 , G01B11/26 , G01N13/00 , G01N13/02 , G01N21/95 , G06T7/00
摘要： 본발명은그래핀필름에결함이있는지여부를포함하는그래핀필름의특성을검사하는장치로서, 상기그래핀필름의상면에액체를분사하여액체방울을형성하는분사노즐부와, 상기그래핀필름의상면에형성된상기액체방울의형상에대한영상정보를생성하는영상정보생성부및 상기영상정보로부터상기액체방울의직경, 높이및 상기그래핀필름과의접촉각의적어도어느하나의값을산출하여상기그래핀필름에결함이생성되는지여부를판단하는영상분석부를포함하는그래핀검사장치및 이를이용한그래핀검사방법에대하여개시한다.

64. 发明授权

KR101788450B1 테라헤르츠파를 이용한 투명 박막의 두께를 측정하는 장치 및 그 측정 방법 有权
标题翻译：用于使用太赫波测量透明薄膜的厚度的设备及其测量方法
公开(公告)号：KR101788450B1
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：KR1020160031922
申请日：2016-03-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 윤일구 , 신동석 , 최현용 , 인치훈 , 김재석
IPC分类号： G01B11/06 , H01S3/10
摘要： 투명박막의두께를측정하는장치가개시된다. 본실시예에따른투명박막의두께를측정하는장치는테라헤르츠파를발생시켜측정대상물을투과한테라헤르츠파를검출하는테라헤르츠파검출장치, 투명기판을투과하여검출된제1 테라헤르츠파를이용하여투명기판의제1 두께를측정하는제1 두께측정부및 투명기판상에형성된투명박막을투과하여검출된제2 테라헤르츠파와, 제1 두께를이용하여투명박막의제2 두께를측정하는제2 두께측정부를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于测量透明薄膜的厚度的设备。装置，用于测量根据本实施方式的透明薄膜的厚度为的太赫兹波检测装置，其检测通过所述对象透射的太赫兹波被测量以产生太赫波，用于发送所检测到的第一太赫兹波透明基板用于通过使用所述第一厚度测量单元和一个相穿过形成在所述检测到的第二太赫波的透明薄膜在透明基板来测量第2透明薄膜的厚度，第一厚度测量第一透明衬底的厚度，和第二个厚度测量单元。

65. 发明公开

KR1020170108281A 테라헤르츠파를 이용한 투명 박막의 두께를 측정하는 장치 및 그 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR1020170108281A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160031922
申请日：2016-03-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 윤일구 , 신동석 , 최현용 , 인치훈 , 김재석
IPC分类号： G01B11/06 , H01S3/10
摘要： 투명박막의두께를측정하는장치가개시된다. 본실시예에따른투명박막의두께를측정하는장치는테라헤르츠파를발생시켜측정대상물을투과한테라헤르츠파를검출하는테라헤르츠파검출장치, 투명기판을투과하여검출된제1 테라헤르츠파를이용하여투명기판의제1 두께를측정하는제1 두께측정부및 투명기판상에형성된투명박막을투과하여검출된제2 테라헤르츠파와, 제1 두께를이용하여투명박막의제2 두께를측정하는제2 두께측정부를포함한다.

66. 发明公开

KR1020170101318A ＰＥＣＶＤ 장치 및 프로세스 审中-实审
标题翻译： PECVD设备和过程
公开(公告)号：KR1020170101318A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：KR1020177023682
申请日：2013-10-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 라자고파란,나가라잔 , 한,신하이 , 트시앙,마이클 , 오가타,마사키 , 지앙,치준 , 로차-앨버레즈,주안카를로스 , 노왁,토마스 , 초우,지안후아 , 산카락리쉬난,람프라카쉬 , 발라수브라마니안,가네쉬 , 반살,아미트 , 이,정민 , 이간,토드 , 부디알토,에드워드 , 파나스유크,드미트리 , 리,테런스와이. , 첸,지안 , 야유브,모하매드 , 파크,헤웅랙 , 라일리,패트릭 , 샤이크,샤히드 , 김,복헌 , 스타릭,세르게이
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/683 , H01L21/66 , G01B11/06
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45565 , C23C16/4557 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/50 , C23C16/505 , C23C16/509 , C23C16/5096 , G01B11/0625 , G01B11/0683 , G01N21/55 , G01N21/658 , G01N2201/1222 , H01L21/00 , H01L21/67248 , H01L21/67253 , H01L21/687
摘要： PECVD 프로세스에따라기판을프로세싱하는장치및 방법이설명된다. 기판에걸친증착레이트프로파일을변화시키기위해, 기판의온도프로파일이조정된다. 기판에걸친증착레이트프로파일을변화시키기위해, 플라즈마밀도프로파일이조정된다. 챔버표면들상의저품질증착들의형성을감소시키고, 플라즈마밀도균일성을개선하기위해, 플라즈마에노출된챔버표면들이가열된다. 증착프로세스의진행을모니터링하고, 기판온도프로파일, 플라즈마밀도프로파일, 압력, 온도, 및반응물들의유동을수반하는제어액션(action)들을트리거링(trigger)하기위해, 인시튜(in situ) 계측이사용될수 있다.
摘要翻译：描述了根据PECVD处理基板的设备和方法。为了改变衬底上的沉积速率分布，调整衬底的温度分布。为了改变衬底上的沉积速率分布，调整等离子体密度分布。为了减少室表面上低质量沉积物的形成并改善等离子体密度均匀性，暴露于等离子体的室表面被加热。为了控制的动作（动作）来监视沉积过程的进展，并且涉及的基板的温度分布，等离子体密度分布，压力，温度的流动，并且反应被触发（触发），原位（在现场）测量这可以用于有。

67. 发明公开

KR1020170100360A 진직도 측정 장치 및 방법 有权
标题翻译：直线度测量装置和方法
公开(公告)号：KR1020170100360A
公开(公告)日：2017-09-04
申请号：KR1020160022834
申请日：2016-02-25
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 허진
IPC分类号： G01B11/04 , G01B11/10 , G01B11/06 , B23K26/03 , B23Q17/24
CPC分类号： B23K26/03 , B23Q17/24 , G01B11/04 , G01B11/06 , G01B11/10
摘要： 직진도측정장치및 방법이개시된다. 개시된직진도측정방법은상기대상물의가공방향을따라촬영위치를변화시키면서대상물에표시된참조라인의촬영이미지를획득하는단계및 상기촬영이미지에나타난상기참조라인의위치로부터상기가공방향의진직도를측정하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种直线度测量设备和方法。公开的直线度测量方法而改变沿所述物体的加工方向上的记录位置，以测量来自在步骤中示出的基准线的位置的直线，并且将所捕获的图像以得到在处理方向的对象二进制所示的参考线的记录图像和的步骤。

68. 发明授权

KR101762364B1 복합 표면파 탐사형 상시 모니터링 방법 有权
标题翻译：复杂表面波型的监测方法
公开(公告)号：KR101762364B1
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：KR1020160023223
申请日：2016-02-26
申请人： 지오텍컨설탄트 주식회사
发明人： 원경식 , 이영동 , 배형섭
IPC分类号： G01B7/16 , G06Q50/10 , G01M7/02 , G01B11/06 , G01M5/00 , H02J7/35 , H02S40/38 , G01R23/16
摘要： 본발명은복합표면파탐사형상시모니터링시스템과그 모니터링방법을개시한것으로, 이러한본 발명은능동형(active) 및수동형(passive)의표면파탐사를함께이용하는복합탐사를통해감시대상물(levee body)에대한탐사심도를증대시키면서감시대상물의강성변화를상시또는주기적으로모니터링하는시스템이며, 이에따라댐 및저수지등의제체(levee body)와같은감시대상물의안정성위험도를용이하게파악할수 있도록하고, 감시대상물의노후화및 지진이나집중호우등과같은자연재해로인해누수또는붕괴사고등의문제를사전에예방하면서, 탐사진행시의인적, 경제적효율성을높인것이다.
摘要翻译：本发明的勘探公开了一种复合波勘探形状当监控系统和监控方法hangeoteuro，本发明是使用的表面波勘探通过复合感测监控的对象（堤体）活动（active）和被动（无源）与增加景深，而对于通过不断地或周期性地，水坝和水库，如堤岸（堤坝体）监测所述对象的yiettara老化监测在监测对象的刚度变化，监测对象和可靠性的系统可以很容易地确定风险，如和它将在勘探过程中提高人类和经济效率，同时防止诸如地震和暴雨等自然灾害造成的泄漏或倒塌等问题。

69. 发明授权

KR101745117B1 고정확도 광전기 유리 기판 실시간 감별 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：高精度光电玻璃基板实时识别装置及其方法
公开(公告)号：KR101745117B1
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：KR1020150106220
申请日：2015-07-28
申请人： 쿠오, 타-젠
发明人： 쿠오,타-젠 , 차이,론
IPC分类号： G01B11/06 , G01M11/02
CPC分类号： G06T7/0004 , G06T7/0006 , G06T7/70 , G06T2207/30121 , G06T2207/30148
摘要： 본발명은, 레이저빛을발사하는레이저장치와, 제1표면및 제2표면을구비하고, 상기레이저빛을수신하여제1레이저빔 포인트및 제2레이저빔 포인트를발생하는유리기판및 감광결합소자카메라검사기기를포함하고, 상기제1레이저빔 포인트는제1포인트면적을구비하고, 상기제2레이저빔 포인트는제2포인트면적을구비하며, 상기제1포인트면적이유리간격값만큼이동하여상기제2포인트면적과대향된후, 상기감광결합소자카메라검사기기는해상도값 및상기유리간격값에의해상기유리기판의두께값을획득하는고정확도광전기유리기판실시간감별장치를제공하고, 또한본 발명은고정확도광전기유리기판실시간감별방법을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及用于发射激光的激光装置，具有第一表面和第二表面并接收激光以产生第一激光束点和第二激光束点的玻璃基板，其中第一激光束点具有第一点区域且第二激光束点具有第二点区域并且通过第一点区域yull区间值移动，点装置中，感光耦合元件照相机检查装置通过分辨率值和玻璃间隔值来获得玻璃基板的厚度值，并且本发明还提供了一种高精度光电耦合元件照相机检查装置，准确度为光电玻璃基板提供实时辨别方法。

70. 发明公开

KR1020170056728A L(Lindenmayer) 시스템과 이미지 및 빔 척도를 이용한 작물체 초장 및 생육량 측정 시스템 有权
标题翻译：植物高度和生长测量系统使用L（Lindenmayer）系统和图像和光束尺度
公开(公告)号：KR1020170056728A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：KR1020150159351
申请日：2015-11-13
申请人： 사단법인 한국온실작물연구소 , 대한민국(농촌진흥청장)
发明人： 서범석 , 김찬우 , 이재한 , 여경환 , 박경섭 , 최효길
IPC分类号： G01N21/84 , G01B11/00 , G01B11/02 , G01B11/06 , G01F17/00 , G01N33/00 , G06T7/00 , G06T7/60 , G06F17/10 , G08C17/02
摘要： 본발명은다수의빔 관통객체가격자형상으로인접격자간 정형화된설정간격에따라구성한빔 모듈을구비하고, 작물체로빔을발생, 송출하는빔(beam) 모듈부, 상기작물체이미지를촬영하고, 상기촬영된작물체로부터투사되어나온격자형상의척도기준영상에서상기인접격자간 간격정보를기반으로작물체마디길이와엽의두께, 엽면적을포함한설정작물체구성요소의수치를산출하는이미지센싱부, 상기작물체절간장(마디) 길이(SnL) 기반의 [식 1]([식 1] : 초장 = SnL1 + SnL2, ... , SnLN-1, SnLN)로초장을산출하고, 작물체의각 절간장(마디) 경경을합산하여총 경경을산출해서절간장수로나누어작물체평균경경을산출하는산출모듈, 상기산출된평균경경을 2등분하고제곱하여파이를승산하여줄기부피를산출하고, 상기엽의두께와엽면적을승산하여엽부피를산출하며, 상기산출된엽부피와줄기부피의값을승산하여생육량정보를획득하는생육량산출모듈및, 상기각 부를제어하고, 상기생육량산출모듈의생육량정보를제공처리하는제어부를포함하는 L(Lindenmayer) 시스템과이미지및 빔척도를이용한작물체초장및 생육량측정시스템에관한것으로, 작물체의엽장, 엽폭및 경경등의측정데이터를활용하여작물의생육량을분석하고, 그리고, 그작물의경경분석은작물의생육상태파악에지속적인역할과관리에과학적영농방법을제시한다.
摘要翻译：本发明包括根据通过所述栅格之间邻近于产生光束以jakmulche，和记录光束（光束）模块部分中的对象的价格形结构化的一组距离和所述多个光束构成的光束模块中，待发送的jakmulche图像，的是从由格子状的图像的参考图像规模记录jakmulche投射用于计算该组jakmulche组件，包括jakmulche字长度和叶片厚度，叶面积的值的基础上，相邻的格栅间距信息传感单元，所述jakmulche 根据公式（1）（[公式1]：植物长度= SnL1 + SnL2，...，SnLN-1，SnLN）计算植物长度，通过在总干直径计算节段性jangsuro除以求和到2向上和由馅饼计算模块相乘的平方，计算出平均茎直径，以产生jakmulche平均茎直径计算茎体积，并且瓣叶面积的厚度乘以计算叶片体积并进行计算 Saengyukryang计算模块和控制和，L（Lindenmayer），以用于处理的控制单元的各部分提供了saengyukryang计算模块系统和所述图像和所述梁式天平相乘的体积的值和所述干体积获得saengyukryang信息的saengyukryang信息本发明涉及jakmulche株高和saengyukryang系统中使用的，闪烁利用所述测量数据，如叶长，叶宽的分析和茎jakmulche的直径分析农作物的saengyukryang，然后将作物继续作用，以确定作物的生长状态，且提供科学的农业管理方法。

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