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1. 发明授权

KR101213613B1 레이저 용접 장치 및 레이저 용접 방법 有权
标题翻译：激光焊接设备和激光焊接方法
公开(公告)号：KR101213613B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020107023893
申请日：2009-04-10
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 호즈미히사시 , 도가사와유타카 , 마츠자키겐지 , 시마무라미츠아키 , 오카다사토시 , 고노와타루 , 요다마사키
IPC分类号： B23K26/12 , B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/20
CPC分类号： B23K26/037 , B23K26/032 , B23K26/042 , B23K26/1224 , B23K26/14 , B23K26/1464 , B23K26/21 , B23K31/125
摘要： 레이저용접장치는, 외측프레임(9) 내에, 내부가투광성및 반사성을구비한구획부재(15)에의해, 광원측(1a)과조사측(1b)으로분할되고, 조사측(1b)의선단부에개구부(19)가형성된레이저조사헤드(1)를갖는다. 개구부(19)에직렬로연결되어용접시공부위(31)에레이저광을조사하는동시에, 용접시공부위(31)에불활성가스를분사하도록형성된가스분사노즐(21)과, 용접와이어(11)의선단부가용접시공부위(31)와접촉하도록, 용접와이어(11)를순차이송하는용접와이어이송관(23)을갖는다. 조사측(1b)의선단부와용접와이어(11)의선단부의거리를계측하는계측수단을구비하고, 탄성부재(33)에의해용접와이어(11)의선단부를용접시공부위(31)에가압하면서접촉하도록형성된용접와이어접촉기구(13)를갖는다.

2. 发明授权

KR101155370B1 레이저 처리 장치의 가스 분사 수단 有权
标题翻译：燃气喷射装置用于激光加工装置
公开(公告)号：KR101155370B1
公开(公告)日：2012-06-19
申请号：KR1020087029133
申请日：2008-05-14
申请人： 가부시끼가이샤 니혼 세이꼬쇼
发明人： 카토오사무 , 사와이미키
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20
CPC分类号： B23K26/1464 , H01L21/02675 , H01L21/2026
摘要： 레이저 처리 장치에 있어서의 피처리체로의 레이저 조사부의 가스 분위기를 양호하게 형성한다. 피처리체[비정질 반도체 박막(2)]에 레이저 광(6)을 조사해서 상기 피처리체의 처리를 행하는 레이저 처리 장치에 구비되어 있고, 조사 분위기를 형성하는 가스를 상기 피처리체의 상기 레이저 광 조사 부분 근방에 분사하는 가스 분사 수단으로서, 이 분사 수단은 상기 가스의 도입부[가스 공급관(12)]와, 상기 가스가 상기 피처리체를 향해서 분사되는 가스 분사구(15)와, 상기 가스 도입부로부터 상기 가스 분사구에 이르는 가스 유로(13)를 갖고 있고, 이 가스 유로에 가스의 흐름 방향에 대면해서 가스류를 혼란시킴으로써 가스의 흐름 방향과 교차하는 방향에 있어서의 가스류를 균일하게 하는 균류면이 형성되어 있다. 피처리체의 레이저 광 조사부 부근에 균등한 조사 분위기를 형성할 수 있고, 레이저 광의 조사에 의한 처리를 균등하게 그리고 양질로 행할 수 있다.
레이저 처리 장치, 가스 분사 수단

3. 发明授权

KR101813662B1 레이저 프로세싱 시스템들 내의 입자 제어 有权
标题翻译：激光加工系统中的粒子控制
公开(公告)号：KR101813662B1
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：KR1020147010303
申请日：2012-09-14
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 헌터,아론뮤어 , 베흐드자트,메흐란 , 아담스,브루스이.
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/324
CPC分类号： B23K26/127 , B23K26/142 , B23K26/1464
摘要： 본원발명은일반적으로, 기판들을열 프로세싱하기위한레이저프로세싱시스템들에관한것이다. 레이저프로세싱시스템들은레이저프로세싱시스템의에너지공급원과열 프로세싱하고자하는기판사이에배치된차폐부를포함한다. 차폐부는차폐부내의공동근처에배치된광학적으로투명한윈도우를포함한다. 광학적으로투명한윈도우는어닐링에너지가통과할수 있게허용하고그리고기판을조사(照射)할수 있게허용한다. 또한, 차폐부는차폐부내의공동에퍼지가스를도입하고제거하기위한하나또는둘 이상의가스유입구들및 하나또는둘 이상의가스배출구들을포함한다. 퍼지가스는열 프로세싱동안에휘발된또는삭마된구성요소들을제거하기위해서그리고, 무산소와같이, 미리결정된조성의가스를열 프로세싱되는지역에제공하기위해서이용된다.
摘要翻译：本发明一般涉及用于热处理衬底的激光处理系统。激光加工系统包括设置在激光加工系统的能量源与待过热的基板之间的屏蔽件。护罩包括设置在护罩中的空腔附近的光学透明窗口。光学透明的窗口允许退火能量通过并且允许照射衬底。护罩还包括一个或多个气体入口和一个或多个气体出口，用于将吹扫气体引入和移除到护罩中的腔中。吹扫气体用于在热处理过程中除去挥发或烧蚀的组分，并向要加热的区域提供预定组成的气体，例如厌氧。

4. 发明公开

KR1020170070257A 레이저 프로세싱 시스템들 내의 입자 제어 审中-实审
公开(公告)号：KR1020170070257A
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020177015632
申请日：2012-09-14
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 헌터,아론뮤어 , 베흐드자트,메흐란 , 아담스,브루스이.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/268 , B23K26/12 , B23K26/142 , B23K26/14
CPC分类号： B23K26/127 , B23K26/142 , B23K26/1464 , H01L21/67098 , H01L21/268 , H01L21/324
摘要： 본원발명은일반적으로, 기판들을열 프로세싱하기위한레이저프로세싱시스템들에관한것이다. 레이저프로세싱시스템들은레이저프로세싱시스템의에너지공급원과열 프로세싱하고자하는기판사이에배치된차폐부를포함한다. 차폐부는차폐부내의공동근처에배치된광학적으로투명한윈도우를포함한다. 광학적으로투명한윈도우는어닐링에너지가통과할수 있게허용하고그리고기판을조사(照射)할수 있게허용한다. 또한, 차폐부는차폐부내의공동에퍼지가스를도입하고제거하기위한하나또는둘 이상의가스유입구들및 하나또는둘 이상의가스배출구들을포함한다. 퍼지가스는열 프로세싱동안에휘발된또는삭마된구성요소들을제거하기위해서그리고, 무산소와같이, 미리결정된조성의가스를열 프로세싱되는지역에제공하기위해서이용된다.

5. 发明授权

KR101061228B1 재료 처리 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101061228B1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020057017640
申请日：2004-03-18
申请人： 로마 린다 유니버시티 메디칼 센터
发明人： 데니,폴,이. , 이스트맨,제이,알. , 폴러라,폴,엠. , 조셉,앤드류,피. , 필립스,존,에스. , 후앙,타-치에 , 파테나,마이클,엔. , 번햄,팀 , 콜맨,폴
IPC分类号： B23K26/10
CPC分类号： B23K26/0884 , B23K26/032 , B23K26/12 , B23K26/123 , B23K26/128 , B23K26/1464
摘要： An apparatus processes a surface of an inhabitable structure. The apparatus includes a base unit adapted to provide energy waves to an interaction region, the energy waves removing material from the structure. The base unit includes an energy wave generator and a head coupled to the energy wave generator. The head is adapted to remove the material from the interaction region, thereby providing reduced disruption to activities within the structure. The apparatus further includes a manipulation system which includes an anchoring mechanism adapted to be releasably coupled to the structure and a positioning mechanism coupled to the anchoring mechanism and coupled to the head. The manipulation system is adapted to controllably adjust the position of the head relative to the structure. The apparatus further includes a controller electrically coupled to the base unit. The controller is adapted to transmit control signals to the base unit in response to user input.

6. 发明公开

KR1020060013489A 재료 처리 방법 및 장치 有权
标题翻译：材料加工方法与装置
公开(公告)号：KR1020060013489A
公开(公告)日：2006-02-10
申请号：KR1020057017640
申请日：2004-03-18
申请人： 로마 린다 유니버시티 메디칼 센터
发明人： 데니,폴,이. , 이스트맨,제이,알. , 폴러라,폴,엠. , 조셉,앤드류,피. , 필립스,존,에스. , 후앙,타-치에 , 파테나,마이클,엔. , 번햄,팀 , 콜맨,폴
IPC分类号： B23K26/10
CPC分类号： B23K26/0884 , B23K26/032 , B23K26/12 , B23K26/123 , B23K26/128 , B23K26/1464
摘要： An apparatus (50) processes a surface of an inhabitable structure. The apparatus (50) includes a laser base unit (300) adapted to provide laser light to an interaction region, the laser light removing material from the structure. The laser base unit (300) includes a laser generator (310) and a laser head (1200) coupled to the laser generator (310). The laser head (200) is adapted to remove the material from the interaction region, thereby providing reduced disruption to activities within the structure. The apparatus (50) further includes an anchoring mechanism (1110) adapted to be releasably coupled to the structure and releasably coupled to the laser head (1200). The apparatus (50) further includes a controller (500) electrically coupled to the laser base unit (300). The controller (500) is adapted to transmit control signals to the laser base unit (300) in response to user input.
摘要翻译：设备（50）处理可居住结构的表面。所述设备（50）包括适于向相互作用区域提供激光的激光基座单元（300），所述激光基板单元（300）从所述结构提供激光去除材料。激光基座单元（300）包括激光发生器（310）和耦合到激光发生器（310）的激光头（1200）。激光头（200）适于从相互作用区域移除材料，从而减少对结构内活动的破坏。设备（50）还包括适于可释放地联接到结构并且可释放地联接到激光头（1200）的锚固机构（1110）。所述设备（50）还包括电耦合到所述激光基座单元（300）的控制器（500）。控制器（500）适于响应于用户输入将控制信号发送到激光基座单元（300）。

7. 发明公开

KR1020150082259A 내부 가동 요소 및 외부 커버를 구비하는 레이저 노즐 审中-实审
标题翻译：具有内部移动元件和外部盖子的激光喷嘴
公开(公告)号：KR1020150082259A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：KR1020157011313
申请日：2013-10-23
申请人： 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레뜌드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
发明人： 주아노토마 , 르페브르필립보
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/14 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/04 , B23K26/048 , B23K26/123 , B23K26/14 , B23K26/1464 , B23K26/1476 , B23K26/38
摘要： 본출원은노즐본체(1)의전방면(1a)에위치되는제1 출구오리피스(11)를포함하는제1 축방향하우징(5)을포함하는노즐본체(1); 노즐본체(1)의제1 축방향하우징(5)에배치되는가동요소(2)로서, 스커트부를형성하는전방부분(2a) 및상기스커트부를형성하는전방부분(2a)으로부터나오는제2 출구오리피스(12)를갖는축방향통로(4)를포함하는가동요소(2); 및노즐본체(1)와가동요소(2)와의사이에서제1 축방향하우징(5)에배치되는탄성요소(8)를포함하는레이저노즐을기재한다. 본발명에따르면, 가동요소(2)는가동요소(2)에가해지는가스압력의영향하에제1 출구오리피스(11)의방향으로제1 축방향하우징(5)에서병진적으로이동할수 있으며, 탄성요소(8)는가동요소(2)에탄성복귀력을가하여가동요소(2)가제1 축방향하우징(5)에서제1 출구오리피스(11)의방향으로병진이동하는것을저지하는경향이있다. 또한, 노즐은노즐본체(1)의모두또는일부주위에슬리브를형성하는외부커버(13)를포함한다. 본출원은또한집속헤드및 관련레이저절단장치, 및이러한노즐, 이러한레이저집속헤드, 또는이러한장치를실행하는레이저빔 절단공정을규정한다.

8. 发明公开

KR1020150082258A 외부 가동 요소를 구비하는 레이저 노즐 审中-实审
标题翻译：具有外部移动元件的激光喷嘴
公开(公告)号：KR1020150082258A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：KR1020157011311
申请日：2013-10-23
申请人： 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레뜌드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
发明人： 주아노토마 , 르페브르필립보
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/14 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/147 , B23K26/048 , B23K26/1464 , B23K26/38
摘要： 본발명은제1 축방향통로(5)를포함하는노즐본체(1); 축방향하우징(7)을포함하는외부커버(13)로서, 노즐본체(1)가상기축방향하우징(7)에적어도부분적으로배치되어있는외부커버(13); 제2 축방향통로(4) 및스커트부를형성하는전방부분(3a)을포함하는가동요소(3)로서, 외부커버(13)와노즐본체(1)와의사이에배치되고외부커버(13)의축방향하우징(7)에서병진적으로이동가능한가동요소(3); 및외부커버(13)와노즐본체(1)와의사이에서축방향하우징(7)에배치되는탄성요소(8)를포함하는레이저절단을위한노즐에관한것이다. 본발명에따르면, 가동요소(3)는상기보조가스(23)의가스압력의영향하에제1 출구오리피스(14)의방향으로축방향하우징(7)에서병진적으로이동할수 있고그렇게설계되며, 상기압력은상기축방향하우징(7)에적용되고상기가동요소(3)에가해지며, 상기탄성요소(8)는탄성복귀력을가동요소(3)에가하여가동요소(3)의병진이동을저지하는경향이있다. 관련레이저헤드및 장치. 이러한노즐을채용하는레이저절단공정.

9. 发明公开

KR1020130100184A 레이저 비임 및 이동가능한 가압 요소에 의해 작업편을 결합하는 장치 및 방법 无效
标题翻译：通过激光束和可移动压力元件接合工件的装置和方法
公开(公告)号：KR1020130100184A
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：KR1020137014752
申请日：2011-10-20
申请人： 스캔소닉 엠아이 게엠베하
发明人： 하슈케,이고르 , 킬리안,아르베트
IPC分类号： B23K26/20 , B23K26/06 , B23K26/08 , B23K26/02
CPC分类号： B23K26/08 , B23K26/02 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/034 , B23K26/037 , B23K26/04 , B23K26/042 , B23K26/082 , B23K26/1464 , B23K26/22 , B23K26/24 , B23K26/70 , B23K37/04 , B23K37/0443 , B23K2201/006 , B23K2201/18 , B23Q27/00
摘要： 본 발명은, 레이저 비임에 의해 작업편들을 결합하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 상기 장치는: 레이저 비임을 안내하기 위한 스캐너 광학장치; 결합 프로세스 중, 작업편들 중 하나 이상의 작업편 상에 가압 방향을 따라 가압되는 가압 요소; 및 스캐너 광학장치 및 상기 스캐너 광학장치로부터 작업편들을 향해 뻗어있는 레이저 비임을 수용하는 하우징을 포함하며, 여기서, 가압 요소는 상기 하우징의 부품을 형성하며, 하나 이상의 이동 자유도에 의해 상기 하우징의 나머지(rest)에 대해 이동가능하다.
摘要翻译：本发明涉及一种通过激光束连接工件的方法和装置，其中该装置包括：用于引导激光束的扫描器光学元件; 压接元件，其在接合过程中沿着按压方向被按压到至少一个工件上; 以及壳体，其容纳扫描仪光学器件和从扫描器光学器件朝向工件运行的激光束，其中所述按压元件形成所述壳体的一部分并且可相对于所述壳体的其余部件移动至少一个移动自由度。

10. 发明公开

KR1020090089161A 레이저 가공장치 有权
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：KR1020090089161A
公开(公告)日：2009-08-21
申请号：KR1020080014564
申请日：2008-02-18
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 엄승환 , 김현중 , 조운기 , 이광재
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/3065
CPC分类号： B23K26/1464 , B08B7/0042 , B23K26/40 , B23K2203/172
摘要： A laser processing apparatus is provided to improve durability by preventing the laser processing apparatus from being polluted or damaged by the byproduct. A laser beam source(10) emits a laser beam. An optical system(30) processes the energy distribution and the shape of the laser beam emitted from the laser beam source. A processing object processed by the irradiated laser beam is arranged on a stage(40). A suction unit(50) absorbs the byproduct generated when processing the processing object. The suction unit includes a housing, a beam splitter coupled to the housing and a fan absorbing the byproduct. A monitoring unit(60) monitors the laser beam using the laser beam reflected in the beam splitter.
摘要翻译：提供一种激光加工装置，通过防止激光加工装置被副产物污染或损坏来提高耐久性。激光束源（10）发射激光束。光学系统（30）处理从激光束源发射的激光束的能量分布和形状。由照射的激光束处理的处理对象被布置在台（40）上。抽吸单元（50）吸收处理对象时产生的副产品。抽吸单元包括壳体，耦合到壳体的分束器和吸收副产物的风扇。监视单元（60）使用在分束器中反射的激光束来监视激光束。

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