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1. 发明专利

JP5232305B2 Resonator and oscillator 有权
公开(公告)号：JP5232305B2
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：JP2011532813
申请日：2009-09-28
申请人：株式会社東芝
发明人：隆川久保 , 利彦長野 , 亨彦西垣 , 浩志大野
IPC分类号： H03H9/17 , H03B5/30 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/172 , H03H9/02338 , H03H9/2473 , H03H2009/02496 , H03H2009/241

2. 发明专利

JPWO2011036732A1 共振器および発振器有权
公开(公告)号：JPWO2011036732A1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：JP2011532813
申请日：2009-09-28
申请人：株式会社東芝
发明人：川久保　隆 , 隆川久保 , 利彦長野 , 利彦長野 , 西垣　亨彦 , 亨彦西垣 , 浩志大野 , 浩志大野
IPC分类号： H03H9/17 , H03B5/30 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/172 , H03H9/02338 , H03H9/2473 , H03H2009/02496 , H03H2009/241
摘要：製造プロセスが容易で、超小型化が可能で、温度補償精度が高く、Q値の大きい、圧電膜を使用した温度補償型の共振器および発振器を提供する。基板と、基板上方に形成され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極で構成される平板状の積層体と、積層体を、基板上に固定するためのアンカー部と、積層体の内部の切り欠き部と、切り欠き部に形成され、両端を積層体に支持され、少なくとも下部電極、圧電膜、および上部電極で構成される音叉振動子と、積層体および音叉振動子を非接触に内包し、積層体および音叉振動子への外力の印加を抑制する外囲器と、を備えることを特徴とする共振器。

3. 发明专利

JP2004101392A Dual tuning fork type vibration gyroscopic sensor 有权
标题翻译：双调式振动陀螺仪传感器
公开(公告)号：JP2004101392A
公开(公告)日：2004-04-02
申请号：JP2002264872
申请日：2002-09-11
申请人： Toyo Commun Equip Co Ltd , 東洋通信機株式会社
发明人： TOMIKAWA YOSHIRO , SATO KENJI , ONO ATSUSHI
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/574 , H01L41/08 , H01L41/18 , G01P9/04
CPC分类号： H03H9/2473 , G01C19/5607
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To make a dual tuning fork type structure of a horizontal side-laying type, and to enhance vibration resistance, impact resistance, and accuracy by enlarging a support area, utilizing an in-plane asymmetrical bending secondary mode for a rotation detection mode, in the vibration gyroscopic sensor utilizing Coriolis force.
SOLUTION: The vibration gyroscopic sensor is constituted by integrating two arm parts, driving electrodes formed on the arm parts, and a dual tuning fork supporting part for supporting both ends of the arm parts. The vibration gyroscopic sensor is provided with a detection part connected to the dual tuning fork supporting part, a detection electrode formed at the detection part, and a support fixing part for the detection part. Thus, Coriolis force acting on the arm parts at the time of rotating is transmitted to the detection part through the dual tuning fork supporting part. The bending vibration of the in-plane asymmetrical bending secondary mode is generated in the detection part.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO
摘要翻译：要解决的问题：为了制造水平侧置式的双音叉式结构，并且通过扩大支撑区域来提高抗振性，抗冲击性和精度，利用面内不对称弯曲二次模式对于旋转检测模式，在使用科里奥利力的振动陀螺传感器中。解决方案：振动陀螺传感器由两个臂部，形成在臂部上的驱动电极和用于支撑臂部的两端的双音叉支撑部分组成而构成。振动陀螺仪传感器设置有连接到双音叉支撑部分的检测部分，形成在检测部分处的检测电极和用于检测部分的支撑固定部分。因此，在旋转时作用在臂部上的科里奥利力通过双音叉支撑部传递到检测部。在检测部中产生面内不对称弯曲次模的弯曲振动。版权所有（C）2004，JPO

4. 发明专利

JP5998688B2 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体有权
标题翻译：振动片，振动器，电子设备，电子设备，移动
公开(公告)号：JP5998688B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2012154354
申请日：2012-07-10
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：菊島正幸
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/113 , H03H9/02 , H03H9/10 , H03H9/19 , H03H9/21 , H03H9/215 , H01L41/047
CPC分类号： H01L41/04 , G01L1/162 , G01L9/0022 , H03H9/2473 , H03H9/15

5. 发明专利

JP5875844B2 ピエゾ電気駆動部を備えるMEMS振動ビーム加速度計有权
标题翻译： MEMS振动梁加速度计，其包括一个压电驱动单元
公开(公告)号：JP5875844B2
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：JP2011262232
申请日：2011-11-30
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：ジョン・ストレーロー , ダグ・マクグーガン
IPC分类号： G01L1/10 , G01C19/5621 , B81B3/00 , H01L41/083 , H01L41/08 , G01P15/10
CPC分类号： G01P15/097 , G01L1/162 , H03H9/2473 , H03H2009/02496 , H03H9/02259

6. 发明专利

JP2014027693A Method for adjusting frequency of mem resonator 有权
标题翻译：调谐腔谐振器频率的方法
公开(公告)号：JP2014027693A
公开(公告)日：2014-02-06
申请号：JP2013225038
申请日：2013-10-30
申请人： Robert Bosch Gmbh , ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh
发明人： LUTZ MARKUS , PARTRIDGE AARON
IPC分类号： H03H3/013 , H03H3/007 , H03H9/02 , H03H9/21 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2473 , H03H3/0077 , H03H9/02401 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a micro-electromechanical resonator where an output frequency is adjusted, tuned, set, defined, and/or selected regardless of any of a state before and/or after packaging.SOLUTION: A frequency of a micro-electromechanical resonator is adjusted, tuned, set, defined, and/or selected, by changing material of a mechanical structure of the resonator and/or removing the material from the mechanical structure of the resonator by resistively heating (in a selective or non-selective manner) one or a plurality of elements and/or beams of the mechanical structure (for example, movable or expandable electrodes and/or frequency adjustment structures).
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于制造微机电谐振器的方法，其中输出频率被调整，调整，设定，定义和/或选择，而不管包装之前和/或之后的任何状态如何。解决方案：频率通过改变谐振器的机械结构的材料和/或通过电阻加热（以选择性的方式）从谐振器的机械结构去除材料来调节，调谐，设定，限定和/或选择微机电谐振器或非选择性方式）机械结构的一个或多个元件和/或梁（例如，可移动或可扩展电极和/或频率调节结构）。

7. 发明专利

JP2016058893A 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体审中-公开
标题翻译：振动元件，振动器，振荡器，电子设备和可移动体
公开(公告)号：JP2016058893A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：JP2014183733
申请日：2014-09-09
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：山田明法
IPC分类号： H03H9/19 , H03H9/215 , B81B3/00 , H03H9/24
CPC分类号： H03B5/30 , H03H9/1057 , H03H9/2473 , H03H9/2484 , H03H9/2494 , H03H2009/02299 , H03H2009/02503 , H03H9/2431
摘要：【課題】Q値の低下を低減し、優れた性能を発揮する振動素子、振動子を提供する。【解決手段】振動素子2は、基部4と、基部4からY軸方向に延出する振動腕5、6と、を含み、Z軸方向を厚さ方向とし、単結晶シリコンで構成された振動基板25を備えており、XY面内方向に振動腕5、6が屈曲振動する。振動腕5、6の振動周波数をF[kHz]、振動腕5、6の幅をW[μm]、幅Wの最大値をW max [μm]、振動腕5、6の長さをL[μm]、長さLの最大値をL max [μm]としたとき、下記式(1)および下記式(2)のうちの少なくとも一方の式を満足する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供减少Q值降低并显示出优异性能的振动元件，并进一步提供振动器。解决方案：振动元件2包括基部4和从基部延伸的振动臂5和6 4在Y轴方向上，将Z轴方向作为厚度方向，设置有由单晶硅构成的振动基板25。振动臂5和6在XY面内方向受到弯曲振动。当每个振动臂5和6的振动频率用F [kHz]表示时，每个振动臂5和6的宽度由W [μm]表示，宽度W的最大值由 W [μm]，每个振动臂5和6的长度由L [μm]表示，长度L的最大值由L [μm]表示，下面的公式（1）并满足以下公式（2）。选择图：图1

8. 发明专利

JP5748823B2 MEMS共振器の周波数を調整するための装置及び方法有权
标题翻译：装置和方法用于调节MEMS谐振器的频率
公开(公告)号：JP5748823B2
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：JP2013225038
申请日：2013-10-30
申请人：ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：ルッツ,マルクス , パートリッジ,アーロン
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/013
CPC分类号： H03H9/2473 , H03H3/0077 , H03H9/02401 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527

9. 发明专利

JP5561959B2 Electrostatic vibrator and electronic equipment 有权
公开(公告)号：JP5561959B2
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：JP2009133892
申请日：2009-06-03
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：文雄木村 , 亮平神谷 , 寛高橋 , 竜太光末 , 宜史吉田
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02
CPC分类号： H03H3/0076 , H03H9/2473 , H03H2009/02496

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