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1. 发明授权

KR102377982B1 플라즈마 반응기 및 과불화합물 제거 스크러버 有权
公开(公告)号：KR102377982B1
公开(公告)日：2022-03-23
申请号：KR1020200068340
申请日：2020-06-05
IPC分类号： H05H1/48 , B01D53/32 , H05H1/46
摘要： 본발명의목적은하나의전원장치를사용하면서아크발생영역을분리하여플라즈마고온반응부를확보하는플라즈마반응기를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마반응기는, 내부에구비되는격벽으로제1아크영역과제2아크영역을구획하는하우징, 상기격벽을관통하여상기제1아크영역과상기제2아크영역에걸쳐지며제1유입구와제2유입구를각각구비하고내부에고온의반응구간을형성하여가열된반응물을배출하는배출구를구비하는고전압전극, 상기제1아크영역과상기제2아크영역에서상기제1유입구와상기제2유입구를향하여구비되어제1방전갭과제2방전갭을각각형성하는제1접지전극과제2접지전극, 및상기고전압전극과상기제1접지전극및 상기제2접지전극에 3상의교류전력을공급하는전원공급부를포함한다.

2. 发明授权

KR102367929B1 공기 살균장치의 플라즈마 살균모듈 有权
公开(公告)号：KR102367929B1
公开(公告)日：2022-02-28
申请号：KR1020210082250
申请日：2021-06-24
IPC分类号： A61L9/22 , B01D46/00 , B01J20/16 , H05H1/48
摘要： 본발명은플라즈마살균모듈을이루는각 구성들이모듈화되어제작되므로공기살균장치내부에쉽게착탈하여사용할수 있을뿐 아니라교체가간편하여유지보수가용이하고, 충진케이스부의하부에다수의제올라이트를충진하도록구성되어제올라이트에흡착되거나통과중인세균및 바이러스들이코로나방전에의해생성되는라디칼에의해산화되어소멸되므로살균및 제균효과를극대화하는공기살균장치의플라즈마살균모듈에관한것이다.

3. 发明授权

KR102365939B1 거대-입자 감소 코팅을 활용하는 플라즈마 소스 및 박막 코팅의 증착과 표면의 개질을 위해 거대-입자 감소 코팅을 활용하는 플라즈마 소스의 사용 방법 有权
公开(公告)号：KR102365939B1
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：KR1020177018539
申请日：2014-12-05
IPC分类号： H05H1/48 , H05H1/24
摘要： 본발명은일반적으로, 거대-입자감소코팅을활용하는플라즈마소스및 박막코팅의증착과표면의개질을위해거대-입자감소코팅을활용하는플라즈마소스의사용방법에관한것이다. 더구체적으로, 본발명은하나이상의플라즈마-생성전극을포함하는플라즈마소스에관한것이며, 여기서거대-입자감소코팅이하나이상의전극의플라즈마-생성표면의적어도일부에증착되어생성된플라즈마에의한침식으로부터전극의플라즈마-생성표면을차폐하고입자상물질의형성을방해함으로써, 플라즈마소스의성능을향상시키고플라즈마소스의수명을연장시킨다.

4. 实用新型

KR200493866Y1 열 플라즈마 토치 有权
公开(公告)号：KR200493866Y1
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：KR2020177000056
申请日：2016-01-13
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 나이트게리피터 , 매그니시몬
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/48

5. 发明公开

KR20200136960A 물을 과산화수소로 변환하는 방법 및 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200136960A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：KR20207030672
申请日：2019-03-26
申请人： OXYPRO LTD
发明人： RISKIN YEFIM , RISKIN LEONID
IPC分类号： C01B15/027 , H05H1/48
摘要： 물을과산화수소 (H2O2)로변환하는방법및 장치에서, 코로나방전영역은제 1 전극(10)과제 2 전극(6) 사이에생성되며, 이들중 하나는절연되고다른하나는절연되지않으며, 각전극의각각의표면은서로마주보도록위치한다. 제 1 전극(10)은회전하여제 1 전극(10)과제 2 전극(6) 사이의상대회전을유도하고; 액체가제 2 전득과대향하는제 1 전극(10)의표면의회전축(4)에가까운쪽으로이송되고, 제 1 전극(10)의회전에의한원심력의작용에의해액체는코로나방전영역(9)을통해제 1 전극(10)의주변을향하여바깥쪽으로진행한다.

6. 发明授权

KR102045008B1 플라즈마 발생장치 有权
公开(公告)号：KR102045008B1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：KR1020180007196
申请日：2018-01-19
申请人： 한국기계연구원
发明人： 조성권 , 이대훈 , 김관태 , 송영훈
IPC分类号： H05H1/48

7. 发明授权

KR101688874B1 이동 가능한 전극을 포함하는 플라즈마 발생 시스템 有权
标题翻译：具有可移动电极的等离子体发生系统
公开(公告)号：KR101688874B1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：KR1020167015441
申请日：2012-11-16
申请人： 리카본 인코포레이티드
发明人： 이상훈 , 타니바타토루 , 웨이허오리온
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/48
CPC分类号： H05H1/48 , B23K10/00 , H05H1/46 , H05H2001/4622
摘要： 본발명은플라즈마생성시스템(2)에관한것이다. 상기플라즈마생성시스템(2)은끝단을가지는한 쌍의전극(12a, 12b); 상기한 쌍의전극(12a, 12b)을유지하는전극홀더(14); 상기전극홀더(14)가슬라이딩방식으로장착되며, 상기전극홀더(14)를슬라이딩시켜제어되도록하는상기일면을가지는게이트(18a, 18b); 및상기게이트(18a, 18b)에고정되며, 개구부를폐쇄하는힘을생성하는탄성부재(20a, 20b)를포함한다. 상기전극홀더(14)가일방향으로상기일면을슬라이딩하고전기아크(28)를생성하여가스의플라즈마를점화할때, 상기전극(12a, 12b)의끝단은상기게이트의개구부(18a, 18b)로이동한다.
摘要翻译：提供等离子体发生系统。等离子体发生系统包括：具有远端的一对电极; 保持所述一对电极的电极架; 具有表面的栅极，电极保持器可滑动地安装在该表面上，并且适于通过将电极保持器滑动在表面上来控制; 以及弹性构件，其固定到所述门并适于产生关闭所述开口的力。当电极保持器沿着表面上的方向滑动并且适于产生电弧从而点燃气体中的等离子体时，远端适于移动到栅极的开口中。

8. 发明公开

KR1020160127794A 플라즈마 CVD 성막 장치 审中-实审
标题翻译： CVD等离子体CVD膜形成装置
公开(公告)号：KR1020160127794A
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020167026818
申请日：2015-02-27
申请人： 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
发明人： 오키모토다다오 , 세가와도시키 , 구로카와요시노리
IPC分类号： C23C16/509 , C23C16/54 , H01J37/32 , H05H1/48
CPC分类号： C23C16/509 , C23C16/545 , H01J37/32091 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32669 , H01J37/3277 , H05H1/48 , H05H1/50 , H05H2001/485
摘要： 성막롤러의축방향에대한성막이행해지는범위에있어서기재가권취되어있지않은부분에있어서이상방전의발생을방지하는플라즈마 CVD 성막장치를제공한다. 플라즈마 CVD 성막장치(10)는, 진공챔버(1)와, 띠형상의기재가당해성막롤러(2)의외주면중 주위방향의일부에권취되는금속제의성막롤러(2)와, 성막롤러(2)의내부에배치되고, 성막롤러(2)의외주면중 기재가권취되는부분의외측에자장을생성하는자장생성부(3)와, 성막롤러(2)에접속되고, 자장의영역내에플라즈마를생성하기위한교류전압을당해성막롤러(2)에인가하는전원(4)과, 성막롤러(2)의외주면중 기재(A)가권취되는부분(2a)에대해당해성막롤러(2)의회전축을사이에두고반대측에위치하는부분이며당해기재(A)에접촉하고있지않은부분(2b)을덮는커버(9)를구비하고있다.
摘要翻译：提供了一种等离子体CVD膜形成装置，用于防止在成膜辊的轴向上形成膜的区域中不包裹基板的部分发生异常放电。等离子体CVD膜形成装置（10）装备有：真空室（1）; 金属成膜辊（2），其具有在圆周方向上缠绕在其外周面的一部分上的带状基材; 用于在所述成膜辊（2）的外周面的外侧产生磁场的磁场产生单元（3），所述磁场产生单元（3）围绕所述基板被包裹并位于所述成膜辊（2）的内部， ; 用于向成膜辊（2）施加用于在磁场区域内产生等离子体的AC电压并连接到成膜辊（2）的电源（4）。以及用于覆盖成膜辊（2）的外周面的部分（2b）的盖（9），其不与基板（A）接触，并且与所述部分（2a）相对定位，衬底（A）被包裹，其中成膜辊（2）的旋转轴线插入其间。

9. 发明公开

KR1020160075795A 이동 가능한 전극을 포함하는 플라즈마 발생 시스템 有权
标题翻译：等离子体生成系统包括可移动电极
公开(公告)号：KR1020160075795A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020167015441
申请日：2012-11-16
申请人： 리카본 인코포레이티드
发明人： 이상훈 , 타니바타토루 , 웨이허오리온
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/48
CPC分类号： H05H1/48 , B23K10/00 , H05H1/46 , H05H2001/4622 , H05H1/34
摘要： 본발명은플라즈마생성시스템(2)에관한것이다. 상기플라즈마생성시스템(2)은끝단을가지는한 쌍의전극(12a, 12b); 상기한 쌍의전극(12a, 12b)을유지하는전극홀더(14); 상기전극홀더(14)가슬라이딩방식으로장착되며, 상기전극홀더(14)를슬라이딩시켜제어되도록하는상기일면을가지는게이트(18a, 18b); 및상기게이트(18a, 18b)에고정되며, 개구부를폐쇄하는힘을생성하는탄성부재(20a, 20b)를포함한다. 상기전극홀더(14)가일방향으로상기일면을슬라이딩하고전기아크(28)를생성하여가스의플라즈마를점화할때, 상기전극(12a, 12b)의끝단은상기게이트의개구부(18a, 18b)로이동한다.
摘要翻译：等离子体发生系统（2）。等离子体产生系统（2）包括具有端部的一对电极（12a，12b）一个用于固定一对电极（12a，12b）的电极夹持器（14）; 以可滑动的方式安装在所述电极支架（14）上的栅极（18a，18b），所述栅极（18a，18b）具有用于控制所述电极支架（14）的一侧; 并且弹性构件20a，20b固定到闸门18a，18b并产生用于关闭开口的力。当电极夹持器14在电极夹持器14的一侧上滑动时，电极12a和12b的端部连接到栅极的开口18a和18b，并产生电弧28以点燃气体的等离子体。移动。

10. 发明公开

KR1020160009785A 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치 无效
标题翻译： DLC涂层设备使用过滤阴极真空电弧
公开(公告)号：KR1020160009785A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：KR1020140089946
申请日：2014-07-16
申请人： 한국광기술원
发明人： 장영준 , 최주현 , 김정호 , 김혜정
IPC分类号： C23C14/32 , H05H1/48
CPC分类号： C23C14/32 , C23C14/24 , C23C16/32 , C23C16/513 , H05H1/48
摘要： 본발명은자장여과아크플라즈마를이용한 DLC 코팅장치에관한것으로서, 메인챔버내에장착된흑연소재의타겟체에스파크를발생시켜플라즈마화된이온을생성하는아크플라즈마발생부와, 아크플라즈마발생부에서발생된플라즈마화된이온을 DLC 코팅용기판까지이송되는이송경로를제공하는이송관과, 이송관을통해이송되는물질중 비이온화된입자를자력에의해내벽측에집속되게하는자력생성부와, 이송관내에이송관을가로지르는방향으로설치되어비이온화된입자의이송을저지시킬수 있도록망체형태로형성된적어도하나의필터판을구비한다. 이러한자장여과아크플라즈마를이용한 DLC 코팅장치에의하면, 이송관의연장방향을가로지르는방향으로설치된망체형태의필터판에의해비이온화된거대입자의이송을저지시킬수 있어 DLC 박막의막질을향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用过滤的真空电弧等离子体的DLC涂覆装置，包括：电弧等离子体产生部件，其通过在安装在主室中的石墨材料的目标物体上产生火花产生等离子体离子; 提供将电弧等离子体产生部产生的等离子体离子输送到DLC涂布基板的输送路径的输送管; 使得通过输送管输送的材料的非电离粒子通过磁力聚焦在内壁上的磁力产生部件; 以及至少一个过滤板，其安装成跨越运输管道中的输送管，并且形成为净形状以阻止非离子化颗粒的运输。根据使用过滤的真空电弧等离子体的DLC涂布装置，可以通过能够阻挡非离子化的巨型颗粒的输送，从而提高DLC膜的膜质量，所述巨型颗粒通过安装成跨过输送管的延伸方向的网状过滤板。

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