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1. 发明专利

JP6489680B2 距離測定装置、及び距離測定方法有权
公开(公告)号：JP6489680B2
公开(公告)日：2019-03-27
申请号：JP2014148950
申请日：2014-07-22
申请人：株式会社東京精密
发明人：青戸智浩 , 林恭平
IPC分类号： G01B11/24 , G01N21/17 , A61B1/00 , G01B11/00

2. 发明专利

JP6410100B2 干渉計审中-公开
公开(公告)号：JP6410100B2
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：JP2014258420
申请日：2014-12-22
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平 , 森井秀樹 , 青戸智浩
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02

3. 发明专利

JP2015194361A 距離測定システム、距離測定装置、及び距離測定方法有权
标题翻译：距离计量系统，距离计量装置和距离计量方法
公开(公告)号：JP2015194361A
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：JP2014071515
申请日：2014-03-31
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平 , 青戸智浩
IPC分类号： G01N21/45 , G01N21/17
摘要：【課題】高い精度で距離を測定することができる距離測定システムを提供すること。【解決手段】距離測定システムは、入射光として波長を変化させながら光を射出し、入射光を第1入射光と第2入射光に分岐し、第1干渉計により第1入射光に基づいて第1干渉光を生成し、第3入射光として正弦波状に位相を変調させながら光を射出し、第2干渉計により第2入射光に基づいて第2干渉光を生成するとともに、第3入射光に基づいて第3干渉光を生成し、第2干渉光に基づいてサンプリングクロックを生成し、第3干渉光に基づいて第2干渉計における光路差の変化を算出し、第1干渉光と、サンプリングクロックと、光路差の変化とに基づいて第1干渉計から測定対象までの距離を導出する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够以高精度计量距离的距离计量系统。解决方案：距离计量系统被配置为：在改变波长的同时发射光作为入射光; 将入射光分为第一次入射光和第二次入射光; 基于第一入射光由第一干涉仪产生第一干涉光; 发射光作为第三入射光，同时对相进行正弦调制; 通过第二干涉仪基于第二入射光产生第二干涉光; 基于第二干涉光产生采样时钟; 基于第三干涉光计算第二干涉仪中的光程差的变化; 并且基于第一干涉光，采样时钟和光程差的变化，导出从第一干涉仪到测光对象的距离。

4. 发明专利

JP2018169265A 距離測定装置及び距離測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018169265A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：JP2017066103
申请日：2017-03-29
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平
IPC分类号： G01C3/06 , G01B9/02
摘要：【課題】長レンジ且つ高精度の距離測定を低コストかつコンパクトな構成で実施することができる距離測定装置及び距離測定方法を提供する。【解決手段】第1繰り返し周波数の測定光を出射する第1光源と、第1繰り返し周波数とは異なる第2繰り返し周波数の参照光を出射する第2光源と、基準面にて反射された測定光の第1反射光と、測定対象物にて反射された測定光の第2反射光と、第2光源から出射された参照光と、の干渉信号を検出する干渉信号検出部と、干渉信号の包絡波形を生成する包絡波形生成部と、包絡波形から、第1反射光及び参照光の第1干渉信号成分に対応する第1ピーク位置と、第2反射光及び参照光の第2干渉信号成分に対応する第2ピーク位置とを検出するピーク位置検出部と、第1ピーク位置及び第2ピーク位置に基づき、基準面を基準とした測定対象物までの距離を決定する距離決定部と、を備える。【選択図】図8

5. 发明专利

JP2017183760A レーザ周波数安定化方法及びその装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017183760A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2017131976
申请日：2017-07-05
申请人：株式会社東京精密
发明人：川田善之 , 青戸智浩 , 林恭平
IPC分类号： H01S3/137 , H01S5/0687
摘要：【課題】振動や音などの外乱の影響や温度の影響が少なく、レーザ光の周波数を長時間に渡って安定化することができるレーザ周波数安定化方法及びその装置を提供する。【解決手段】ガスセルを含む光学系と、エタロンを含む光学系とを有し、本動作前の前動作には、ガスセルを含む光学系を通過したレーザ光の光強度に基づいてレーザ光源から出射されるレーザ光の周波数を制御し、レーザ光の周波数をガスセルの飽和吸収線の中心周波数に一致させる。エタロンを通過したレーザ光の光強度に基づいてエタロンの温度を制御し、エタロンの共振周波数がレーザ光の周波数、即ち、飽和吸収線の中心周波数に一致するときのエタロンの温度を校正温度として検出する。本動作時には、エタロンを校正温度に維持して、エタロンを含む光学系を通過したレーザ光の光強度に基づいてレーザ光源から出射されるレーザ光の周波数を制御する。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2015158477A 距離測定装置、及び距離測定方法有权
标题翻译：距离计量装置和距离计量方法
公开(公告)号：JP2015158477A
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：JP2014148950
申请日：2014-07-22
申请人：株式会社東京精密
发明人：青戸智浩 , 林恭平
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00
摘要：【課題】高い精度で距離測定を行うことができる距離測定装置、及び距離測定方法を提供すること。【解決手段】入射光として波長を変化させながら光を射出する波長掃引光源と、波長掃引光源から射出された入射光を、複数に分岐された光として、第1参照光と第2参照光と測定光に分岐させ、測定光を照射し、測定光の反射光と第1参照光とを干渉光として合波させる干渉計と、干渉計により反射光と第1参照光が合波された干渉光を検出する干渉光検出部と、第2参照光に基づいて、入射光の波長を検出する波長検出部と、干渉光検出部により検出された干渉光と、波長検出部により検出された入射光の波長とに基づいて、干渉計からの距離を導出する導出部と、を備える距離測定装置である。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够高精度地进行距离计量的距离计量装置和距离计量方法。解决方案：距离计量装置包括：波长扫描光源，其作为入射光发射光，改变波长; 将从波长扫描光源发射的入射光分支为第一参考光，第二参考光和测量光作为多个次分支光的干涉仪，照射测量光并引起测量光的反射光，以及要被复用为干扰光的第一参考光; 干涉光检测单元，其检测具有所述反射光的干涉光和由所述干涉仪多路复用的第一参考光; 波长检测单元，其基于第二参考光检测入射光的波长; 以及衍生单元，其基于由干涉光检测单元检测到的干涉光和由波长检测单元检测的入射光的波长，从干涉仪导出距离。

7. 发明专利

JP2015076578A レーザ周波数安定化方法及びその装置有权
标题翻译：激光频率稳定方法及其装置
公开(公告)号：JP2015076578A
公开(公告)日：2015-04-20
申请号：JP2013213752
申请日：2013-10-11
申请人：株式会社東京精密
发明人：川田善之 , 青戸智浩 , 林恭平
IPC分类号： H01S3/137 , H01S5/0687
摘要：【課題】振動や音などの外乱の影響や温度の影響が少なく、レーザ光の周波数を長時間に渡って安定化することができるレーザ周波数安定化方法及びその装置を提供する。【解決手段】ガスセル20を含む光学系と、エタロン28を含む光学系とを有し、本動作前の前動作(初期設定時等)には、ガスセル20を含む光学系を通過したレーザ光の光強度に基づいてレーザ光源から出射されるレーザ光の周波数を制御し、レーザ光の周波数をガスセル20の飽和吸収線の中心周波数に一致させる。そして、エタロン28を通過したレーザ光の光強度に基づいてエタロン28の温度を制御し、エタロン28の共振周波数がレーザ光の周波数、即ち、飽和吸収線の中心周波数に一致するときのエタロンの温度を校正温度として検出する。本動作時には、エタロン28を校正温度に維持して、エタロン28を含む光学系を通過したレーザ光の光強度に基づいてレーザ光源から出射されるレーザ光の周波数を制御する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种激光频率稳定方法及其装置，其能够在较少的振动和声音以及温度等干扰影响下长时间稳定激光束的频率。解决方案：激光频率稳定装置包括具有气体电池20和包括标准具28的光学系统的光学系统。在实际操作之前的先前操作（初始化等）中，从激光束源发射的激光束的频率为基于通过包括气体电池20的光学系统透射的激光束的光强度进行控制，以将激光束的频率与气体电池20的饱和吸收线的中心频率相匹配。标准具的温度基于通过标准具28的激光束的光强度和谐振频率时的标准具的温度来控制图28 标准具28的ncy匹配激光束的频率，即饱和吸收线的中心频率，被检测为校准温度。在实际操作中，将标准具28保持在校准温度，并且基于通过包括标准具28的光学系统透射的激光束的光强度来控制从激光束源发射的激光束的频率。

8. 发明专利

JP6983374B2 測定装置及び測定方法有权
公开(公告)号：JP6983374B2
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：JP2016226121
申请日：2016-11-21
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01B11/06

9. 发明专利

JP6674619B2 画像生成方法及び画像生成装置有权
公开(公告)号：JP6674619B2
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：JP2015242192
申请日：2015-12-11
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平
IPC分类号： G01B9/02 , G01J3/45 , G01B11/02

10. 发明专利

JP6171256B2 レーザ周波数安定化方法及びその装置有权
公开(公告)号：JP6171256B2
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：JP2013213752
申请日：2013-10-11
申请人：株式会社東京精密
发明人：川田善之 , 青戸智浩 , 林恭平
IPC分类号： H01S3/137 , H01S5/0687

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