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1. 发明专利

JP2020124754A 基板処理装置、および基板処理方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020124754A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019016830
申请日：2019-02-01
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：柏木誠 , 保科真穂
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68 , H01L21/304 , B24B41/06 , B24B47/02 , B24B7/00 , B24B49/12 , G01B11/27 , B24B47/22
摘要：【課題】基板の中心をプロセスステージの軸心に高精度に合わせて、不良基板が発生することを防止できる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は、センタリングステージ10に保持された基板Wの中心の、センタリングステージ10の軸心C1からの偏心量および偏心方向を取得する偏心検出機構54と、基板Wの中心をプロセスステージ20の軸心C2に合わせるアライナー36,41,75とを備える。アライナー36,41,75は、基板Wをセンタリングステージ10からプロセスステージ20に受け渡した後で、偏心検出機構54を用いて基板Wの中心の、プロセスステージ20の軸心C2からの偏心量および偏心方向を取得し、さらに、取得された基板Wの中心の、プロセスステージ20の軸心C2からの偏心量が所定の許容範囲内あることを確認する。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2019133990A ウエーハの加工方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019133990A
公开(公告)日：2019-08-08
申请号：JP2018012815
申请日：2018-01-29
申请人：株式会社ディスコ
发明人：北村宏
IPC分类号： B24B27/06 , B24B7/02 , B24B41/06 , B24B45/00 , B24B47/02 , H01L21/301
摘要：【課題】切削溝の深さを高精度に維持することができるウエーハの加工方法を提供する。【解決手段】ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブル16と、保持されたウエーハを切削する切削ブレードを着脱自在に備えた切削手段24と、加工送りするX軸送り手段と、割り出し送りするY軸送り手段と、を少なくとも備えた加工装置を準備する加工装置準備工程と、切削手段に研削砥石を装着する研削砥石装着工程と、X軸送り手段を作動して研削砥石でチャックテーブルの保持面を研削すると共にY軸送り手段を作動して研削砥石の幅を超えない範囲で割り出し送りして保持面を研削する保持面研削工程と、切削手段から研削砥石を外し切削ブレードを装着する切削ブレード装着工程と、ウエーハをチャックテーブルの保持面に保持する保持工程と、分割予定ラインを切削する切削工程と、を含む。【選択図】図7

3. 发明专利

JP2015208812A 研削加工装置及び方法审中-公开
标题翻译：研磨加工装置及方法
公开(公告)号：JP2015208812A
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：JP2014092097
申请日：2014-04-25
申请人：学校法人日本大学
发明人：山田高三 , 李和樹 , 三浦浩一
IPC分类号： B24B49/14 , B24B7/02 , B24B47/02 , B24B49/16
摘要：【課題】研削加工を、経験値に依存したり、実際に研削した量を測定することなく、短時間で的確に行わせることを可能とする研削加工装置及び方法を提供する。【解決手段】研削加工を行う時の法線抵抗を検出する法線抵抗検出部を備え、制御部7は、設定された切込量で研削加工を行うときに法線抵抗検出部により検出された法線抵抗と設定された切込量とに基づき研削痕深さを算出して設定された切込量となるまで送りを複数パス繰り返すように駆動部5を制御するとき、パスで検出された法線抵抗を用いてその時のパスによる研削痕深さ及び比研削抵抗を算出し、この比研削抵抗から次パスでの法線抵抗を算出し、この算出した法線抵抗から研削痕深さを算出する過程を経ることで目標の研削痕深さを算出して設定された切込量となるまでのパスの回数を求め、研削加工を行なわせることを特徴とする。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种磨削加工装置和在短时间内精确地进行磨削加工的方法，而不依赖于经验值，并且测量实际磨削量。磨削处理装置包括：正常电阻检测部件，其检测当进行研磨处理时的正常电阻，其中当驱动部分5被控制为基于由正常电阻检测部件检测到的正常电阻和设定的缺口量来计算研磨痕迹深度并重复馈送多个路径直到研磨轨迹深度成为设定切削量进行研磨处理时的设定切削量，控制部7计算目标研磨痕迹深度，以计算直到研磨轨迹深度为设定值的路径次数通过计算磨削深度的处理进行研磨处理通过使用在路径处检测到的正常电阻，通过路径进行特定研磨力，从特定磨削力计算下一个路径的正常电阻，以及从计算的正常电阻计算研磨轨迹深度。

4. 发明专利

JP4772299B2 Plane grinding machine of the left and right table feed mechanism 有权
公开(公告)号：JP4772299B2
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：JP2004200974
申请日：2004-07-07
申请人：株式会社三井ハイテック
发明人：孝幸松井 , 洋平河北
IPC分类号： B24B47/02 , B23Q5/34 , B24B7/02

5. 发明专利

JP2010194694A Inverting table guide of surface grinding machine 审中-公开
标题翻译：表面磨床倒角表
公开(公告)号：JP2010194694A
公开(公告)日：2010-09-09
申请号：JP2009045452
申请日：2009-02-27
申请人： Ihi Corp , 株式会社Ihi
发明人： BABA MICHIKO , MIZUNO TOMOO
IPC分类号： B24B47/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To surely lubricate a guide for guiding reciprocation of an inverting table to support speedup of the inverting table.
SOLUTION: The guide for the inverting table of a surface grinding machine for guiding movement of the inverting table 21 provided on an inverting table device 100 of the surface grinding machine to reciprocate in one direction is equipped with a LM guide 17 for permitting a LM rail 19 and a LM block 20 to slide via a guide face 18 between a fixed pedestal 1 and the inverting table 21 of the inverting table device 100. The LM rail 19 has an outlet 33 formed for blowing out lubricant oil to the guide face 18.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：确保润滑引导件以引导反转台的往复运动，以支持翻转台的加速。解决方案：用于引导设置在平面磨床的反转台装置100上的反转台21的运动的平面磨床的反转台的引导件沿一个方向往复运动，配备有LM引导件17，用于允许 LM轨道19和LM滑块20经由导向面18滑动在固定基座1和翻转台装置100的翻转台21之间.LM导轨19具有出口33，该出口形成为用于向导向件吹出润滑油（C）2010，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2006167872A Grinding method and grinder 有权
标题翻译：研磨方法和研磨
公开(公告)号：JP2006167872A
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：JP2004364546
申请日：2004-12-16
申请人： Jtekt Corp , 株式会社ジェイテクト
发明人： WAKAZONO YOSHIO
IPC分类号： B24B49/16 , B24B5/02 , B24B47/02
CPC分类号： B24B51/00 , B24B1/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an environmental corresponding type energy-saving grinding method reducing consuming energy quantity by shortening the working time until finishing from starting of workpiece grinding work and a grinder.
SOLUTION: An emery wheel is positioned by displacing it at least between first and second grinding regions by setting at least the first and second grinding regions of the workpiece at a grinding step to grind by the emery wheel and power consumed by the grinder at a level larger than a prescribed level for a prescribed period of time by setting the power consumed by the grinder at the prescribed level and moving a movable body for the prescribed period of time specified in accordance with the large level.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种环境相应型节能研磨方法，通过缩短工作时间直到完成工件研磨作业和研磨机的开始，从而降低消耗能量。解决方案：通过在研磨步骤中至少设置工件的第一和第二磨削区域以至少在第一和第二磨削区域之间移动金刚砂轮来定位金刚砂轮，以通过砂轮研磨和研磨机消耗的功率通过将研磨机所消耗的功率设定在规定水平，并将可移动体移动达到规定时间长度规定的规定时间，在规定时间以上的水平达到规定水平。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

7. 发明专利

JP2006082158A Grinding method of work and grinding device 审中-公开
标题翻译：研磨方法和研磨装置
公开(公告)号：JP2006082158A
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：JP2004267675
申请日：2004-09-15
申请人： Okamoto Machine Tool Works Ltd , 株式会社岡本工作機械製作所
发明人： YUI AKINORI , OKUYAMA SHIGEKI , ISONO JUNICHI
IPC分类号： B24B47/02 , B24B7/02 , B24B49/10
CPC分类号： B24B7/02 , B23Q17/12 , B24B41/007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding device capable of decreasing a total moving distance sum of a work table in grinding a work, in which a grinding wheel can reverse at a distance where the work table has moved by about 20 to 75 mm more from a position separated from the work by using a vibration sensor.
SOLUTION: In the method to grind a surface of the work 2 by using the grinding wheel 3A, a vibration sensor head 40 set on a chuck surface in the neighborhood of the work detects a vibration signal generated from an interference region of the grinding wheel and the work, the work table 4 is made to proceed in one direction when this vibration signal value E
i is higher than a trigger value E
0 of the previously set vibration signal and the work table 4 is reversed by sending a reversing signal to a driving means of the work table when the vibration signal value E
i reaches lower than the trigger value E
0 of the previously set vibration signal. It is possible to reduce an idle moving distance of the table 4 when the work is not ground.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种研磨装置，其能够减少研磨作业时的工作台的总移动距离和，其中砂轮可以在工作台移动约20度的距离处反转约20至通过使用振动传感器从与工件分离的位置多75毫米。解决方案：在通过使用砂轮3A研磨工件2的表面的方法中，设置在工件附近的卡盘表面上的振动传感器头40检测从工件2的干涉区域产生的振动信号砂轮和工件，当该振动信号值E i 高于先前设定的触发值E 0 时，使工作台4沿一个方向进行当振动信号值E i 达到低于触发值E 0 以前设置的振动信号。当工件不接地时，可以减小工作台4的空闲移动距离。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

8. 发明专利

JP2003275955A Grinding table for liquid crystal display panel and grinding apparatus utilizing the same 审中-公开
标题翻译：液晶显示面板研磨台及其使用的研磨设备
公开(公告)号：JP2003275955A
公开(公告)日：2003-09-30
申请号：JP2002288508
申请日：2002-10-01
申请人： Lg Phillips Lcd Co Ltd , エルジー.フィリップスエルシーデーカンパニー,リミテッド
发明人： SHIN SANG-SUN
IPC分类号： G02F1/13 , B24B9/10 , B24B27/00 , B24B41/06 , B24B47/02 , B25B11/00 , G02F1/1333
CPC分类号： B24B47/02 , B24B9/10 , B24B27/0023 , B24B41/068 , B25B11/005 , G02F1/133351
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding table for a liquid crystal display panel capable of coping with the various sizes of a unit liquid crystal display panel, in grinding the edge of the unit liquid crystal display panel after the liquid crystal display panel manufactured on a large area mother substrate is cut into unit liquid crystal display panels and a grinding apparatus utilizing the grinding table.
SOLUTION: The grinding table for the liquid crystal display panel formed including at least two grinding table units displaceable with each other adapts to the size of the unit liquid crystal display panel, and the grinding apparatus utilizing the grinding table.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够应对各种尺寸的单元液晶显示面板的液晶显示面板的研磨台，在液晶显示器之后研磨单元液晶显示面板的边缘将在大面积母基板上制造的面板切割成单位液晶显示面板和利用研磨台的研磨装置。解决方案：包括至少两个彼此可移位的研磨台单元的液晶显示面板的研磨台适应单元液晶显示面板的尺寸和使用研磨台的研磨装置。版权所有（C）2003，JPO

9. 发明专利

JP2001334442A FEED METHOD OF LUBRICATING OIL TO MOVING TABLE GUIDE FACE OF SUPPORT BODY 失效
公开(公告)号：JP2001334442A
公开(公告)日：2001-12-04
申请号：JP2000155661
申请日：2000-05-26
申请人： OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS
发明人： HASHIMOTO KATSUHIRO , HAYASHI SHIGEO , HASEGAWA YUTAKA , KOSUGI KEIICHI
IPC分类号： B23Q11/12 , B24B47/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a feed method of lubricating oil to a table guide face of a machine tool saving the consumption of the lubricating oil and providing works with superior dimension accuracy. SOLUTION: In this method, the lubricating oil is intermittently fed to the support body guide face of the machine tool having a mechanism for feeding the lubricating oil to the guide face of the support body provided on a bed, and a table having an engagement part positioned by the guide face and slidably supported to the guide, for every prescribed time interval t for a prescribed time t0. This lubricating feed method is characterized in that the optimum feed quantity V0 of the lubricating oil fed to the guide face for a prescribed time to in a specified time T0 when the table continuously reciprocates the guide face of the support body is experimentally found beforehand, the time of the table reciprocating the guide face of the support body in the actual driving of the machine tool is calculated, and the lubricating oil is fed to the support body guide face by a prescribed quantity V0 in the prescribed time t0, when the calculation time becomes time T0.

10. 发明专利

JP2000237939A TANDEM TABLE TYPE ROTARY GRINDER 失效
公开(公告)号：JP2000237939A
公开(公告)日：2000-09-05
申请号：JP3930099
申请日：1999-02-17
申请人： SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES
发明人： MORIYASU FUJIO
IPC分类号： B24B47/02 , B24B7/04 , B24B55/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tandem table type rotary grinder with a simple structure shortening an exchange time of pallet of a pallet exchange type rotary grinder and realizing an enhancement of productivity and a space saving. SOLUTION: This rotary grinder has a wheel head 3 vertically movably provided at a front surface of a column; two moving tables 5, 6 laterally movably arranged in a moving direction on a body bed 1; a rotation mechanism including a driving device of the moving tables 5, 6; two rotation tables 7, 8 providing on the moving tables 5, 6; a rotation mechanism including a driving device of the rotation tables 7, 8; and a splash guard provided at a processing position on the body bed 1 and surrounding a workpiece on a grinding wheel 4 of the wheel head 3 and the rotation tables 7, 8.

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