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1. 发明公开

KR1020020066467A 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：用于在大气压力下产生低温等离子体的装置
公开(公告)号：KR1020020066467A
公开(公告)日：2002-08-19
申请号：KR1020010006653
申请日：2001-02-12
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/48
CPC分类号： H01J37/32036 , H01J37/32009 , H01J37/32018
摘要： PURPOSE: An apparatus for generating a Low Temperature Plasma at atmospheric pressure is provided to obtain plasma with low temperature and high density by suppressing a transition effect from plasma to arch between two electrodes. CONSTITUTION: An apparatus for generating a Low Temperature Plasma at atmospheric pressure includes a power supply(6), a pair of electrodes(1,2) facing each other, a discharging gap(7) and a conductive electrode(5) having protrusions in the dielectric discharging gap(7). One of the electrodes(1,2) is connected to the power supply(6) and the other electrode is connected to a ground. The discharging gap(7) is formed on one of a dielectric materials(3,4) installed with facing each other and having a thickness of 25um - 10mm at a surface which is facing to the electrodes(1,2). An alternative or a direct electric field of 1-10 KV/cm with a frequency bandwidth 50 Hz-10 Hz is applied to the electrodes(1,2,5) through the power supply(6) and a reactive gas is supplied thereto through the electrodes(1,2,5).
摘要翻译：目的：提供一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置，通过抑制从两个电极之间的等离子体到拱顶的过渡效应，获得具有低温和高密度的等离子体。构成：用于在大气压下产生低温等离子体的装置包括电源（6），彼此面对的一对电极（1,2），放电间隙（7）和具有突起的导电电极（5）电介质放电间隙（7）。电极（1,2）中的一个连接到电源（6），另一个电极连接到地面。放电间隙（7）形成在彼此相对安装并且面对电极（1,2）的表面具有25um-10mm厚度的电介质材料（3,4）之一上。通过电源（6）将具有频率带宽为50Hz-10Hz的1-10KV / cm的替代或直接电场施加到电极（1,2,5），并且通过电极（1,2,5）。

2. 发明公开

KR1020020041537A 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：用于在大气压下产生低温等离子体的装置
公开(公告)号：KR1020020041537A
公开(公告)日：2002-06-03
申请号：KR1020000071178
申请日：2000-11-28
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/32
摘要： PURPOSE: An apparatus for generating a low-temperature plasma under atmospheric pressure and a low discharge voltage is provided to restrain the plasma from being changed into an arc discharge by using a new electrode and to reduce an electric power consumption. CONSTITUTION: Electrodes(1,2) are spaced apart from with each other. One end of electrode(1,2) is connected with an electric power source(6), respectively and the other end of the electrode(1,2) is grounded. Dielectric substances(3,4) having the thickness of 25-5000 micro meter are installed at one side surface of the electrodes(1,2), respectively. At least one discharge gap(7) are installed in one of the electrodes(1,2). At this time, the discharge gap(7) have a width(a) of 5 micro meter-2mm and a height(b) that is 5-250 times larger than the width(a). A conductive electrode(5) for controlling the width(a) and the height(b) is installed in a discharge gap(7). A pulse direct current having 50-10GHz frequency or an alternating current source having 1-100kV/cm electric field intensity is applied between the electrodes(1,2) via the electric power source(6).
摘要翻译：目的：提供一种用于在大气压和低放电电压下产生低温等离子体的装置，通过使用新的电极来抑制等离子体变成电弧放电并降低电力消耗。构成：电极（1,2）彼此间隔开。电极（1,2）的一端分别与电源（6）连接，电极（1,2）的另一端接地。分别在电极（1,2）的一个侧表面上安装厚度为25-5000微米的电介质（3,4）。至少一个放电间隙（7）安装在一个电极（1,2）中。此时，放电间隙（7）的宽度（a）为5微米-2mm，高度（b）比宽度（a）大5〜250倍。用于控制宽度（a）和高度（b）的导电电极（5）安装在放电间隙（7）中。具有50-10GHz频率的脉冲直流电或具有1-100kV / cm电场强度的交流电源经由电源（6）施加在电极（1,2）之间。

3. 发明公开

KR1020010103922A 대기압에서 글로우방전 플라즈마를 발생시키는 장치 无效
标题翻译：用于产生大气压力中的玻璃放电等离子体的装置
公开(公告)号：KR1020010103922A
公开(公告)日：2001-11-24
申请号：KR1020000025208
申请日：2000-05-12
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/02
摘要： 본 발명은 대기압에서 글로우방전 플라즈마를 발생시키는 장치에 관한 것으로, 일측은 전원공급수단에 연결되고 타측은 접지되며 서로 이격되어 마주보게 한쌍의 전극을 설치하고; 전극이 서로 마주보는 면에 서로 대향되게 한쌍의 유전체를 장착하며; 대향되는 전극면의 각 반대면에는 자력발생수단을 설치하고; 상기 자력발생수단을 통해 자장을 가하고 전원공급수단을 통해 전원을 인가함과 동시에 상기 전극 사이로 반응가스를 공급하도록 하여 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 구성된다. 이러한 구조의 전극에 공기, 수증기(H
2 O), 산소(O
2 ), 질소(N
2 ), 수소(H
2 ), 아르곤(Ar), 헬륨(He), 메탄(CH
4 ), 암모니아(NH
3 ), 사불화탄소(CF
4 ), 아세틸렌(C
2 H
2 ), 프로판(C
3 H
8 )등의 각종 반응가스를 공급하고, 실효값1~50KV의 전원을 가하여, 대기압에서 온도가 낮으며, 밀도가 높은 플라즈마가 발생시키도록 하여서 이루어진다.
이와 같이, 대기압에서 발생된 플라즈마가 아크로 전이하는 현상을 억제하며, 낮은 방전개시 및 유지전압으로 두 전극 사이에서 온도는 낮고 밀도가 높은 플라즈마를 발생시켜 처리시간을 크게 단축시키고 효율을 증대시킬 수 있어 접합, 연마, 세정, 박막증착, 살균, 소독, 오존제조, 인쇄, 염색, 엣칭, 수도물 및 폐수정화, 공기, 자동차배기가스 등의 정화, 고휘도램프 제조 등에 유용한 효과가 있다.

4. 发明授权

KR100430345B1 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：在这里可以找到你想要的东西
公开(公告)号：KR100430345B1
公开(公告)日：2004-05-04
申请号：KR1020000071178
申请日：2000-11-28
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/32
摘要： PURPOSE: An apparatus for generating a low-temperature plasma under atmospheric pressure and a low discharge voltage is provided to restrain the plasma from being changed into an arc discharge by using a new electrode and to reduce an electric power consumption. CONSTITUTION: Electrodes(1,2) are spaced apart from with each other. One end of electrode(1,2) is connected with an electric power source(6), respectively and the other end of the electrode(1,2) is grounded. Dielectric substances(3,4) having the thickness of 25-5000 micro meter are installed at one side surface of the electrodes(1,2), respectively. At least one discharge gap(7) are installed in one of the electrodes(1,2). At this time, the discharge gap(7) have a width(a) of 5 micro meter-2mm and a height(b) that is 5-250 times larger than the width(a). A conductive electrode(5) for controlling the width(a) and the height(b) is installed in a discharge gap(7). A pulse direct current having 50-10GHz frequency or an alternating current source having 1-100kV/cm electric field intensity is applied between the electrodes(1,2) via the electric power source(6).
摘要翻译：目的：提供一种在大气压和低放电电压下产生低温等离子体的设备，以通过使用新电极来抑制等离子体变成电弧放电并减少电能消耗。构成：电极（1,2）彼此间隔开。电极（1,2）的一端分别与电源（6）连接，电极（1,2）的另一端接地。厚度为25-5000微米的电介质（3,4）分别安装在电极（1,2）的一个侧面上。至少一个放电间隙（7）安装在电极（1,2）之一中。此时，放电间隙（7）的宽度（a）为5微米-2毫米，高度（b）为宽度（a）的5-250倍。用于控制宽度（a）和高度（b）的导电电极（5）安装在放电间隙（7）中。具有50-10GHz频率的脉冲直流电或具有1-100kV / cm电场强度的交流电源通过电源（6）施加在电极（1,2）之间。

5. 发明授权

KR100464902B1 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：在这里可以找到你想要的东西
公开(公告)号：KR100464902B1
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：KR1020010006653
申请日：2001-02-12
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/48
CPC分类号： H01J37/32036 , H01J37/32009 , H01J37/32018
摘要： Disclosed is an apparatus for generating low-temperature plasma at atmospheric pressure, comprising: a couple of electrodes facing each other at a distance, one of them being connected to a power supply, the other being grounded; a couple of dielectrics with a thickness of 25 mu m-10 mm, positioned on the facing surfaces of the electrodes in such a way as to face each other, one of them having at least one discharge gap therein; and a conductor electrode having at least one tip positioned within the discharge gap, wherein an electric field is applied at an intensity of 1-100 KV/cm through the power supply across the electrodes by use of a pulse direct current or an alternating current in a frequency bandwidth of 50 Hz-10 GHz while a reaction gas is fed between the electrodes, so as to induce a hollow cathode discharge, a capillary discharge or the high accumulation of charges from the discharge gap. The inventive apparatus prevents the conversion of the plasma to arcs and thus gives stable, low-temperature plasma in a high density.
摘要翻译：本发明公开了一种用于在大气压下产生低温等离子体的设备，包括：一对彼此面对的电极，其中一个电极连接到电源，另一个接地; 一对厚度为25μm-10mm的电介质，以面向彼此的方式放置在电极的相对表面上，其中一个电极中具有至少一个放电间隙; 以及具有位于放电间隙内的至少一个尖端的导体电极，其中通过使用脉冲直流电或交流电通过电极跨过电极以1-100KV / cm的强度施加电场频率带宽为50Hz-10GHz，同时在电极之间供应反应气体，从而引起空心阴极放电，毛细管放电或来自放电间隙的高积累电荷。本发明的装置防止等离子体向电弧的转换，从而以高密度提供稳定的低温等离子体。

6. 实用新型

KR200253571Y1 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치 失效
标题翻译：在大气压下产生低温等离子体的装置
公开(公告)号：KR200253571Y1
公开(公告)日：2001-11-22
申请号：KR2020010023485
申请日：2001-08-02
申请人： (주)에스이피
发明人： 남기석 , 이상로 , 이구현 , 나종주 , 김종국
IPC分类号： H05H1/48
摘要： 본 고안은 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키는 장치에 관한 것으로, 본 고안의 장치는, 일측은 전원공급수단에 연결되고 타측은 접지되며 서로 이격되어 마주보게 한쌍의 전극이 설치되고; 전극이 서로 마주보는 면에 서로 대향되고 한 개 이상의 방전간극을 가진 유전체가 장착되어 있으며; 방전간극내에 돌기부를 가진 도체전극이 설치된 구조를 가지며, 이 장치에 전원공급수단을 통해 50Hz∼10GHz 주파수 대역의 펄스 직류 또는 교류전원의 전기장을 1∼100kV/cm 세기로 인가하면 유전체 방전간극에서 중공음극방전(hollow cathode discharge), 캐필러리 방전(capillary discharge) 및 전기장의 고집적화 효과가 유도되어 플라즈마를 발생시킬 수 있다.
본 고안에 따른 장치는 대기압에서 발생된 플라즈마가 아크로 전이하는 현상을 억제하며, 낮은 방전개시 및 유지전압으로 두 전극 사이에서 온도가 낮고 밀도가 높은 플라즈마를 안정하게 발생시킬 수 있고 전원공급장치 및 전극의 제작이 용이해짐은 물론 접합, 연마, 세정, 박막증착, 살균, 소독, 오존제조, 인쇄, 염색, 엣칭, 수도물 및 폐수정화, 공기 및 자동차 배기가스 등의 정화 및 고휘도 램프 제조 등에 유용하게 활용될 수 있다.

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