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21. 发明公开

KR1020170135616A 플라즈마 젯 분사 노즐 제조 방법 审中-实审
标题翻译：等离子喷射喷嘴制造方法
公开(公告)号：KR1020170135616A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160074034
申请日：2016-06-14
申请人： (주)아메드
发明人： 박태규 , 한동철
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/48
摘要： 다수의미세크기의구멍을갖는마이크로젯 분사노즐을간단하고재현성있게제조할수 있는플라즈마젯 분사노즐제조방법이개시된다. 본발명의일 양상에따른플라즈마젯 분사노즐제조방법은플라즈마젯 표면처리장치의플라즈마젯 분사노즐을제조하는방법으로서, 절연기판위에전극기판을접합하는단계, 전극기판을연마하여두께를조절하고평탄화하는단계, 전극기판위에일정한간격으로보호막을패터닝하는단계및 패터닝된보호막을이용하여접합된절연기판과전극기판에전극형성구멍을선택적으로형성하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于制造等离子体射流喷射喷嘴的方法，其能够简单且可重复地制造具有多个微孔的微射流喷嘴。根据本发明的一个方面的等离子流喷涂喷嘴制造方法，提供一种方法，用于产生等离子体束表面处理装置的等离子体射流喷嘴，以调整相位，通过抛光在电极基板为绝缘性基板上的电极基板接合的厚度，和平坦化在电极基板上以规则间隔图案化保护膜，并且在使用图案化的保护膜接合的绝缘基板和电极基板上选择性地形成电极形成孔。

22. 发明授权

KR101575145B1 진공 아크 플라즈마 이송 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于运输真空等离子体的方法和装置
公开(公告)号：KR101575145B1
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：KR1020137014734
申请日：2011-10-31
申请人： 내셔널 사이언스 센터 하이코프 인스티튜트 오브 피직스 앤드 테크놀로지 (앤에스씨 케이아이피티)
发明人： 바실리에브볼로디미어바실리예비치 , 스트렐리츠카이볼로디미어에브게니예비치
IPC分类号： C23C14/28 , H05H1/48 , H01J37/34
CPC分类号： H05H1/48 , C23C14/325 , H01J27/14 , H01J37/32055 , H01J37/3266 , H05H1/50
摘要： 본발명은고품질코팅을형성하기위한진공캐소딕아크부식플라즈마흐름을형성하는기술에관한것이다. 플라즈마흐름은플라즈마-광학시스템에서전자기코일의사용하여생성되는이송자기장의영향아래에서아크증발기로부터플라즈마소스의아웃렛으로이송된다. 이송자기장은일정자기장과플라즈마소스의구조요소들의표면으로부터플라즈마를편향시키는가변강도의추가자기장의중첩에의해생성된다. 대응하는추가자기장의강도는플라즈마흐름이플라즈마소스의구조요소의표면에접근할수록증가하고플라즈마흐름이상기요소의표면으로부터멀어지게이동할수록감소한다. 이방법을구현하기위한장치에서, 진공아크파워공급(15)은전자기코일(16)의권선에의해애노드(2)에연결되고상기전자기코일(16)은상기애노드를둘러싼다. 플라즈마-광학시스템의선형실시예에서, 애노드(2) 내의튜브(11)의전기전도성섹션은전자기편향코일(12)의권선의일 단에전기적으로연결된다. 권선의다른단은진공아크파워공급(15)의양극단자에연결된다. 상기방법과장치의사용은매크로파티클-프리(macroparticle-free) 플라즈마의손실을크게감소시킨다.

23. 发明公开

KR1020150079777A 스너버 시스템, 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译： SNUBBER SYSTEM，APPARATUS和METHOD
公开(公告)号：KR1020150079777A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020157013641
申请日：2013-11-01
申请人： 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드
发明人： 핀레이케네스더블유. , 크리스티데이비드
IPC分类号： H01J37/32 , H02M1/34 , H05H1/46 , H05H1/48
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32027 , H01J37/32055 , H01J37/34 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/4682
摘要： 본발명은부하의임피던스가갑자기상승한후 부하에인가되는전압을승압하도록구성되는비산일스너버회로를기술한다. 전압승압은, 부하임피던스로부터비롯되는부하에대한파워방출이상승한후 전류가더욱신속히램프하도록한다. 특히, 스너버회로는, 단방향스위치, 전압체배기, 및전류제한기의조합을포함할수 있다. 어떤경우, 이들구성요소들은각각, 다이오드, 전압 2배기, 및인덕터로될 수있다.
摘要翻译：本公开描述了一种非耗散缓冲电路，其被配置为在负载的阻抗快速上升之后提升施加到负载的电压。因此，由于负载阻抗上升而导致负载的功率递减降低后，电压提升可以引起更快速的电流斜坡。特别地，缓冲器可以包括单向开关，电压倍增器和限流器的组合。在某些情况下，这些组件可分别是二极管，倍压器和电感。

24. 发明公开

KR1020110107755A 플라즈마 생성 장치 有权
标题翻译：等离子发生装置
公开(公告)号：KR1020110107755A
公开(公告)日：2011-10-04
申请号：KR1020110026101
申请日：2011-03-24
申请人： 제너럴 일렉트릭 캄파니
发明人： 가니레디고바드한 , 보호리아드난쿠투부딘 , 아소칸탱가벨루
IPC分类号： H05H1/48 , C23C14/32
CPC分类号： H05H1/36 , H05H1/44
摘要： 제 1 플라즈마 발생 디바이스(136) 및 제 2 플라즈마 발생 디바이스(138)를 포함할 수 있는 아크 완화 디바이스(110)와 같은 장치가 제공된다. 제 2 플라즈마 발생 디바이스는 한 쌍의 대향하는 이격된 전극(144a, 144b) 및 그 사이에 접속된 저전압, 고전류 에너지 소스(148)를 포함할 수 있다. 도관(194)이 제 1 및 제 2 플라즈마 발생 디바이스 사이에 플라즈마를 안내하도록 구성될 수 있어, 제 2 플라즈마 발생 디바이스가 제 1 플라즈마 발생 디바이스에 의해 발생된 플라즈마를 수용하게 된다. 제 1 플라즈마 발생 디바이스로부터의 플라즈마는 저전압, 고전류 에너지 소스에 기인하여 그 사이에 아크가 설정될 수 있도록 하기에 충분하게 대향하는 전극의 쌍 사이의 영역의 임피던스를 감소시키도록 작용할 수 있다.

25. 发明公开

KR1020080056767A 시트 플라즈마 성막장치 无效
标题翻译：薄片等离子体成膜装置
公开(公告)号：KR1020080056767A
公开(公告)日：2008-06-23
申请号：KR1020087011193
申请日：2006-11-29
申请人： 신메이와 인더스트리즈,리미티드
发明人： 마루나카,마사오 , 츠치야,타카유키 , 테라쿠라,아츠히로 , 타케우치,키요시
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/285 , H05H1/48
CPC分类号： H01J37/3266 , C23C14/046 , C23C14/35 , H01J37/32009 , H01L21/2855 , H01L21/76877
摘要： A sheet plasma film-forming apparatus (100) comprises a plasma gun (40) for emitting a source plasma (22) in a transportation direction, a sheet plasma shape-changing chamber (20) having a transportation space (21) extending in the transportation direction, a first pair of magnetic field generating means (24A, 24B) so arranged that their similar poles are opposed to each other and the transportation space (21) is interposed between them, a film-forming chamber(30) having a film-forming space (31) communicating with the transportation space (21), and a second pair of magnetic field generating means (32, 33) so arranged that their dissimilar poles are opposed to each other and the film-forming space is interposed between them. While the source plasma (22) is transported within the transportation space (21), it is expanded into a sheet form along a major surface (S) including the center by the magnetic filed generated by the first pair of magnetic filed generating means (24A, 24B). While the sheet plasma (27) is moving within the film-forming space (31), it is biased from the major surface (S) into a convex form by the magnetic filed generated by the second pair of magnetic filed generating means (32, 33).
摘要翻译：片状等离子体成膜装置（100）包括用于沿输送方向发射源等离子体（22）的等离子体枪（40），具有沿着输送方向延伸的输送空间（21）的片状等离子体形状变化室传送方向的第一对磁场产生装置（24A，24B），使得它们的相似磁极彼此相对并且在它们之间插入传送空间（21），成膜室（30）具有膜形成空间（31），以及第二对磁场产生装置（32,33），使得它们的异极相互相对并且成膜空间介于它们之间。当等离子体（22）在输送空间（21）内运送时，沿包括中心的主表面（S）由第一对磁场产生装置（24A）产生的磁场扩展为片状，24B）。当片状等离子体（27）在成膜空间（31）内移动时，由第二对磁场产生装置（32,32）产生的磁场将其从主表面（S）偏置成凸形， 33）。

26. 发明公开

KR1020040032666A 원격 플라즈마 발생기 失效
标题翻译：远程等离子发电机
公开(公告)号：KR1020040032666A
公开(公告)日：2004-04-17
申请号：KR1020020061884
申请日：2002-10-10
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： H05H1/48
CPC分类号： H01J37/321 , H01J37/32357
摘要： PURPOSE: A remote plasma generator is provided to enhance the energy transfer efficiency and increase the density of plasma by installing a ring-shaped core in the inside of the plasma generator. CONSTITUTION: A remote plasma generator includes a main body(21), a core body(25), a ring-shaped core(28), a connection tube(24), and an inductor coil(29). The main body(21) includes a gas inlet connected to a gas source and a gas outlet connected to a process chamber. The core body(25) is installed in the inside of the main body(21). The core body has a shape of cylinder. The ring-shaped core(28) is installed in the core body. The connection tube(24) is used for connecting the outside of the main body to the inside of the core body. The inductor coil(29) is wound around the ring-shaped core. The inductor coil is connected to an AC power supply of the outside of the main body.
摘要翻译：目的：提供远程等离子体发生器，以通过在等离子体发生器的内部安装环形芯来提高能量传递效率并增加等离子体的密度。构成：远程等离子体发生器包括主体（21），芯体（25），环形芯（28），连接管（24）和电感线圈（29）。主体（21）包括连接到气体源的气体入口和连接到处理室的气体出口。芯体（25）安装在主体（21）的内部。芯体具有圆柱体形状。环形芯（28）安装在芯体中。连接管（24）用于将主体的外部连接到芯体的内部。电感线圈（29）缠绕在环形芯上。电感线圈连接到主体外部的交流电源。

27. 发明公开

KR1020020066467A 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：用于在大气压力下产生低温等离子体的装置
公开(公告)号：KR1020020066467A
公开(公告)日：2002-08-19
申请号：KR1020010006653
申请日：2001-02-12
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/48
CPC分类号： H01J37/32036 , H01J37/32009 , H01J37/32018
摘要： PURPOSE: An apparatus for generating a Low Temperature Plasma at atmospheric pressure is provided to obtain plasma with low temperature and high density by suppressing a transition effect from plasma to arch between two electrodes. CONSTITUTION: An apparatus for generating a Low Temperature Plasma at atmospheric pressure includes a power supply(6), a pair of electrodes(1,2) facing each other, a discharging gap(7) and a conductive electrode(5) having protrusions in the dielectric discharging gap(7). One of the electrodes(1,2) is connected to the power supply(6) and the other electrode is connected to a ground. The discharging gap(7) is formed on one of a dielectric materials(3,4) installed with facing each other and having a thickness of 25um - 10mm at a surface which is facing to the electrodes(1,2). An alternative or a direct electric field of 1-10 KV/cm with a frequency bandwidth 50 Hz-10 Hz is applied to the electrodes(1,2,5) through the power supply(6) and a reactive gas is supplied thereto through the electrodes(1,2,5).
摘要翻译：目的：提供一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，通过抑制从两个电极之间的等离子体到拱顶的过渡效应，获得具有低温和高密度的等离子体。构成：用于在大气压下产生低温等离子体的装置包括电源（6），彼此面对的一对电极（1,2），放电间隙（7）和具有突起的导电电极（5）电介质放电间隙（7）。电极（1,2）中的一个连接到电源（6），另一个电极连接到地面。放电间隙（7）形成在彼此相对安装并且面对电极（1,2）的表面具有25um-10mm厚度的电介质材料（3,4）之一上。通过电源（6）将具有频率带宽为50Hz-10Hz的1-10KV / cm的替代或直接电场施加到电极（1,2,5），并且通过电极（1,2,5）。

28. 发明公开

KR870005560A 액체안정화 플라즈마 발생기와 이를 이용하는 방법 失效
公开(公告)号：KR870005560A
公开(公告)日：1987-06-09
申请号：KR850008448
申请日：1985-11-13
IPC分类号： B05B7/16 , B23K10/02 , C23C4/12 , H05H1/24 , H05H1/32 , H05H1/34 , H05H1/36 , H05H1/42 , H05H1/48

29. 发明授权

KR102479267B1 전류 도입 단자 구조 및 전자석 장치 有权
公开(公告)号：KR102479267B1
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：KR1020217003545
申请日：2019-10-01
IPC分类号： H01F27/28 , H01F27/16 , H01F7/06 , H01F7/20 , H05B6/42 , H05H1/48 , C23C14/32
摘要： 본발명은복수개의와이어가묶여형성되며또한전류도입단자로부터전류가안내되는도전부재의냉각효율을향상시킬수 있는것을과제로한다. 복수개의와이어(34)가묶여형성된도전부재(13)에전류도입단자(12)로부터전류가안내되는전류도입단자구조(10)로서, 도전부재(13), 및이 도전부재에전기적으로접속된전류도입단자(12)가, 냉각수(W)를저류(貯溜)하는케이싱(14) 내에배치되어냉각수(W)에침지(浸漬)되도록구성된것이다.

30. 发明授权

KR102341290B1 X-방사선 및 입자 방사선을 생성하기 위한 장치 및 또한 X-방사선 및 입자 방사선을 생성하기 위한 장치를 갖는 융합 원자로에 대한 필라멘트형 보조 방전을 생성하기 위한 장치, 및 X-방사선 및 입자 방사선을 생성하기 위한 방법 有权
公开(公告)号：KR102341290B1
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：KR1020217001282
申请日：2019-06-03
IPC分类号： H05H1/48 , H05G2/00 , G21B1/00
摘要： 본출원은핵융합에의하 X-레이방사선및 입자방사선을생성하기위한디바이스에관한것이며, 그디바이스는, 절연체(16)에의해서로분리되고서로동축으로배열된애노드(14) 및캐소드(12) - 애노드(14) 및캐소드(12)는원자로챔버에적어도부분적으로배열되고, 캐소드(12)는복수의캐소드전극들(12)을가짐 -; 절연체(16)에걸쳐낮은-임피던스브리징을형성하는사전-방전을생성하기위한사전-방전디바이스; 원자로챔버에포함된가스; 사전-방전디바이스와연결된, 특히높은내부저항을갖는전기사전-방전소스; 및한정된애노드(14) 및캐소드(12)에전기적으로연결된전기방전소스를포함하며, 여기서조밀한자기적으로한정된플라즈모이드는, 전기방전소스로부터의전기방전의결과로서애노드(14)의앞에생성되고, 하나이상의이온빔들, 하나이상의 X-레이들, 또는이들의조합들이방출된다.

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