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热词
    • 6. 发明专利
    • Micro-mechanical device
    • 空值
    • JP4037394B2
    • 2008-01-23
    • JP2004269911
    • 2004-09-16
    • 株式会社東芝
    • 隆 川久保亨彦 西垣利彦 長野和秀 阿部
    • H02N2/00B81B3/00H01G5/18H01H57/00H01L41/08H01L41/09H01L41/18H01L41/22
    • H01H57/00H01G5/18H01G5/38H01H2057/006H01L41/094H01L41/0946H01L41/0953Y10S977/837
    • A piezoelectric actuator includes a first beam including a first bottom electrode, a first piezoelectric film on the first bottom electrode, and a first top electrode on the first piezoelectric film, a fixed end assigned at an end of the first beam and fixed on a substrate, a connecting end assigned at another end of the first beam and suspended over a free space; and a second beam including a second piezoelectric film connected to the first piezoelectric film at the connecting end, a second bottom electrode under the second piezoelectric film, and a second top electrode on the second piezoelectric film, a working end assigned at an end of the second beam opposite to another end to which the connecting end is assigned and suspended over the free space; wherein a distance between centers of the fixed end and the working end is shorter than a distance from the working end to the connecting end.
    • 压电致动器包括第一梁,该第一梁包括第一底电极,第一底电极上的第一压电膜和第一压电膜上的第一顶电极,分配在第一梁的端部并固定在基板上的固定端 ,分配在第一梁的另一端并悬挂在自由空间上的连接端; 以及第二光束,包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜,第二压电膜下的第二底电极和第二压电膜上的第二顶电极,分配在第二压电膜的端部的工作端 第二梁相对于连接端被分配并悬挂在自由空间上的另一端; 其中固定端和工作端的中心之间的距离短于从工作端到连接端的距离。
    • 10. 发明专利
    • 可変容量バンク装置
    • 可变电容器银行设备
    • JP2016171224A
    • 2016-09-23
    • JP2015050620
    • 2015-03-13
    • 株式会社東芝
    • 丸藤 竜之介小野 大騎山崎 宏明久留井 慶彦池橋 民雄
    • H01G15/00H01G5/011H01G5/16
    • H01G5/38H01G5/011H01G5/16
    • 【課題】MEMS素子を用いた複数の容量バンクの並列接続による、高信頼性で高耐電力の可変容量バンク装置を提供する。 【解決手段】容量バンクの各々は、基板10上に設けられた下部電極21、22と、下部電極21との間に固定の第1の静電容量が形成される第1の駆動電極31と、下部電極22との間に固定の第2の静電容量が形成される第2の駆動電極32と、駆動電極31との間に可変の第3の静電容量が形成され、かつ、駆動電極32との間に可変の第4の静電容量が形成される共通の上部電極40と、を具備している。第1及び第2の静電容量は、同一の容量バンクで同じに設定され、かつ、異なる容量バンク間で異なるように設定される。第3及び第4の静電容量は、同一の容量バンクでも異なる容量バンク間でも同じに設定されている。 【選択図】図4
    • 要解决的问题:提供一种通过使用MEMS元件并联多个电容器组构成的可变电容器组装置,并且具有高可靠性和高电力耐久性。解决方案:每个电容器组包括:下电极21,22 设置在基板10上; 第一驱动电极31,用于提供形成在下电极21与其本身之间的固定的第一静电电容; 用于提供固定的第二静电电容的第二驱动电极32,其形成在下电极22与其本身之间; 以及用于在驱动电极31和公共上电极之间形成的可变的第三静电电容以及形成在驱动电极32和公共上电极之间的可变的第四静电电容的公共上电极40。 第一静电电容和第二静电电容被设置为具有相同的电容器组的值和不同的电容器组的值。 对于同一个电容器组和不同的电容器组,第三静电电容和第四静电电容被设置为具有相同的值。选择图:图4