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11. 发明授权

KR101213613B1 레이저 용접 장치 및 레이저 용접 방법 有权
标题翻译：激光焊接设备和激光焊接方法
公开(公告)号：KR101213613B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020107023893
申请日：2009-04-10
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 호즈미히사시 , 도가사와유타카 , 마츠자키겐지 , 시마무라미츠아키 , 오카다사토시 , 고노와타루 , 요다마사키
IPC分类号： B23K26/12 , B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/20
CPC分类号： B23K26/037 , B23K26/032 , B23K26/042 , B23K26/1224 , B23K26/14 , B23K26/1464 , B23K26/21 , B23K31/125
摘要： 레이저용접장치는, 외측프레임(9) 내에, 내부가투광성및 반사성을구비한구획부재(15)에의해, 광원측(1a)과조사측(1b)으로분할되고, 조사측(1b)의선단부에개구부(19)가형성된레이저조사헤드(1)를갖는다. 개구부(19)에직렬로연결되어용접시공부위(31)에레이저광을조사하는동시에, 용접시공부위(31)에불활성가스를분사하도록형성된가스분사노즐(21)과, 용접와이어(11)의선단부가용접시공부위(31)와접촉하도록, 용접와이어(11)를순차이송하는용접와이어이송관(23)을갖는다. 조사측(1b)의선단부와용접와이어(11)의선단부의거리를계측하는계측수단을구비하고, 탄성부재(33)에의해용접와이어(11)의선단부를용접시공부위(31)에가압하면서접촉하도록형성된용접와이어접촉기구(13)를갖는다.

12. 发明授权

KR100952317B1 반도체 제조 장치 有权
标题翻译：半导体制造装置
公开(公告)号：KR100952317B1
公开(公告)日：2010-04-09
申请号：KR1020020073092
申请日：2002-11-22
申请人： 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
发明人： 순페이야마자키 , 히사시오타니 , 마사아키히로키 , 코이치로타나카 , 아이코시가 , 마이아키바
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： H01L21/02678 , B23K26/04 , B23K26/0604 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/12 , B23K26/1224 , B23K26/123 , B23K26/127 , H01L21/02683 , H01L21/2026
摘要： 기판의 가공 효율을 향상시키고, 반도체 막의 이동도를 향상시키기 위한 레이저 결정화 기술을 이용하는 반도체 제조 장치를 제공한다. 다중 챔버 시스템의 반도체 제조 장치는 반도체 막을 형성하기 위한 성막 장비(film formation equipment)와 레이저 조사 장비를 포함한다. 레이저 조사 장비는 조사 대상물에 대한 레이저 조사 위치를 제어하기 위한 제 1 수단과, 레이저 광을 방출하기 위한 제 2 수단(레이저 발진기)과, 레이저 광을 가공 및 집광하기 위한 제 3 수단(광학 시스템) 및 상기 제 2 수단의 발진을 제어하고 제 3 수단에 의해 가공된 레이저 광의 빔 스폿이 마스크 구조(패턴 정보)에 대한 데이터에 기초하여 결정된 위치를 덮는 방식으로 상기 제 1 수단을 제어하기 위한 제 4 수단을 포함한다.
레이저 광, 챔버, 반도체 막, 레이저 발진기, 광학 시스템

13. 发明公开

KR1020090064511A 레이저 스크라이빙 방법 无效
标题翻译：激光扫描的过程
公开(公告)号：KR1020090064511A
公开(公告)日：2009-06-19
申请号：KR1020087030460
申请日：2007-05-25
申请人： 텔 쏠라 아게
发明人： 반로버트
IPC分类号： B23K26/08 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/082 , B23K26/083 , B23K26/12 , B23K26/1224 , B23K26/123 , B23K26/364
摘要： A method for accurately laser scribing lines in thin coatings on a panel, typically a solar panel (11), utilising a laser beam scanner unit (13) including an optical system and a scanner lens characterised by the steps of: using the unit (13) to move a laser beam (12) in a first direction (X) to scribe sections of lines (15) on the panel (11) that are a fraction of the total line length required; moving the unit (13) continuously with respect to the panel (11) in a second direction (Y) perpendicular to the first direction (X) to form a band (16) of scribe lines; positioning the scanner unit (13) so that the starting position of scribe lines in each band next to be processed overlap exactly the finishing position ends of scribe lines in the last band that has been processed so that all scribe lines interconnect; and repeating the using and moving steps to form a plurality of parallel bands of scribe lines to cover the full area of the panel with continuous scribe lines.
摘要翻译：一种利用包括光学系统和扫描仪透镜的激光束扫描仪单元（13）在面板（通常是太阳能电池板）上精确地激光划线的方法，其特征在于以下步骤：使用该单元（13））沿第一方向（X）移动激光束（12）以划分面板（11）上的线（15）的部分，其是所需总线长度的一部分; 在垂直于第一方向（X）的第二方向（Y）上相对于面板（11）连续地移动单元（13），以形成划线带（16）; 定位扫描器单元（13），使得在待处理的每个带中的划线的起始位置与已经被处理的最后一个频带中的划线的完成位置的末端完全重叠，使得所有划线互连; 并且重复使用和移动步骤以形成多个划线的平行带，以用连续划线覆盖面板的整个区域。

14. 发明授权

KR100343051B1 고융점 재료의 용융접합장치 및 그 방법 失效
标题翻译：具有高熔点的材料的熔丝连接的装置和方法
公开(公告)号：KR100343051B1
公开(公告)日：2002-07-02
申请号：KR1019997011235
申请日：1999-03-31
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 다케다마모루 , 호리우치마코토 , 구리모토요시타카 , 메구로다케시 , 사코다모토미
IPC分类号： B23K26/12 , B29C65/00 , H01J9/26
CPC分类号： B23K26/123 , B23K26/034 , B23K26/12 , B23K26/1224 , B23K26/127 , B23K26/206 , H01J9/26 , H01J9/266 , H01J2209/261
摘要： 본발명은고융점재료의용융접합장치및 그방법에관한것으로서, 용융접합장치는접합대상물(3, 201)을주위의압력(P3)에비해작은압력(P4, P5)으로유지하고, 레이저광(L)을접합대상물(3, 201)에조사하여용융시키며, 또접합대상물(3, 201)의용융부(4, 207)에주위의압력(P3)과접합대상물(3, 201)의내압(P4, P5)의차압에의해용융부(4, 207)를서로눌러접합시키고, 이와같이대상물에균일하게작용하는외기압에의해가열용융부를내부로수축시켜확실하게접합할수 있는것을특징으로한다.

15. 发明公开

KR1020160102661A 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치 有权
标题翻译：使用具有放射结构的梁的接触式加工装置
公开(公告)号：KR1020160102661A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020150025009
申请日：2015-02-23
申请人： 국민대학교산학협력단
发明人： 정재일
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/12 , B23K26/70
CPC分类号： B23K26/38 , B23K15/0026 , B23K15/06 , B23K26/1224 , B23K26/703
摘要： 본발명은가공물이외의구성품에빔이직접조사되는것을방지함으로써진공챔버내부의과열을방지하여가공의정밀도향상을도모할수 있는방열구조를갖는빔을이용한비접촉가공장치에관한것으로, 내부에진공압을제공하는진공챔버; 상기진공챔버에내장되어빔을하부로조사하는빔조사기; 상기빔조사기의하부에설치된상태로표면에가공물이고정되는픽스쳐; 상기픽스쳐의하부에서상기픽스쳐를지지하면서 Y축방향으로이동가능하게설치되어상기픽스쳐와함께 Y축방향으로이동하는 Y축스테이지; 상기 Y축스테이지의하부에배치된상태로상기 Y축스테이지가 Y축방향으로이동가능하게결합되고, 상기진공챔버에 X축방향으로이동가능하게결합되어상기 Y축스테이지와함께 X축방향으로이동하는 X축스테이지; 상기 Y축스테이지와상기 X축스테이지에제각기이동력을제공하는이송유닛; 및상기빔조사기의빔을상기 X축스테이지나상기 Y축스테이지에직적조사됨이없이상기진공챔버의바닥면으로안내하면서상기바닥면을냉각시켜서상기진공챔버내부의과열을방지하는과열방지부를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用具有热辐射结构的光束的非接触式处理装置，其能够通过防止光束直接照射到除了处理物品之外的部件，从而提高真空室中的过热，从而提高加工精度。非接触处理装置包括：真空室内部提供真空压力; 通过安装在真空室中将光束辐射到下部的光束辐射器; 固定在表面上的处理物品的灯具，并安装在光束辐射器的下部; Y轴平台，其安装成在Y轴上移动，同时在固定装置的下部支撑固定装置，其中Y轴台沿着Y轴与夹具移动; X轴平台连接到Y轴平台以在Y轴上移动，同时安装在Y轴台的下部，其中X轴平台连接到真空室以在X轴上移动，沿Y轴平台向X轴方向移动; 传送单元，其分别向Y轴平台和X轴台提供移动力; 以及防过热单元，在将辐射体的光束引导到真空室的底面的同时将底部表面冷却而不直接将光束辐射到X轴台或Y轴台，并且防止真空室中的过热。

16. 发明公开

KR1020160048995A 다중-코어 섬유를 통해 에너지를 전파함으로써 표면 상에 3차원 앵커링 구조들을 형성하기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：通过多芯纤维传播能量来形成表面三维锚固结构的方法
公开(公告)号：KR1020160048995A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：KR1020167008693
申请日：2014-08-15
申请人： 지멘스 에너지, 인코포레이티드
发明人： 브룩,제랄드제이. , 카멜,아흐메드
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/06 , F01D5/28 , F01D5/32 , B23K101/00 , B23K103/02
CPC分类号： F01D5/326 , B23K20/10 , B23K26/0006 , B23K26/0078 , B23K26/0081 , B23K26/0084 , B23K26/0608 , B23K26/0613 , B23K26/0622 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/1224 , B23K26/123 , B23K26/126 , B23K2201/001 , B23K2203/02 , B23K2203/172 , B23K2203/50 , B23K2203/52 , F01D5/282 , F01D5/288 , F01D9/02 , F05D2220/32 , F05D2230/13 , F05D2230/90
摘要： 표면상에 3차원앵커링구조들을형성하기위한방법이제공된다. 이방법은, 자신의구성코팅들에대한향상된부착성을보이는열장벽코팅시스템을초래할수 있다. 방법은, 고형재료(14)의표면(12) 상에액화베드(16)를형성하기위해다중-코어섬유(4)의제 1 부분(7)을통해제 1 레이저빔(20)을고형재료(14)의표면(12)에인가하는단계, 그다음으로, 액화베드(16) 외측에액화재료의튀어오름형상(28)과같은디스터번스(disturbance)를야기하기위해다중-코어섬유(4)의제 2 부분(6)을통해레이저에너지(24)의펄스를액화베드(16)의일부분에인가하는단계를포함한다. 그에따라, 액화재료의튀어오름형상(28)의고형화시에 3차원앵커링구조(30)가표면(12) 상에형성될수 있다.

17. 发明公开

KR1020130009631A 레이저 가공머신 有权
标题翻译：激光加工机
公开(公告)号：KR1020130009631A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020120073748
申请日：2012-07-06
申请人： 리, 춘-하오
发明人： 리,춘-하오
IPC分类号： B23K26/382
CPC分类号： B23K26/38 , B23K26/032 , B23K26/0853 , B23K26/0876 , B23K26/1224 , B23K26/16 , B23K26/361 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , B23K2203/52
摘要： PURPOSE: A laser processing machine is provided to eliminate the static electricity generated on the surface after a work piece is located, thereby preventing dust particles from falling back onto the surface of the work piece during processing and avoiding wiring failure. CONSTITUTION: A laser processing machine comprises a cavity(210), a laser system(220), at least one processing platform(230), at least one upper motion platform(240). The laser system is disposed at a lower part inside the cavity, and used for outputting a laser beam of which direction is opposite to the gravity direction. The processing platform is disposed at an upper part inside the cavity, and includes an absorption surface(231) and a connection surface(232) facing each other. The adsorption surface is located below the connection surface, and is used for adsorbing a work piece. The upper motion platform is disposed at the upper part inside the cavity, and is correspondingly connected to the connection surface of the processing platform, in order to cause the processing platform to move. The processing platform comprises a substrate made of a porous material; and an airflow system(235) which is connected to the substrate and used for generating a positive pressure airflow on a surface of the substrate to lift the work piece, or generating a negative pressure airflow on the surface of the substrate to absorb the work piece.
摘要翻译：目的：提供一种激光加工机，以消除工件位于表面后产生的静电，从而防止灰尘颗粒在加工过程中落到工件表面，避免布线故障。构成：激光加工机包括空腔（210），激光系统（220），至少一个处理平台（230），至少一个上运动平台（240）。激光系统设置在空腔内的下部，用于输出与重力方向相反的方向的激光束。处理平台设置在空腔内部的上部，并且包括彼此面对的吸收表面（231）和连接表面（232）。吸附面位于连接面下方，用于吸附工件。上部运动平台设置在空腔内的上部，并且相应地连接到处理平台的连接表面，以使处理平台移动。处理平台包括由多孔材料制成的基板; 和气流系统（235），其连接到所述基板并且用于在所述基板的表面上产生正压气流以提升所述工件，或者在所述基板的表面上产生负压气流以吸收所述工件。

18. 发明公开

KR1020120048692A 레이저 조사 장치 및 레이저 시공 방법 有权
标题翻译：激光辐射装置和激光加工方法
公开(公告)号：KR1020120048692A
公开(公告)日：2012-05-15
申请号：KR1020127007443
申请日：2010-08-20
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 우에하라다쿠야 , 치다이타루 , 미야사카히로유키
IPC分类号： B23K26/122 , G21C19/02
CPC分类号： G21C17/017 , B23K26/122 , B23K26/1224 , B23K26/128 , B23K26/146 , B23K26/703 , G21C17/01 , G21C19/207 , H01S3/005 , H01S3/025 , H01S3/0407
摘要： 레이저 조사 장치(1)는, 레이저 발진기(21)를 수용하고 수중에 배치되는 환경 격리 용기(2)와, 레이저를 집광하여 시공부에 조사하는 레이저 조사 헤드(4)와, 레이저 발진기(21)로부터 레이저 조사 헤드(4)까지 레이저를 전송하는 도광부(5)와, 레이저 발진기(21)에 전력을 공급하는 전원 장치(6)와, 레이저 발진기(21)에 냉각수 공급 경로를 통해 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 장치(8)와, 환경 격리 용기(2) 내의 온도를 계측하는 온도 센서(T1)를 구비한다. 냉각수 공급 장치(8)로부터 공급되는 냉각수의 온도와 유량 중 적어도 하나는 온도 센서(T1)의 계측 결과에 기초하여 제어된다.

19. 发明公开

KR1020100136523A 레이저 용접 장치 및 레이저 용접 방법 有权
标题翻译：激光焊接设备和激光焊接方法
公开(公告)号：KR1020100136523A
公开(公告)日：2010-12-28
申请号：KR1020107023893
申请日：2009-04-10
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 호즈미히사시 , 도가사와유타카 , 마츠자키겐지 , 시마무라미츠아키 , 오카다사토시 , 고노와타루 , 요다마사키
IPC分类号： B23K26/12 , B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/20
CPC分类号： B23K26/037 , B23K26/032 , B23K26/042 , B23K26/1224 , B23K26/14 , B23K26/1464 , B23K26/21 , B23K31/125
摘要： 레이저 용접 장치는, 외측 프레임(9) 내에, 내부가 투광성 및 반사성을 구비한 구획 부재(15)에 의해, 광원측(1a)과 조사측(1b)으로 분할되고, 조사측(1b)의 선단부에 개구부(19)가 형성된 레이저 조사 헤드(1)를 갖는다. 개구부(19)에 직렬로 연결되어 용접 시공 부위(31)에 레이저광을 조사하는 동시에, 용접 시공 부위(31)에 불활성 가스를 분사하도록 형성된 가스 분사 노즐(21)과, 용접 와이어(11)의 선단부가 용접 시공 부위(31)와 접촉하도록, 용접 와이어(11)를 순차 이송하는 용접 와이어 이송관(23)을 갖는다. 조사측(1b)의 선단부와 용접 와이어(11)의 선단부의 거리를 계측하는 계측 수단을 구비하고, 탄성 부재(33)에 의해 용접 와이어(11)의 선단부를 용접 시공 부위(31)에 가압하면서 접촉하도록 형성된 용접 와이어 접촉 기구(13)를 갖는다.

20. 发明公开

KR1020090015021A 요소 无效
标题翻译：元件
公开(公告)号：KR1020090015021A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：KR1020087023268
申请日：2007-02-23
申请人： 피코데온 리미티드 오와이
发明人： 라팔라이넌레이요 , 루투야리 , 뮈뤼메키베사 , 윌레탈로삼포 , 메키탈로유하 , 풀리라세
IPC分类号： H01L35/34 , H01L35/00
CPC分类号： C23C14/28 , B23K26/0624 , B23K26/1224 , B23K26/123 , B23K26/142 , B23K26/702 , B23K2201/40 , B23K2203/16 , F25B21/02 , H01L35/28 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The invention discloses an element, a manufacturing method and equipment for it, and a use of the element, the element comprising an electrically conductive filmy structure formed of at least one film material for producing a thermal effect in the filmy structure with the help of an electric current.
摘要翻译：本发明公开了一种用于其的元件，制造方法和设备以及元件的使用，该元件包括由至少一种薄膜材料形成的导电膜结构，用于在薄膜结构中产生热效应，借助于电流。

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