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51. 发明公开

KR1020080033230A 텔레센트릭 축상 암 시야 조명으로 구현된 광학 시스템의 사용과 성능의 최적화 有权
标题翻译：光电系统的优化使用和性能实现与电场在线场景照明
公开(公告)号：KR1020080033230A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020087000133
申请日：2006-07-07
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 볼드윈,레오 , 에머리,조셉,제이.
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/47 , G01N2021/8822 , G02B13/22
摘要： Systems and methods are provided for imaging a planar specular object (102) such as a semiconductor wafer. In one embodiment, an imaging system (100) for imaging a defect on a planar specular object (102) includes a telecentric lens (110) having a sufficiently aspherical surface such that the telecentric lens (110) is substantially corrected for an optical aberration. The imaging system (100) also includes a telecentric stop (116) including an aperture therein to block light reflected from the planar specular object (102) while allowing light reflected from the defect to pass through the aperture. The imaging system (100) further includes a lens group (108) having a system stop positioned between the telecentric stop (116) and the lens group (108). The lens group (108) is substantially corrected for the optical aberration independent of the telecentric lens (110).
摘要翻译：提供了用于对诸如半导体晶片的平面镜面物体（102）进行成像的系统和方法。在一个实施例中，用于对平面镜面物体（102）上的缺陷成像的成像系统（100）包括具有足够非球面的远心透镜（110），使得远心透镜（110）被基本上校正为光学像差。成像系统（100）还包括远心止动件（116），其包括其中的孔，以阻挡从平面镜面物体（102）反射的光，同时允许从缺陷反射的光穿过孔。成像系统（100）还包括具有位于远心止动件（116）和透镜组（108）之间的系统止动件的透镜组（108）。对于与远心透镜（110）无关的光学像差，基本上校正了透镜组（108）。

52. 发明授权

KR100473258B1 프로젝션 줌 렌즈 有权
标题翻译：投影变焦镜头
公开(公告)号：KR100473258B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020023248
申请日：2002-04-27
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 나리마츠슈지
IPC分类号： G02B15/20
CPC分类号： G02B13/22 , G02B13/16 , G02B15/177
摘要： 프로젝션 줌 렌즈는 음의 굴절력을 갖는 제 1 렌즈 군과, 양의 굴절력을 갖는 제 2 렌즈 군과, 음의 굴절력을 갖는 제 3 렌즈 군과, 양의 굴절력을 갖는 제 4 렌즈 군을 포함하며, 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 렌즈 군은 스크린측으로부터 상면(像面)측을 향해 광축을 따라 순차적으로 배열된다. 상기 제 1 및 제 4 렌즈 군은 고정상태로 유지되며, 상기 제 2 및 제 3 렌즈 군은 광축을 따라 이동되어 배율(power)를 리미트 광각 배율로부터 리미트 망원 배율로 변경시킨다. 상기 제 2 렌즈 군은, 스크린측으로부터 상면측을 향해 순차적으로 배열된, 제 2 군-제 1 정(正)렌즈, 상면측에 볼록면을 갖는 제 2 군-제 2 정렌즈와 스크린측에 오목면을 갖는 제 2 군-제 1 부(負)렌즈를 결합함으로써 형성된 제 2 군-제 1 복합 렌즈, 및 제 2 군-제 3 정렌즈를 구비한다. 상기 제 3 렌즈 군은, 스크린측으로부터 상면측을 향해 순차적으로 배열된, 상면측에 오목면을 갖는 제 3 군-제 1 메니스커스 렌즈, 대향하는 오목면을 갖는 제 3 군-제 1 부렌즈와 대향하는 볼록면을 갖는 제 3 군-제 1 정렌즈를 결합함으로써 형성된 제 3 군-제 1 복합 렌즈, 및 상면측에 볼록면을 갖는 제 3 군-제 2 메니스커스 렌즈를 구비한다. 상기 제 1 렌즈 군은 초점 거리(f1)를 가지며, 상기 제 2 군-제 1 정렌즈 및 제 2 군-제 1 복합 렌즈는 상기 초점 거리(f1)와 반대 부호의 합성 초점 거리(f2AB)를 가지며, 상기 초점 거리(f1)와 합성 초점 거리(f2AB)는 부등식: 0.5

53. 发明授权

KR100463479B1 촬영렌즈시스템 失效
公开(公告)号：KR100463479B1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：KR1020020005279
申请日：2002-01-30
申请人： 가시오게산키 가부시키가이샤
发明人： 가와카미에츠로
IPC分类号： G02B13/18
CPC分类号： G02B9/34 , G02B13/0035 , G02B13/006 , G02B13/22
摘要： A photographing lens system includes an aperture stop, a first lens group, a second lens group, and a third lens group, in this order from the object. The first lens group includes a positive first lens element, and a negative second lens element which is cemented to or separate from the positive first lens element. The second lens group only includes a positive third lens element having an aspherical surface formed on at least one refractive surface thereof. The third lens group only includes a negative fourth lens element having an aspherical surface formed on at least one refractive surface thereof.
摘要翻译：摄影镜头系统从物体起依次包括孔径光阑，第一透镜组，第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组包括正的第一透镜元件和与正的第一透镜元件胶合或分离的负的第二透镜元件。第二透镜组仅包括具有形成在其至少一个折射表面上的非球面的正第三透镜元件。第三透镜组仅包括具有在其至少一个折射表面上形成的非球面的负第四透镜元件。

54. 发明授权

KR100387003B1 투영광학시스템,투영노광장치,노광방법,및노광장치제조방법 失效
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR100387003B1
公开(公告)日：2003-08-21
申请号：KR1019950040578
申请日：1995-11-10
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 사사야도시히로 , 우시다가즈오 , 스에나가유타카 , 로메오아이.메르카도
IPC分类号： G03F7/20 , G02B13/24
CPC分类号： G03F7/70241 , G02B9/12 , G02B13/18 , G02B13/22 , G02B13/24
摘要： [과제] 노광 영역이 크고, 해상도가 높으며, 개구수가 큰 투영 광학시스템 및 이것을 구비한 투영 노광 장치를 제공한다.
[해결수단] 투영 광학 시스템은 제 1 물체 R 상의 상을 일정 축소율로 제 2 물체 W 상에 투영한다. 투영 광학 시스템은 상기 제 1 물체 R의 측면에서 보아 차례로 정의 굴절력을 갖는 제 1 렌즈 그룹과, 실질적으로 어포컬 시스템으로 되는 제 2 렌즈 그룹과, 정의 굴절력을 갖는 제 3 렌즈 그룹을 구비한다. 전체 시스템(entire system)의 초점 거리를 F, 투영 광학 시스템의 투영 배율을 B, 상기 제 1 물체와 제 2 물체간의 거리를 L, 상기 투영 광학 시스템의 광축에 대해 평행하고 상기 투영 광학 시스템의 제 2 물체 측으로부터의 광선이 상기 투영 광학 시스템에 사출될 때에 이 사출 광선의 제 1 물체 측에서의 연장선이 광축과 교차하는 점과 상기 제 1 물체면과의 사이의 거리를 e, 상기 투영 광학 시스템을 통해서 오는 거친 상기 사출 광선이 상기 제 1 물체에 도달할 때에 상기 투영 광학 시스템의 광축에서의 상기 제 1 물체 상의 광선이 높이를 h로 하면, 1.8 ≤｜F/(B·L)｜ 및, ｜h/e｜ ≤ 3/1000의 조건을 만족한다. 본 투영 광학 시스템을 구비하는 투영 노광 장치도 제공한다.
摘要翻译：投影光学系统，其将形成在掩模版上的图案的图像投影到基板上，所述投影光学系统以从光掩模的光程顺序投影：具有正折光力的第一组，所述第一组包括至少两个正透镜; 包括至少四个正透镜和至少四个负透镜的第二组; 具有正屈光力的第三组，所述第三组包括至少两个正透镜; 以及包括在所述第一，第二和/或第三组中的至少一个中的至少一个非球面透镜表面。

55. 发明授权

KR100356552B1 단일폴드광학시스템내의빔스플릿터및광학적가변배율방법과시스템 失效
公开(公告)号：KR100356552B1
公开(公告)日：2003-03-15
申请号：KR1019970702808
申请日：1995-10-19
申请人： 울트라테크 인크.
发明人： 마클데이비드에이. , 정완제이.
IPC分类号： G02B15/14
CPC分类号： G03F7/70225 , G02B13/22 , G02B13/26 , G02B15/00 , G02B17/008 , G02B26/0875 , G03F7/70825
摘要： An optical system to project an image from an illuminated object to an image plane with a selected magnification factor. This system includes a lens system having a fixed magnification factor and at least one flat plate that is optically compatible with the lens system and which when bent into a cylindrical shape varies the fixed magnification factor of the lens system along one axis of the image. This variable magnification technique is applicable to all lens system types, including a Wynne Dyson type projection system. In addition, a Wynne Dyson optical projection system that includes an optical block in place of the usual fold prism is discussed. The optical block reduces changes in distortion caused by heat transferred from the reticle. The block permits the inclusion of a dichroic beamsplitter diagonally through the optical block which presents minimal attenuation of the exposure illumination. The beamsplitter reflects a portion of the light returning from the image plane to a conjugate focal plane where alignment between the image and the pattern on the substrate can be viewed with a microscope. Illumination projected through the conjugate image plane permits the pattern on the substrate to be viewed directly without interference from the object pattern.
摘要翻译：一种光学系统，用于以选定的放大倍数将照明对象的图像投影到图像平面。该系统包括具有固定放大系数的透镜系统和与透镜系统光学兼容的至少一个平板，并且当弯曲成圆柱形时，该透镜系统改变透镜系统沿着图像的一个轴的固定放大系数。这种变倍技术适用于所有的镜头系统类型，包括Wynne Dyson型投影系统。此外，还讨论了一个Wynne Dyson光学投影系统，该系统包括一个光学模块来代替通常的折叠棱镜。光学模块减少了由光罩传递的热量引起的变形变化。该块允许对角地穿过光学模块包含二向色分光镜，该光学模块对曝光照明具有最小的衰减。分束器反射从图像平面返回到共轭焦平面的一部分光，其中图像和衬底上的图案之间的对准可以用显微镜观察。通过共轭图像平面投影的照明允许直接观察基板上的图案而不受目标图案的干扰。

56. 发明公开

KR1020020083514A 프로젝션 줌 렌즈 有权
标题翻译：四组投影镜头
公开(公告)号：KR1020020083514A
公开(公告)日：2002-11-02
申请号：KR1020020023248
申请日：2002-04-27
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 나리마츠슈지
IPC分类号： G02B15/20
CPC分类号： G02B13/22 , G02B13/16 , G02B15/177
摘要： PURPOSE: A four-group zoom lens for projection is provided which has a simple construction including a limited number of lenses and is capable of satisfactorily reducing aberrations. CONSTITUTION: A projection zoom lens(2) comprises a first lens group(10) having a negative refracting power, a second lens group(20) having a positive refracting power, a third lens group(30) having a negative refracting power, and a fourth lens group(40) having a positive refracting power. The first, the second, the third and the fourth lens groups are arranged in that order from a screen side toward an image plane side along an optical axis. The first and the fourth lens group are kept stationary, and the second and the third lens groups are movable along the optical axis to vary power from a limit wide angle power toward a limit telephoto power. The second lens group includes a 2nd-group 1st positive lens(21), a 2nd-group 1st compound lens(25) formed by joining a 2nd-group 2nd positive lens(22) having a convex surface on the image plane side and a 2nd-group 1st negative lens(23) having a concave surface on the screen side, and a 2nd-group 3rd positive lens arranged in that order from the screen side toward the image plane side. The third lens group includes a 3rd-group 1st meniscus lens(31) having a concave surface on the image plane, a 3rd-group 1st compound lens(35) formed by joining a 3rd-group 1st negative lens(32) having opposite concave surfaces and a 3rd-group 1st positive lens(33) having opposite convex surfaces, and a 3rd-group 2nd meniscus lens(34) having a convex surface on the image plane side arranged in that order from the screen side toward the image plane side. The first lens group has a focal length f1, and the 2nd-group 1st positive lens and the 2nd-group 1st compound lens have a composite focal length f2AB of a sign opposite to that of the focal length f1, and the focal length f1 and the composite focal length f2AB meet an inequality 0.5
摘要翻译：目的：提供用于投影的四组变焦透镜，其具有包括有限数量的透镜的简单结构，并且能够令人满意地减小像差。构成：投影变焦透镜（2）包括具有负折射力的第一透镜组（10），具有正折射力的第二透镜组（20），具有负折射光焦度的第三透镜组（30），以及具有正折射率的第四透镜组（40）。第一透镜组，第二透镜组，第三透镜组和第四透镜组沿着光轴从屏侧朝向像面侧排列。第一透镜组和第四透镜组保持静止，并且第二和第三透镜组可沿光轴移动，以将功率从极限广角度功率转向极限远摄功率。第二透镜组包括第二组第一正透镜（21），第二组第一复合透镜（25），其通过将在像平面侧具有凸表面的第二组第二正透镜（22）和在屏幕侧具有凹面的第2组第1负透镜（23），以及从屏侧朝向像面侧依次排列的第2组第3正透镜。第三透镜组包括在图像平面上具有凹面的第三组第一弯月透镜（31），通过接合具有相对凹部的第三组第一负透镜（32）形成的第三组第一复合透镜（35）表面和具有相反凸面的第三组第一正透镜（33），以及在从屏幕侧朝向像面侧依次排列的在像面侧具有凸面的第三组第二弯月形透镜（34）。第一透镜组具有焦距f1，第二组第一正透镜和第二组第一复合透镜具有与焦距f1相反的符号的复合焦距f2AB，焦距f1和复合焦距f2AB满足不等式0.5 <（f1 / f2AB）<2.0。

57. 发明公开

KR1020020064179A 촬영렌즈시스템 失效
标题翻译：摄影镜头
公开(公告)号：KR1020020064179A
公开(公告)日：2002-08-07
申请号：KR1020020005279
申请日：2002-01-30
申请人： 가시오게산키 가부시키가이샤
发明人： 가와카미에츠로
IPC分类号： G02B13/18
CPC分类号： G02B9/34 , G02B13/0035 , G02B13/006 , G02B13/22
摘要： PURPOSE: To obtain a compact photographic lens having high resolution and composed of small number of lenses. CONSTITUTION: This photogrpahic lens is composed of an aperture disphragm which is arranged nearest to an object side, and a 1st lens group, a 2nd lens group and a 3rd lens group which are arranged in this order from the objeect side. The 1st lens group is composed of a 1st lens (a positive lens) having positive refractive power and a 2nd lens (a negative lens) constituted to be joined with or separated from the 1st lens and having negative refractive power in this order from the object side. The 2nd lens group is composed only of a 3rd lens being a positive lens, at least one refractive surface of which is made aspherical. The 3rd lens group is composed only of a 4th lens being a negative lens, at least one refractive surface of which is made aspherical.
摘要翻译：目的：获得具有高分辨率并由少量透镜组成的紧凑型摄影镜头。构成：该照相胶片由最靠近物体侧的孔径组合物构成，第一透镜组，第二透镜组和第三透镜组按照该方向依次排列。第一透镜组由具有正折光力的第一透镜（正透镜）和与第一透镜接合或分离并具有负折射光焦度的第二透镜（负透镜）构成，该物镜从物体侧。第二透镜组仅由作为正透镜的第三透镜构成，其至少一个折射表面被制成非球面。第三透镜组仅由作为负透镜的第四透镜构成，其至少一个折射表面被制成非球面。

58. 发明授权

KR1019910006840B1 화면치수가 큰 텔레센트릭 결상광학계 失效
标题翻译：用于大图像尺寸的电子图像成像光学系统
公开(公告)号：KR1019910006840B1
公开(公告)日：1991-09-06
申请号：KR1019880007804
申请日：1988-06-27
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 와키모토젠지 , 하야시다카히사
IPC分类号： G02B13/22
CPC分类号： G02B13/22
摘要： 내용 없음.

59. 发明授权

KR101874209B1 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치 有权
公开(公告)号：KR101874209B1
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：KR1020160178767
申请日：2016-12-26
申请人： 박종식
发明人： 박종식
IPC分类号： G02B13/22 , G02B3/00 , G01N21/64
CPC分类号： G02B13/22 , G01N21/64 , G02B3/0037
摘要： 본발명은챔버내부에배치된유기발광다이오드의형광패턴을검사하는텔레센트릭광학장치에관한것으로, 더욱상세하게는적어도 10배율을가지며유기발광다이오드의형광패턴을검출하는광학렌즈부와, 상기광학렌즈부를통해서상기유기발광다이오드로자외선광원을공급하는자외선광원부및 상기광학렌즈부의내부에상기자외선광원부로부터출력되는자외선광원이상기광학렌즈부의중심축과일치하도록상기자외선광원을반사하는반투과성의메인반사부를포함하는것을특징으로하는유기발광다이오드형광패턴검사용텔레센트릭광학장치에의해달성된다. 이에따라, 10배율을유지하면서 195mm의워킹디스턴스를형성할수 있고, 챔버의외부에서유기발광다이오드의형광패턴을세밀하게검사할수 있다.

60. 发明授权

KR101794641B1 파장 분리를 이용한 높이 및 형상측정이 가능한 경사 분광시스템 有权
标题翻译：倾斜的光谱系统能够使用波长分离进行高度和形状测量
公开(公告)号：KR101794641B1
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：KR1020170099745
申请日：2017-08-07
申请人： 주식회사 엘퓨젼옵틱스
发明人： 박진준
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , G01B11/24 , H04N5/225 , G02B27/10 , G02B27/30 , F21V8/00 , G02B13/22
CPC分类号： G01B9/02044 , G01B11/0608 , G01B11/24 , G02B6/0006 , G02B13/22 , G02B27/1006 , G02B27/30 , H04N5/225
摘要： 본발명은파장분리를이용한높이및 형상측정이가능한경사분광시스템에관한것으로서, 상세하게는분산프리즘(dispersion prism) 혹은회절격자를이용하여백색빔을각 파장의빛으로분산시켜측정물에투사하고, 측정물에투사된분산된빛의위치정보를감지하여높이및 형상을측정할수 있도록하는파장분리를이용한높이및 형상측정이가능한경사분광시스템에관한것이다. 본발명에의하면, 분산프리즘이나회절격자를이용하여조명빔을파장별로분리시켜측정시료에조사하고분광된빛을미러부를이용하여 CCD카메라부(line CCD 카메라)에결상시켜물체의높이및 형상의위치정보를색 정보로통하여측정할수 있는광학식비접촉삼차원형상측정시스템을제공하게된다.
摘要翻译：本发明涉及一种倾斜光谱系统的高度和形状测定用波长可分离，特别是通过由每个波长的光使用或衍射光栅，分光棱镜（分散棱镜）分发白光束投射到工件还有一种能够使用波长分离测量高度和形状的倾斜分光系统，其能够通过检测投射在测量对象上的散射光的位置信息来测量高度和形状。根据本发明，通过对每个波长的照明光束分离使用分散棱镜或衍射光栅是利用反射镜的部分照射所述测量样品的光谱光，以在所述物体的高度和形状的CCD照相机单元上的图像（线阵CCD相机）通过颜色信息可以测量位置信息的接触式三维形状测量系统。

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