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1. 发明专利

JP2017533646A 発振器およびリアルタイムクロック用途のための複数コイルバネＭＥＭＳ共振器有权
公开(公告)号：JP2017533646A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017519316
申请日：2015-10-16
申请人：マイクロチップ・テクノロジー・インコーポレーテッド
发明人：スー・ワン−タイ , クラーク・ジョン・ライアン
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2431 , B81B2201/0271 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02346 , H03H2009/02496
摘要：【課題】【解決手段】複数コイルバネMEMS共振器が、中央アンカと、中央アンカから外側閉リング(104)まで渦巻きパターンで伸びる2以上のコイルバネ(102a、102b)を備えた共振器本体(106)とを備える。各ペアのコイルバネは、中央アンカ上の両側の点から始まり、外側リング上の両側の点まで渦巻きパターンで伸びる。コイルバネの数、コイルバネの長さおよび幅、ならびに、外側リングの重さが、所望の共振周波数を実現するように選択される。外側リング(104)は、垂直の変換器(108)を備えており、外側リング(104)の重さを調整するための穴(130)を備えてもよい。1セットの駆動電極(110)および検知電極(112)が、基板に取り付けられる。【選択図】図10

2. 发明专利

JP2011004250A Resonator and method of manufacturing the same, and oscillator and electronic apparatus 审中-公开
标题翻译：谐振器及其制造方法，振荡器和电子装置
公开(公告)号：JP2011004250A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：JP2009146650
申请日：2009-06-19
申请人： Sony Corp , ソニー株式会社
发明人： MORITA SHINYA
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00 , H03H3/007
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02433 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H2009/02488 , H03H2009/02496 , H03H2009/2442 , Y10T29/49117
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resonator capable of reducing the impedance, as compared with those of conventional types, and to provide a method of manufacturing the resonator, and to provide an oscillator and electronic apparatus which is equipped with such a resonator.SOLUTION: In a vibration part 11 for performing resonance vibration by longitudinal wave vibration according to the frequency of an input AC signal Sin, not less than three insulation films 112 are provided. The total of the area (area of Y-Z end face) in respective insulating films 112 within the vibrating part 11 increases, thus reducing the impedance as compared with those of conventional types. The respective insulating films 112 may vibrate along each of two mutually orthogonal directions, within the vibration surface of the vibration part; may vibrate radially toward an outer peripheral direction from the center of a concentric circle; or may vibrate along a circulating direction in a ring-like vibrating part.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种与常规类型相比能够减小阻抗的谐振器，并且提供一种制造谐振器的方法，并提供一种配备有这种谐振器的振荡器和电子设备。解决方案：在根据输入的AC信号Sin的频率通过纵波振动进行共振振动的振动部11中，设有不小于3个的绝缘膜112。振动部11内的各个绝缘膜112中的面积（Y-Z端面的面积）的总和增加，因此与常规类型相比减小了阻抗。相应的绝缘膜112可以在振动部分的振动表面内沿着两个相互正交的方向中的每一个振动; 可以从同心圆的中心径向向外周方向振动; 或者可以在环状振动部中沿循环方向振动。

3. 发明专利

JP2005271191A Micromechanical electrostatic resonator 有权
标题翻译：微电子静电共振器
公开(公告)号：JP2005271191A
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：JP2004244835
申请日：2004-08-25
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： KIHARA TATSUJI , NAKAJIMA TAKUYA , FURUHATA MAKOTO
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , B81C3/00 , H02N1/00 , H02N2/00 , H03H3/007 , H03H9/00 , H03H9/02 , H03H9/10 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micromechanical electrostatic resonator which easily contrives high frequency, increases a ratio of the output voltage to the input voltage, contrives the low drive voltage and saves the power consumption. SOLUTION: The micromechanical electrostatic resonator 100 includes a plate-shaped vibration body 105, a pair of electrodes 107, 107 arranged oppositely to each other at both sides of the vibration body with a gap 106 from an outer circumferential portion of the vibration body, a feeding device 110 to apply the in-phase alternating-current power to the pair of electrodes, and detecting device 103, 120 to obtain the output corresponding to a change in capacitance between the vibration body and the electrodes. The planar shape of the vibration body takes a shape having a curved outline with a neck portion. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了提供容易产生高频率的微机械静电谐振器，增加输出电压与输入电压的比率，提供低驱动电压并节省功耗。解决方案：微机械静电谐振器100包括板状振动体105，在振动体两侧彼此相对布置的一对电极107,107，具有来自振动的外周部分的间隙106 馈送装置110，用于向一对电极施加同相交流电力;以及检测装置103,120，以获得对应于振动体和电极之间的电容变化的输出。振动体的平面形状具有带颈部的弯曲轮廓的形状。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

4. 发明专利

JP2017537500A 発振器およびリアルタイムクロック用途のための複合バネＭＥＭＳ共振器审中-公开
公开(公告)号：JP2017537500A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2017519315
申请日：2015-10-16
申请人：マイクロチップ・テクノロジー・インコーポレーテッド
发明人：クラーク・ジョン・ライアン
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要：【課題】【解決手段】複合バネMEMS共振器が、共振器本体を形成する複合バネブロック(55、95)ならびに1または複数の複合バネブロック(54a)を形成する1または複数のバネユニットセルを用いて構築された共振器本体を備える。各複合バネブロックは、高い品質係数を保障するために節点に固定される(56、58)。共振器本体は、さらに、複合バネブロックの開放端に取り付けられ、駆動/検知電極(66、68)に容量結合されたマス(60a、60b、94a、94b)を備える。バネユニットセルの寸法、複合バネブロックのバネユニットセルの数、マスのサイズおよび重さ、ならびに、支持ビームの長さおよび幅が、所望の共振周波数を実現するように選択される。共振器本体(90)を形成するために、複数の共振器ユニットが、並列に接続されてもよい。一方、複合バネブロックの数が、MEMS共振器の所望の電気的特性(インピーダンスなど)を調整するために選択される。リリース穴(94)が、共振器本体の重さを調整するために用いられてもよい。【選択図】図3

6. 发明专利

JP2008516217A Oscillating mass resonator 审中-公开
公开(公告)号：JP2008516217A
公开(公告)日：2008-05-15
申请号：JP2007535218
申请日：2005-10-05
申请人：コミツサリアタレネルジーアトミーク
发明人：エリザベス・デェレヴォイ
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/574
CPC分类号： G01C19/574 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2431 , H03H2009/02354 , H03H2009/02503 , H03H2009/2442
摘要：たとえばレートジャイロとして使用されると共に振動する質量体(１１,１２)を具備してなる装置における振動する質量体(１１,１２)の懸架および連結ビーム(１４,１５,１６,１７)は、単一であってかつ一続きの系を形成するが、この系によって装置の構造をコンパクトなものとすることができる。好ましくは、接続ビーム(１６)が、上記二つの振動する質量体を取り囲んでいる。

8. 发明专利

JP4844526B2 Resonator, oscillator, and communication device 有权
公开(公告)号：JP4844526B2
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：JP2007255864
申请日：2007-09-28
申请人：ソニー株式会社
发明人：伸也盛田 , 朗秋葉
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/2463 , H03H2009/02354 , H03H2009/02511

9. 发明专利

JP2009005325A Resonator, oscillator and communication apparatus 有权
标题翻译：谐振器，振荡器和通信装置
公开(公告)号：JP2009005325A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：JP2007255864
申请日：2007-09-28
申请人： Sony Corp , ソニー株式会社
发明人： MORITA SHINYA , AKIBA AKIRA
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/2463 , H03H2009/02354 , H03H2009/02511
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a Q value by equalizing stresses applied to the structures of respective resonator elements in a parallel resonator and vibration parts of respective resonator elements and to provide a filter using the resonator, and a communication apparatus.
SOLUTION: A plurality of resonator elements 21 each of which includes lower electrodes 26, 27 and a vibration part 24 through space are connected in parallel, the plurality of resonator elements 21 are arranged as to form a closed system, and the vibration parts 24 of the plurality of resonator elements 21 are continuously and integrally formed.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

10. 发明专利

JP2008546243A The micro-electro-mechanical resonator structure and a method of designing the same, method of operation, and how to use 有权
公开(公告)号：JP2008546243A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：JP2008512325
申请日：2006-05-03
申请人：ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh
发明人：パートリッジ，アーロン , ルッツ，マルクス
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2405 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
摘要：【課題】直線状の又は実質的に直線状の複数のビーム区分と、これらのビーム区分を連結する湾曲区分とを含むマイクロ電気機械的共振器構造を提供する。
【解決手段】細長いビーム区分の各々は、先端が、湾曲区分を介して別の細長いビーム区分に連結されており、これによって、湾曲区分によって相互連結された少なくとも二つの細長いビーム区分を持つ幾何学的形状（例えば、丸みのある三角形形状、丸みのある正方形又は矩形形状）を形成する。構造は、一つ又はそれ以上の節点又は節領域（共振器構造の振動中に定置であり、ほとんど動かず、及び／又は実質的に定置の共振器構造の部分）を、構造の湾曲区分の一つ又はそれ以上の部分又は領域に含む。これらの節点は、共振器構造を基材に固定するのに適した及び／又は好ましい位置である。作動では、共振器構造は、伸長（即ちブリージング）モード及びベンディングモードの組み合わせで振動する。即ち、ビーム区分（同じ周波数で振動する）は、伸長様（即ちベンディング様）動作及びベンディング様動作を行うのである。
【選択図】図１

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