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31. 发明授权

KR101968750B1 확공용 절삭날을 구비한 드릴 장치 有权
公开(公告)号：KR101968750B1
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：KR1020170146591
申请日：2017-11-06
申请人： 한국기계연구원 , 국립생태원
发明人： 이덕규 , 정영도 , 김완두 , 임현의 , 이준희 , 박승철 , 이은옥 , 박진영 , 김영건 , 이유란 , 김지영 , 여인애 , 이상훈 , 정길상
IPC分类号： A61B17/16 , B23B51/08

32. 发明授权

KR101615106B1 MEMS 마이크로폰 및 이의 제조방법 有权
标题翻译： MEMS麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR101615106B1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：KR1020150044053
申请日：2015-03-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이영화 , 허신 , 정영도 , 곽준혁
IPC分类号： H04R19/01 , H04R19/00 , H04R31/00
摘要： 본발명은 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판의두께방향중앙에진동막이배치되도록기판의일측과타측을습식식각법을이용하여가공하여공정시 진동막과후판의손상을최소화하고, 제조비용을절감한 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다.
摘要翻译： MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风及其制造方法在基板的厚度方向的中心配置振动膜，以处理一侧和另一侧通过湿式蚀刻来最小化振动膜和后板的损坏，并节省制造成本。

33. 发明公开

KR1020140137158A 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법 有权
标题翻译： 1芯片型MEMS麦克风及制造1芯型MEMS麦克风的方法
公开(公告)号：KR1020140137158A
公开(公告)日：2014-12-02
申请号：KR1020130057711
申请日：2013-05-22
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 이영화 , 정영도 , 곽준혁 , 지창현
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006 , H04R2201/003
摘要： 본 발명은 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 1칩형 MEMS 마이크로폰의 구조를 개선하여 부품 수 및 공정 수 저감, 부품 재질 교체를 통한 강성 강화 및 비용 절감, 감도 및 성능 향상을 얻을 수 있도록 하는, 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법을 제공함에 있다.
摘要翻译： 1芯片型MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。本发明的目的是提供一种1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。改进了现有的1芯片式MEMS麦克风的结构，从而减少了部件和工艺的数量，通过更换部件材料来提高刚性，节省成本，提高灵敏度和性能。

34. 发明授权

KR101462375B1 MEMS 마이크로폰 有权
标题翻译： MEMS麦克风
公开(公告)号：KR101462375B1
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR1020140080800
申请日：2014-06-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 곽준혁
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H01L29/84
CPC分类号： H04R19/005 , H01L29/84 , H04R19/04 , H04R2201/003
摘要： 본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种微机电系统（MEMS）麦克风。根据本发明的实施例的MEMS麦克风包括：多个侧槽，其沿着膜的周边以预定的间隙形成在其间并且从膜的周边凹陷到中心; 连接单元，其形成在相邻的侧槽之间，以固定到支撑单元; 以及形成在联接单元上的多个船队。

35. 发明公开

KR1020130071991A 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법 有权
标题翻译：用于制造用于混合植入物的频率组装型分离装置的方法
公开(公告)号：KR1020130071991A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：KR1020110139518
申请日：2011-12-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 김완두
IPC分类号： H04R25/00 , A61F11/00
CPC分类号： H04R17/02 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R31/006 , H04R2430/03
摘要： PURPOSE: A frequency separation apparatus production method for a couple type conchlear implantation is provided to help recognizing an acoustic wave of wideband frequency. CONSTITUTION: An upper layer (200) is produced as an upper electrode (280) is coated on a substrate. A lower electrode (130) is patterned on a basement membrane formed on a base. A lower layer (100) is produced as nano-wire with a piezoelectric property is grown on the lower electrode. The upper layer and the lower layer are cross linked the upper electrode and the lower electrode to be electrically connected.
摘要翻译：目的：提供一种用于耦合型耳蜗植入的频率分离装置的制造方法，以帮助识别宽带频率的声波。构成：当在基板上涂覆上电极（280）时，产生上层（200）。下部电极（130）被图案化在形成在基底上的基底膜上。生成下层（100）作为纳米线，在下电极上生长压电性质。上层和下层与上电极和下电极交联以进行电连接。

36. 发明授权

KR101247660B1 나노와이어 성장을 이용한 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법 有权
标题翻译：使用生长纳米线制造混合植入式频率分离装置的方法
公开(公告)号：KR101247660B1
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020110139516
申请日：2011-12-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 김완두
IPC分类号： H04R25/00 , H04R3/04 , A61F11/04
CPC分类号： A61N1/0541 , A61N1/36036
摘要： PURPOSE: A frequency separation device manufacturing method for a cochlea is provided to accurately separate a frequency through vibration of a base film by growing a nano wire on a base film. CONSTITUTION: A first silicon layer is deposited on the top of a base(110) and a second silicon layer is deposited on the bottom surface of a base. A base film consisting of silicon nitride is deposed on the first silicon layer. A lower electrode unit is patterned on the base film. A nano wire(150) having a piezoelectric characteristic is grown on the lower electrode unit. A part of the lower surface of the base film is removed to be exposed to the outside.
摘要翻译：目的：提供一种用于耳蜗的频率分离装置制造方法，用于通过在基膜上生长纳米线来精确地分离通过基膜的振动的频率。构成：第一硅层沉积在基底（110）的顶部上，并且第二硅层沉积在基底的底表面上。由氮化硅构成的基膜被放置在第一硅层上。下电极单元在基膜上图案化。在下部电极单元上生长具有压电特性的纳米线（150）。基膜的下表面的一部分被去除以暴露于外部。

37. 发明授权

KR101684918B1 3차원 구조를 갖는 촉각센서 有权
标题翻译： 3具有3D结构的传感器
公开(公告)号：KR101684918B1
公开(公告)日：2016-12-12
申请号：KR1020140191999
申请日：2014-12-29
申请人： 한국기계연구원
发明人： 정영도 , 임현의 , 김완두
IPC分类号： G01D21/02 , G01L5/00 , G01H17/00 , G01K13/00
摘要： 본발명은피부를통해인가되는다양한촉각정보와동일한정보를감지하는촉각센서에관한것으로, 더욱상세하게는여러종류의촉각정보를처리하기위해피부상에 3차원적으로다양하게배치되는감각수용체를모사하여인간의피부감각수준의촉각정보를감지하는 3차원구조를갖는촉각센서에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种感测与通过人的皮肤应用的各种触觉信息相同的信息的触觉传感器，更具体地，涉及一种具有三维结构的触觉传感器，该三维结构感测具有通过各种复制感觉受体的皮肤感觉水平，并且三维地布置在皮肤上以处理各种触觉信息。具有三维结构的触觉传感器包括：输入层; 感测层，形成在输入层的底表面上，感测触觉信息; 以及形成在感测层的底表面上的输出层，分析和传送在感测层中感测的触觉信号。

38. 发明公开

KR1020160080556A 압전소자 폴링장치 有权
标题翻译：用于冲压压电元件的装置
公开(公告)号：KR1020160080556A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140192903
申请日：2014-12-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 곽준혁 , 정영도 , 허신 , 강한미
IPC分类号： H01L35/02 , H01L35/34
CPC分类号： H01L35/02 , H01L35/34
摘要： 본발명은압전소자폴링장치에관한것으로, 진공챔버를이용한압전소자폴링장치와순환팬을이용한압전소자폴링장치로이루어진다. 먼저, 진공챔버를이용한압전소자폴링장치는챔버(100); 챔버(100)의내부에구비되어, 압전소자(A)가상단에위치되는받침부(200); 상기받침부(200)의상측에일정거리이격되어형성되고, 탐침(310)이상기압전소자(A) 방향으로돌출형성되는탐침부(300); 상기챔버(100)와연결되어, 상기챔버(100) 내부의압력을조절하는진공부(400); 및상기탐침부(300) 및받침부(200)와연결되어, 전원을인가하는전원부(500);를포함하여이루어진다. 한편, 순환팬을이용한압전소자폴링장치는챔버(100); 챔버(100)의내부에구비되어, 압전소자(A)가상단에위치되는받침부(200); 상기받침부(200)의상측에일정거리이격되어형성되고, 탐침(310)이상기압전소자(A) 방향으로돌출형성되는탐침부(300); 상기챔버(100)의상단에구비되는순환팬(600); 상기챔버(100)의하단에천공되어형성되는적어도하나이상의제1 순환공(610); 및상기탐침부(300) 및받침부(200)와연결되어, 전원을인가하는전원부(500); 를포함하여이루어진다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于极化压电元件的设备，其包括使用真空室的压电元件极化装置和使用循环风扇的压电元件极化装置。使用真空室的压电元件极化装置包括室（100）; 设置在所述室（100）中并位于压电元件（A）的上端的支撑部分（200）; 探针部分（300），其与所述支撑部分（200）的上侧隔开并且具有朝向所述压电元件（A）突出的探针（310）; 连接到所述腔室（100）以控制所述腔室（100）的内部压力的真空部件（400）; 以及连接到所述探针部分（300）和所述支撑部分（200）以施加电力的电源部分（500）。此外，使用循环风扇的压电元件极化装置包括室（100）; 设置在所述室（100）中并位于压电元件（A）的上端的支撑部分（200）; 探针部分（300），其与所述支撑部分（200）的上侧隔开并且具有朝向所述压电元件（A）突出的探针（310）; 设置在所述室（100）中的循环风扇（600）; 至少一个第一循环孔（610），其通过对所述腔室（100）的下端进行穿孔而形成; 以及连接到所述探针部分（300）和所述支撑部分（200）以施加电力的电源部分（500）。

39. 发明公开

KR1020160080353A 3차원 구조를 갖는 촉각센서 有权
标题翻译：具有三维结构的接头传感器
公开(公告)号：KR1020160080353A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140191999
申请日：2014-12-29
申请人： 한국기계연구원
发明人： 정영도 , 임현의 , 김완두
IPC分类号： G01D21/02 , G01L5/00 , G01H17/00 , G01K13/00
CPC分类号： G01D21/02 , G01H17/00 , G01K13/00 , G01L5/00 , Y02B30/78
摘要： 본발명은피부를통해인가되는다양한촉각정보와동일한정보를감지하는촉각센서에관한것으로, 더욱상세하게는여러종류의촉각정보를처리하기위해피부상에 3차원적으로다양하게배치되는감각수용체를모사하여인간의피부감각수준의촉각정보를감지하는 3차원구조를갖는촉각센서에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种感测与通过人的皮肤应用的各种触觉信息相同的信息的触觉传感器，更具体地，涉及一种具有三维结构的触觉传感器，该三维结构感测具有通过各种复制感觉受体的皮肤感觉水平，并且三维地布置在皮肤上以处理各种触觉信息。具有三维结构的触觉传感器包括：输入层; 感测层，形成在输入层的底表面上，感测触觉信息; 以及形成在感测层的底表面上的输出层，分析和传送在感测层中感测的触觉信号。

40. 发明授权

KR101537513B1 메타물질 음파 증폭기 有权
标题翻译： METAMATERIAL声波放大器
公开(公告)号：KR101537513B1
公开(公告)日：2015-07-17
申请号：KR1020140023953
申请日：2014-02-28
申请人： 한국기계연구원
发明人： 송경준 , 허신 , 정영도 , 이성현 , 김제도
IPC分类号： H04R23/00 , H04R1/08
CPC分类号： G10K11/08 , G10K11/22 , G10K11/26 , H04R1/345 , H04R23/00 , G02F2202/30 , H04R1/08
摘要： 본발명은메타물질음파증폭기에관한것으로서, 공진현상을이용하여음파를증폭(amplifier)시킬수 있는메타물질음파증폭기을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种金属材料声波放大器。本发明提供可以使用共振现象放大声波的超声材料声波放大器。金属材料声波放大器包括板（100），其中形成有多个固定图案的声波导体（110）以便穿透一个平面和另一个平面。基于中心点，中心轴或中心平面，声波引导件（110）以固定间隙分开，以彼此面对。

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