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61. 发明公开

KR1020140079183A 선택적 박리 및 전사 장치 및 방법 有权
标题翻译：选择性透射和转印装置和薄膜装置的方法
公开(公告)号：KR1020140079183A
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：KR1020120148852
申请日：2012-12-18
申请人： 한국기계연구원
发明人： 임형준 , 김재현 , 이학주 , 최병익 , 이재종 , 최기봉 , 김기홍
IPC分类号： H01L25/065 , H01L25/07
CPC分类号： H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2924/00014
摘要： The present invention relates to an apparatus for selective exfoliation and transfer and a method thereof. The present invention is to provide the apparatus for selective exfoliation and transfer and a method thereof capable of: selectively exfoliating a portion of high performance devices existing in a wafer substrate and transferring the same to a flexible substrate; exfoliating the entire high performance devices existing in the wafer substrate and transferring selectively a portion of the same to the flexible substrate; or exfoliating a portion of the high performance devices existing in the wafer substrate and transferring selectively a portion of the same to the flexible substrate.
摘要翻译：本发明涉及一种选择性剥离和转移装置及其方法。本发明提供选择性剥离和转移装置及其方法，其可以选择性地剥离晶片衬底中存在的高性能器件的一部分并将其转移到柔性衬底; 剥离存在于晶片衬底中的整个高性能器件，并将其部分选择性地转移到柔性衬底; 或剥离存在于晶片衬底中的一部分高性能器件，并将其一部分选择性地转移到柔性衬底。

62. 发明授权

KR101373728B1 초소수성 나노구조체 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：超疏水纳米结构及其制备方法
公开(公告)号：KR101373728B1
公开(公告)日：2014-03-13
申请号：KR1020110130706
申请日：2011-12-08
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이승모 , 김재현 , 이학주
IPC分类号： B82B1/00 , B82B3/00 , B82Y40/00
摘要： 본 발명은 초소수성 나노구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게, 장축 방향에 따라 불규칙하게 휘어진 굴곡진 구리 나노선을 포함하는 초소수성 나노구조체 및 a) 산화분위기에서 구리를 열산화시켜 구리산화물 나노선을 형성하는 산화단계; 및 b) 환원분위기에서 상기 구리산화물 나노선을 열환원시켜 초소수성 나노구조체를 형성하는 환원단계;를 포함하는 초소수성 나노구조체의 제조방법에 관한 것이다.

63. 发明授权

KR101263486B1 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치 有权
标题翻译：用于使用辊到辊的方法和感应加热连续地合成石墨的装置
公开(公告)号：KR101263486B1
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：KR1020120101058
申请日：2012-09-12
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김상민 , 이학주 , 김재현 , 장봉균 , 김경식 , 오충석 , 맥이사알렉산더 , 최병익
IPC分类号： B41M5/10 , B41M5/03 , B82B3/00
CPC分类号： B41M5/10 , B41M5/03 , B82B3/00
摘要： PURPOSE: An apparatus for continuously synthesizing graphene with a roll-to-roll method using induction heating is provided to quickly apply or remove heat energy required for synthesizing graphene, thereby synthesizing the graphene at a high speed. CONSTITUTION: An apparatus for continuously synthesizing graphene with a roll-to-roll method using induction heating comprises a main chamber(100), a feeding roll(200), a recovering roll(300), an inductor(400), a gas feeding part(500), a gas discharging part(600), and a limit sensor. The main chamber, the feeding roll, and the recovering roll are vertically formed. The feeding roll is formed at the upper side of the main chamber, and the recovering roll is formed at the lower side of the main chamber. The recovering roll is horizontally separated from a vertically discharged substrate at a certain distance. The limit sensor is formed at the lower side of the substrate wound on the recovering roll.
摘要翻译：目的：提供使用感应加热以卷对卷方式连续合成石墨烯的装置，以快速施加或去除合成石墨烯所需的热能，从而高速合成石墨烯。构成：使用感应加热以卷对卷方式连续合成石墨烯的装置包括主室（100），进料辊（200），回收辊（300），电感器（400），气体供给部件（500），气体排出部（600）和限位传感器。主室，进料辊和回收辊是垂直形成的。馈送辊形成在主室的上侧，回收辊形成在主室的下侧。回收辊在垂直放电的基板上以一定距离水平分离。极限传感器形成在缠绕在回收辊上的基板的下侧。

64. 发明授权

KR101168259B1 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치 有权
标题翻译：使用滚筒至滚筒工艺连续成像的装置
公开(公告)号：KR101168259B1
公开(公告)日：2012-07-30
申请号：KR1020120022102
申请日：2012-03-05
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김상민 , 이학주 , 김재현 , 김경식 , 이승모 , 장봉균 , 황보윤 , 김광섭 , 최현주 , 오충석
IPC分类号： C01B31/02 , B41M5/03 , B41M5/10 , B01J19/18
CPC分类号： C01B32/184 , B01J3/03 , B01J19/1818 , B41M5/03 , B41M5/10
摘要： PURPOSE: An apparatus for continuously synthesizing graphene based on a roll-to-roll process is provided to improve the productivity of graphene synthesis by rapidly applying and eliminating thermal energy required for the graphene synthesis. CONSTITUTION: An apparatus for continuously synthesizing graphene includes a chamber(100), a supplying roll(200), a collecting roll(300), a heating part(400), a gas supplying part(500), and a gas discharging part(600). The chamber is sealed from outside. The supplying roll and the collecting roll are arranged in the chamber. Both end parts of a substrate is in connection with the supplying roll and the collecting roll and wound around the rolls. The heating part is arranged in the chamber and heats the substrate. The gas supplying part supplies carbon-containing gas into the chamber. The gas discharging part discharges gas from the chamber. Cooling units are formed at the supplying roll and the collecting roll.
摘要翻译：目的：提供一种基于卷对卷方法连续合成石墨烯的设备，通过快速应用和消除石墨烯合成所需的热能来提高石墨烯合成的生产率。构成：用于连续合成石墨烯的设备包括室（100），供应辊（200），收集辊（300），加热部分（400），气体供应部分（500）和气体排出部分 600）。该室从外部密封。供应辊和收集辊布置在室中。基片的两个端部与供给辊和收集辊连接并卷绕在辊上。加热部件设置在室内并加热基板。气体供给部将含有气体的气体供给到室内。气体排出部从室排出气体。在供给辊和收集辊上形成冷却单元。

65. 发明授权

KR101063409B1 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：纳米印花印花及其制造方法
公开(公告)号：KR101063409B1
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：KR1020100133924
申请日：2010-12-23
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김광섭 , 김재현 , 이학주 , 장호욱 , 안종현
IPC分类号： B29C33/42 , B29C33/38 , B82B3/00
CPC分类号： B29C33/424 , B29C33/38 , B29C59/022 , B29C2033/426 , B29K2905/00 , B29K2907/04 , B29K2909/02
摘要： 본 발명은 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 스탬프 표면에 그래핀 박막층을 형성시켜 레진과의 이형 특성이 향상된 나노 임프린트용 스탬프를 제작하는 나노 임프린트용 스탬프 및 이 나노 임프린트용 스탬프의 제조 방법에 대한 것이다.
본 발명에 따르면, 그래핀 박막층을 사용함으로써 이형 특성이 우수하고 저렴한 비용의 나노임프린트 리소그래피용 스탬프 제조가 가능하다.
또한, 본 발명의 다른 효과로서는 소정 두께의 그래핀 박막층을 스탬프 표면에 코팅함으로써 패터닝 공정 및/또는 2회 증착 공정이 필요하지 않다는 점을 들 수 있다.

66. 发明授权

KR101045102B1 점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척 有权
标题翻译：主动式可拆卸聚合物卡盘，可控制胶粘力
公开(公告)号：KR101045102B1
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020100085032
申请日：2010-08-31
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재현 , 장봉균 , 김광섭 , 최현주 , 이학주
IPC分类号： H05K13/04 , H01L21/677 , B65G49/07 , C08L83/04
CPC分类号： H05K13/046 , C08L83/04 , H01L21/6835 , H01L21/68714 , H05K13/0469
摘要： PURPOSE: A chuck for actively attaching/detaching polymer is provided to actively control the strength of an adhesive force, thereby shortening transfer time and process time. CONSTITUTION: A chuck(10) transfers a device(30) formed on a substrate(20). Fibers are arranged in a body in a specific direction. The body includes polymer with low elasticity such as PDMS(Poly DiMethyl Siloxane), silicon rubber, and butyl rubber. The chuck has anisotropy. The fiber has an elastic coefficient which is between 1GPa and 2TPa.
摘要翻译：目的：提供一种用于主动安装/分离聚合物的卡盘，以主动控制粘合力的强度，从而缩短传输时间和加工时间。构成：卡盘（10）传送形成在基板（20）上的装置（30）。纤维沿特定方向排列在身体中。身体包括低弹性聚合物，如PDMS（聚二甲基硅氧烷），硅橡胶和丁基橡胶。卡盘具有各向异性。纤维的弹性系数在1GPa和2TPa之间。

67. 发明授权

KR100968195B1 도금 장비용 웨이퍼 지그 有权
标题翻译：用于电镀设备的晶圆夹具
公开(公告)号：KR100968195B1
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：KR1020080049052
申请日：2008-05-27
申请人： 한국기계연구원 , 재단법인 서울테크노파크
发明人： 한승우 , 박현성 , 김재현 , 김성동 , 안효석 , 장동영
IPC分类号： C25D17/06 , C25D17/00 , H01L21/68
摘要： 본 발명은 볼트 체결없이 회전을 통해 결합되는 체결 수단을 이용하여 헤드와 커버를 결합시킴으로써 조립이 용이하도록 하는 도금 장비용 웨이퍼 지그에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 도금 장비용 웨이퍼 지그는, 원형의 헤드와, 상기 원형 헤드 상부에 장착되는 원형의 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상부에 구비되는 링형 플레이트와, 상기 링형 플레이트 상부에 삽입되며 웨이퍼에 대응되는 형상을 가지는 더미 플레이트와, 상기 헤드와 결합되며 웨이퍼를 노출시키는 개방부가 형성된 원형 커버와, 상기 베이스 플레이트의 전면 둘레와 상기 커버 사이를 밀봉하는 제 1 실링부재와, 상기 커버의 개방부 내측 둘레와 웨이퍼의 전면 둘레 전면 사이를 밀봉하는 제 2 실링부재와, 상기 웨이퍼와 링형 플레이트 경계부에 접촉되는 다수의 전극핀을 포함하는 도금 장비용 웨이퍼 지그에 있어서, 상기 원형의 커버 하부에는 내측 방향으로 돌출되며 상부면이 일방향으로 상향 경사진 다수의 돌출턱이 형성되고, 상기 돌출턱의 경사 방향과 반대 방향으로 상향 경사지고 회전을 통해 상기 돌출턱에 결합되는 다수의 체결턱이 둘레에 형성된 체결부재를 포함한다.
도금 장비, 웨이퍼, 지그, 실링, 체결부재
摘要翻译：本发明涉及一种用于电镀机的晶片夹具，其有助于通过使用通过旋转连接而不用螺栓连接的紧固装置连接头部和盖来进行组装。

68. 发明公开

KR1020100037476A 계층화 구조물 제조 장치 有权
标题翻译：制造分层结构的装置
公开(公告)号：KR1020100037476A
公开(公告)日：2010-04-09
申请号：KR1020080096815
申请日：2008-10-01
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재현 , 이학주 , 현승민 , 한승우 , 최병익
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6836 , B29C47/067 , B29C2043/463 , H01L24/80 , H01L24/83 , H01L24/95 , H01L25/0652 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368 , H01L2224/27312 , H01L2224/7565 , H01L2224/83192 , H01L2224/838 , H01L2224/95145 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01057 , H01L2924/01082 , H01L2924/1461 , Y10T156/1195 , Y10T156/1705 , Y10T156/1744 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: An apparatus for manufacturing a hierarchical structure is provided to produce flexible hierarchical structures by arranging and stacking a silicon semiconductor, a compound semiconductor and a nano structure on a flexible target substrate. CONSTITUTION: A transfer stage(110) horizontally transfers a dummy substrate(DS). A main roller(120) stacks the fine unit(U) of the dummy substrate on a target substrate. A adhesion process unit(130) adheres the target substrate to the fine unit. The adhesion between the target substrate and the fine unit is stronger than the adhesion between the dummy substrate and the fine unit. The adhesion process unit uses a self-assembled monolayer.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造分级结构的装置，以通过在柔性靶基板上布置和层叠硅半导体，化合物半导体和纳米结构来产生柔性分层结构。构成：传送台（110）水平传送虚拟衬底（DS）。主辊（120）将虚设基板的精细单元（U）堆叠在目标基板上。粘合处理单元（130）将目标基板粘合到精细单元。目标基板和精细单元之间的粘附力比虚设基板和精细单元之间的粘合强。粘合处理单元使用自组装单层。

69. 发明授权

KR100927705B1 미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법 失效
标题翻译：美容美发 - 변형률관계측정방법
公开(公告)号：KR100927705B1
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：KR1020080038217
申请日：2008-04-24
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재현 , 이학주 , 박정민 , 최병익
IPC分类号： G01L1/00 , G01L1/24 , G01L1/14
摘要： PURPOSE: A method of extracting stress-strain relation of micro/nano scale structure is provided to amend an error in the measuring of mechanical property. CONSTITUTION: Load and displacement of a microstructure are experimentally measured. An entry value of a stress-strain is assumed using the measured load and the displacement. The load and displacement are calculated by analyzing a finite-element based on the entry value of the supposed stress-strain. The stress-strain relation is revised using a following equation if it exceeds a preset error range that the load and displacement computed based on the finite-element and the load and displacement experimentally measured. The load and displacement are calculated by a analyzing the finite-element based on revised stress-strain relation.
摘要翻译：目的：提出一种提取微米/纳米尺度结构应力 - 应变关系的方法，以修正力学性能测量误差。构成：通过实验测量微结构的载荷和位移。使用测量的载荷和位移来假定应力应变的输入值。通过分析基于所假设的应力应变的输入值的有限元来计算载荷和位移。如果超过预设的误差范围，根据有限元计算的载荷和位移以及经实验测量的载荷和位移，则使用以下公式修正应力 - 应变关系。通过基于修正的应力 - 应变关系分析有限元来计算载荷和位移。

70. 发明公开

KR1020090011206A 동심원 좌굴을 이용한 수직형 프로브 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：基于集中挖掘的垂直探头及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090011206A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074570
申请日：2007-07-25
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재현 , 이학주 , 김정엽 , 최병익 , 한승우 , 현승민
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07357 , G01R1/06733 , G01R1/06738 , G01R3/00 , G01R31/2601
摘要： A concentric buckling based vertical probe and a manufacturing method thereof are provided to simplify manufacturing process by using a vertical probe of concentric circle shape. A vertical probe(10) tests normal operation of a semiconductor device by supplying an electric signal, and has one or more cylinder type structures. When a load is supplied into a longitudinal direction, a concentric buckling is occurred. The probe is formed on a probe card(C). The cylinder type structure is a hollow cylindrical body. A plurality of hollow cylindrical bodies is arranged with regular interval. Each hollow cylindrical body has a fixed thickness.
摘要翻译：提供了一种基于同心屈曲的垂直探针及其制造方法，以通过使用同心圆形的垂直探针来简化制造过程。垂直探针（10）通过提供电信号来测试半导体器件的正常工作，并具有一个或多个圆筒型结构。当沿长度方向供给负载时，产生同心的弯曲。探针形成在探针卡（C）上。圆筒型结构是中空圆柱体。多个中空圆柱体以规则的间隔布置。每个中空圆柱体具有固定的厚度。

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