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    • 10. 发明专利
    • Semiconductor device
    • 半导体器件
    • JP2014146647A
    • 2014-08-14
    • JP2013013150
    • 2013-01-28
    • Toshiba Corp株式会社東芝
    • KONDO YOSHIYUKISOTOZONO AKIRA
    • H01L21/336H01L29/78
    • H01L29/0843H01L29/0895H01L29/66356H01L29/7391
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device capable of preventing deterioration in sub-threshold swing.SOLUTION: A semiconductor device comprises: a first diffusion layer of a first conductivity type, and a second diffusion layer of a second conductivity type reverse to the first conductivity type, provided separately from a semiconductor layer; a gate insulating film provided on the semiconductor layer between the first diffusion layer and the second diffusion layer; a gate electrode provided on the gate insulating film; a pocket region of the second conductivity type provided on a surface part of the semiconductor layer adjacently to the first diffusion layer; and a first extension region of the first conductivity type provided on the semiconductor layer so as to cover at least a part of the pocket region. The second diffusion layer side end part of the first extension region is located at the second diffusion layer side from the second diffusion layer side end part of the pocket region.
    • 要解决的问题:提供一种能够防止亚阈值摆动的劣化的半导体器件。解决方案:一种半导体器件包括:第一导电类型的第一扩散层和与第二导电类型相反的第二导电类型的第二扩散层 第一导电类型,与半导体层分开设置; 设置在所述第一扩散层和所述第二扩散层之间的所述半导体层上的栅极绝缘膜; 设置在所述栅极绝缘膜上的栅电极; 设置在与第一扩散层相邻的半导体层的表面部分上的第二导电类型的袋区域; 以及设置在所述半导体层上以覆盖所述袋区域的至少一部分的所述第一导电类型的第一延伸区域。 第一延伸区域的第二扩散层侧端部位于距袋区域的第二扩散层侧端部的第二扩散层侧。