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1. 发明授权

KR102213853B1 선형운동 변환장치 有权
公开(公告)号：KR102213853B1
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020190052443
申请日：2019-05-03
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최기봉 , 이재종 , 김기홍 , 임형준 , 권순근
IPC分类号： F16H19/06 , F16H19/00 , F16H15/20
摘要： 본발명의일실시예는소형화및 정확한위치제어가가능한탄성힌지유닛및 탄성힌지유닛을이용한선형운동변환장치를제공한다. 여기서, 탄성힌지유닛은제1중심부, 제1탄성부, 제2중심부, 제2탄성부그리고연결부를포함한다. 제1중심부및 제2중심부는가상의회전중심축상에구비된다. 제1탄성부는제1중심부에결합되고, 회전중심축을기준으로반경방향으로연장되되서로교차하는방향으로구비되는복수의탄성암을가진다. 제2탄성부는제2중심부에결합되고, 제1탄성부에대응되도록형성되며회전중심축방향을따라제1탄성부와이격되게배치된다. 연결부는제1탄성부의단부와제2탄성부의단부를연결한다. 제1중심부및 제2중심부가서로멀어지도록이동하면제1탄성부및 제2탄성부는탄성변형하여제1중심부및 제2중심부가서로가까워지도록탄성복원력을발생한다.

2. 发明授权

KR102152463B1 패턴묘화장치 및 이를 이용한 패턴묘화방법 有权
公开(公告)号：KR102152463B1
公开(公告)日：2020-09-07
申请号：KR1020190065269
申请日：2019-06-03
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 최기봉 , 임형준 , 권순근 , 이재종
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/00 , G03F7/16

3. 发明授权

KR102068574B1 나노 임프린팅용 대면적 스탬프 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102068574B1
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：KR1020180061213
申请日：2018-05-29
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 이재종 , 최기봉 , 임형준 , 권순근 , 김영진
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027

4. 发明授权

KR101913783B1 금속와이어 공급장치 有权
公开(公告)号：KR101913783B1
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：KR1020170024814
申请日：2017-02-24
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최기봉 , 김재구 , 이창우 , 이재종 , 임형준 , 김기홍 , 권순근
IPC分类号： B21F23/00 , B21F1/02 , B22F3/105 , B33Y40/00
摘要： 본발명의일실시예는직진교정이더욱효과적으로이루어질수 있는금속와이어공급장치를제공한다. 여기서, 금속와이어공급장치는제1클램퍼, 제1구동부, 제2구동부, 제2클램퍼, 제3구동부그리고제4구동부를포함한다. 제1클램퍼는금속와이어를미리정해진길이만큼선접촉가압하여 1차로직진도를부여하도록한 쌍으로이루어질수 있다. 제1구동부는제1클램퍼가제1방향으로왕복이동하여금속와이어를선택적으로가압하도록동력을제공한다. 제2구동부는금속와이어를가압한제1클램퍼및 제1구동부가금속와이어의공급방향으로이동하도록선택적으로동력을제공하여금속와이어를공급시킨다. 제2클램퍼는금속와이어의공급방향을따라제1클램퍼로부터이격되게배치되고, 1차로직진도가부여된금속와이어를미리정해진길이만큼선접촉가압하여 2차로직진도를부여하도록한 쌍으로구비된다. 제3구동부는제2클램퍼가제1방향과교차하는제2방향으로왕복이동하여금속와이어를선택적으로가압하도록동력을제공한다. 그리고, 제4구동부는금속와이어를가압한제2클램퍼및 제3구동부가공급방향으로이동하도록선택적으로동력을제공하여금속와이어를공급시킨다.

5. 发明公开

KR1020180072907A 탭핑 패터닝 장치 및 이를 이용한 탭핑 패터닝 방법 有权
公开(公告)号：KR1020180072907A
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020160175633
申请日：2016-12-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 임형준 , 권순근 , 최기봉 , 이재종
IPC分类号： G03F7/00 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/66 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/0002 , G03F7/0032 , G03F7/2004 , G03F7/202 , G03F7/70483 , G03F9/7061 , H01L21/0274 , H01L22/12
摘要： 본발명은기판에회로패턴을형성하기위한탭핑패터닝장치및 이를이용한탭핑패터닝방법에관한것이다. 본발명의탭핑패터닝장치는탐침부와, 센서부와, 승강구동부를포함하고, 전압발생부를더 포함할수 있으며, 본발명의탭핑패터닝방법은탐침부배치단계와, 센싱단계와, 탐침부접촉단계와, 경화단계를포함하고, 탐침부접근단계와, 전기장형성단계를더 포함할수 있다. 본발명의탭핑패터닝장치및 이를이용한탭핑패터닝방법은팁면이접촉된레지스트층의패터닝지점에는단위패턴과반대되는형상의복제패턴이형성되거나, 팁면과마주보는레지스트층의패터닝지점이전기장의영향을받아유동되면서단위패턴과대칭되는형상의복제패턴을형성할수 있다.

6. 发明公开

KR20180012963A 초점위치 오차 검출 장치 및 방법 有权
标题翻译：聚焦误差检测装置及其方法
公开(公告)号：KR20180012963A
公开(公告)日：2018-02-07
申请号：KR20160095907
申请日：2016-07-28
申请人： 한국기계연구원
发明人： 임형준 , 김기홍 , 최기봉 , 이재종 , 권순근
IPC分类号： G02B27/00 , G02B7/09
CPC分类号： G02B27/0068 , G02B7/09 , G02B27/005 , G02B27/30
摘要： 본발명은초점위치오차검출장치및 방법에관한것으로, 더욱상세하게광을집광하여측정또는공정을수행하는광학시스템에있어, 초점의위치를측정하거나, 시편의표면에정확히맺히도록하기위한초점위치오차검출장치및 방법에관한것이다. 특히. 본발명에서는두 가지광학계를통합하여각각의검출소자에도달하도록하는빛의세기를제2빔스플리터를통하여조절하도록함으로써, 좁은선형구간과넓은유효구간을동시에얻을수 있도록한다.
摘要翻译：本发明是焦点位置是错误检测装置和方法上，在光学系统中用于执行测量或过程，更具体地，涉及聚集光，测量所述焦点的位置，或聚焦这么精确maethi试样，其中的表面上以及一种错误检测设备和方法。特别。在本发明中，使得两个由光学系统通过第二分束器，调整光的强度，以达到各自的检测元件集成在一起，得到较窄的线性区域，并在同一时间具有大的有效截面。

7. 发明授权

KR101688457B1 마이크로 렌즈를 이용한 레이저 직접 묘화 장치 有权
标题翻译：激光直写式装置采用微透镜
公开(公告)号：KR101688457B1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：KR1020150141296
申请日：2015-10-08
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 이재종 , 최기봉 , 임형준 , 권순근
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 본발명의레이저직접묘화장치는감광액이도포된기판; 레이저를조사하는레이저발생부; 상기레이저발생부로부터조사되는레이저의경로상에배치되며, 다수개의마이크로렌즈가형성되는마이크로렌즈어레이; 상기마이크로렌즈어레이및 기판사이에배치되며, 상기마이크로렌즈어레이를통과한다수개의레이저가집광되어상호간섭이일어나게하는집광렌즈; 및상기집광렌즈및 기판사이에배치되며, 상기집광렌즈를통과한레이저의간섭현상이발생하는집광영역에서 1개의특정빔을필터링하는필터링윈도우; 를포함하여형성되는것을특징으로한다. 이에따라, 본발명은레이저직접묘화공정에활용될수 있는광점의크기를획기적으로줄임으로써, 기존방법보다더욱미세한패턴을정확하게제작할수 있다는장점이있다.

8. 发明授权

KR101650335B1 압전구동 메커니즘 및 이를 포함하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지 有权
标题翻译： 3压电驱动机构和Flexure铰链式压电驱动精细级，用于垂直平面3自由度运动，具有相同的负载能力
公开(公告)号：KR101650335B1
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020140190129
申请日：2014-12-26
申请人： 한국기계연구원
发明人： 최기봉 , 이재종 , 김기홍 , 임형준
IPC分类号： H02N2/02 , H02N2/00
摘要： 본발명은압전구동메커니즘및 고하중용 3축미세수직평면운동압전구동스테이지에관한것으로서, 지지부에탄성링크로운동단이연결되고, 상기운동부에탄성링크로최종단이연결되어, 상기운동단과최종단은서로직교하는방향으로이동가능하도록형성되며, 상기운동단과지지부사이에압전액추에이터가개재되는한 쌍의압전구동부를포함하여이루어지며, 상기한 쌍의압전구동부는이격되어적층되며평면상에서서로직교하도록배치되고, 상기한 쌍의압전구동부들의최종단에는회전관절의양단이결합되도록구성되는압전구동메커니즘이중심을기준으로 3개가서로 120도간격으로이격되어배치되고, 상기압전구동메커니즘들의회전관절에결합되어상기 3개의압전구동메커니즘들사이에플랫폼이배치되며, 상기압전구동메커니즘들이지지부가베이스에고정되어수직으로배치되도록 3축미세수직평면운동압전구동스테이지가형성됨으로써, 탄성링크및 압전액추에이터에가해지는하중이고르게분산되어압전액추에이터의구동에의해수직평면상에서평판플랫폼이원활하게병진운동과회전운동을할 수있는압전구동메커니즘및 고하중용 3축미세수직평면운동압전구동스테이지에관한것이다.

9. 发明授权

KR101551772B1 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：替代印刷机及其制造方法
公开(公告)号：KR101551772B1
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：KR1020140060666
申请日：2014-05-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 임형준 , 이재종 , 최기봉
IPC分类号： B29C33/38 , B29C59/02
CPC分类号： B29C33/38 , B29C59/022 , B29C2033/426 , B29K2023/06 , B29K2067/003
摘要： 본 발명은 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 유리 기판과, 중간층과, 마스터 스탬프의 패턴이 복제되는 패턴층을 포함하여 형성되는 SCIL(Substrate Conformal Imprinting Lithography) 공정용 레플리카 스탬프에 있어서, 유리 기판의 타측면에 보호 필름이 부착됨으로써, 유리 기판의 인장 강도는 유지하면서 유연성을 향상시키고, 이를 통해 SCIL 공정 인자의영향도를 완화시켜 SCIL 공정의 성공률을 높이는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于基板保形印刷光刻（SCIL）工艺及其制造方法的复制印模，更具体地说，涉及用于SCIL工艺的复制印模及其制造方法，涉及用于SCIL工艺的复制印模通过包括玻璃基板，中间层和用主印模图案复制的图案层而形成。复制印模在玻璃基板的另一侧附着保护膜，从而提高柔性，同时保持玻璃基板的拉伸强度，并通过减轻SCIL加工因素的影响来提高SCIL加工成功率。

10. 发明授权

KR101487440B1 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 有权
标题翻译：用于辊上线型的直线度测量装置和使用该直线度测量方法
公开(公告)号：KR101487440B1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020130064823
申请日：2013-06-05
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김기홍 , 임형준 , 이재종 , 최기봉
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/24 , H01L21/66
摘要： 본 발명은 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것으로서, 회절격자에서의 레이저 간섭을 이용하여 고분해능으로 롤 표면에 형성된 직선 패턴의 진직도를 측정할 수 있는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.

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