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    • 3. 发明专利
    • 露光装置、及び構造の生産方法
    • 曝光装置,以及所述结构的制备方法
    • JPWO2013084906A1
    • 2015-04-27
    • JP2013548255
    • 2012-12-05
    • 株式会社日立ハイテクノロジーズ
    • 直也 中井直也 中井佳定 江畠佳定 江畠
    • H01L21/027G01B11/30G02B5/18G03F7/20
    • G03F7/70408G02B27/60G03F7/7085G03H1/0402G03H1/0486G03H1/28G03H2001/0413
    • フォトレジストなどに干渉縞を露光して所望の凹凸形状を製作しようとするとき、干渉縞の周期を事前に知る必要がある。干渉縞の周期を事前に確認するためには、従来技術では、でき上がった凹凸形状に対して、顕微鏡で観察する、もしくは光を入射した際に回折する角度を計測し、所望の周期であることが確認されるまで、干渉縞を形成するための光束の入射角を微細に変えながら、露光、現像、観察(計測)の工程を繰り返す必要がある。このような作業には時間がかかる。つまり、従来技術では、干渉縞の確認に時間がかかるという点については配慮がなされていなかった。繰り返し使用可能な蛍光試料を有する標準試料によって、モアレを観察し、干渉縞の周期を調整することで、調整時間の短縮を行う。
    • 当试图通过将干涉图案如光致抗蚀剂,以制造期望的凹凸形状时,必须知道的干涉条纹的提前期。 它以确认的干涉条纹的提前期,在现有技术中,相对于成品,显微镜,或衍射的角度下观察的不均匀当入射光被测量,所需周期 在那里,直到确认,同时改变光束的入射角,以精细地形成干涉图案,曝光,显影,有必要重复观测(测量)的过程。 这些工作需要时间。 也就是说,在现有技术中,尚未作出考虑,它需要时间来确认干涉条纹的点。 进行具有可重复使用的荧光样品,观察莫尔条纹,通过调整干涉条纹的周期的标准样品,以缩短调整时间。
    • 6. 发明专利
    • Transmission type volume hologram recording medium and method for manufacturing the same
    • 传输型卷筒式记录介质及其制造方法
    • JP2010261977A
    • 2010-11-18
    • JP2009110166
    • 2009-04-28
    • Daicel Chem Ind Ltdダイセル化学工業株式会社
    • MIZUTA TOMOYAMIYAKE HIROTO
    • G03H1/02G11B7/0065G11B7/24
    • G03H1/02G03H1/0248G03H1/0272G03H2001/0264G03H2001/0413G03H2250/37G11B7/24044G11B7/245
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transmission type volume hologram recording medium to be used in a two-beam hologram recording system, the recording medium having high diffraction efficiency and remarkably reducing the intensity of first-order and subsequent diffracted light, which is a cause of noise.
      SOLUTION: The transmission type volume hologram recording medium is configured by holding a volume hologram recording layer formed of a photosensitive composition for volume hologram recording between facing substrates containing different kinds of raw materials. Preferably, both of the substrates holding the volume hologram recording layer have transparency in a visible ray region and a thickness in the range from 2 to 2,000 μm. The difference in the refractive index between the two substrates holding the volume hologram recording layer is 0.001 to 0.5, preferably. The difference in the thickness between the two substrates holding the volume hologram recording layer is in the range from 1 to 1,500 μm, preferably.
      COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:为了提供在双光束全息图记录系统中使用的透射型体积全息图记录介质,该记录介质具有高的衍射效率并且显着地降低了一次及其后的衍射光的强度, 这是噪音的原因。 解决方案:透射型体积全息图记录介质通过将由用于体积全息图记录的感光组合物形成的体积全息图记录层保持在包含不同种类的原料的面对基板之间来构造。 优选地,保持体积全息图记录层的两个基板在可见光区域中具有透明度,并且在2至2,000μm的范围内具有厚度。 保持体积全息图记录层的两个基板之间的折射率的差别优选为0.001〜0.5。 保持体积全息图记录层的两个基板之间的厚度差在1〜1500μm的范围内。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT
    • 7. 发明专利
    • Hologram fabrication method, and hologram fabricated by the method
    • HOLOGRAM制造方法和由该方法制成的HOLOGRAM
    • JP2008122669A
    • 2008-05-29
    • JP2006306501
    • 2006-11-13
    • Dainippon Printing Co Ltd大日本印刷株式会社
    • KUMAZAWA SHIGEKOKURASHIGE MAKIOKITAMURA MITSURUWATABE TAKECHIKA
    • G03H1/04G03H1/08
    • G03H1/28B42D25/328G03H1/0011G03H1/08G03H1/202G03H2001/0413G03H2001/0415
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for fabricating a hologram, having superior designability and security performance by a simple method, and to provide a hologram fabricated by the method. SOLUTION: A computer-generated hologram (OGH) 1 is irradiated with a first reconstruction illuminating light 2, so as to construct first diffraction light 3. The first diffraction light 3 and first reference light 4 are made incident simultaneously on a first-stage hologram recording material 11 arranged near a first reconstructed image, so as to record a first-stage hologram. The first-stage hologram 11 is irradiated with a second reconstruction illuminating light 5, so as to generate a second diffraction light 6. The second diffraction light 6 and second reference light 7 are simultaneously made incident on a second-stage hologram recording material 21 arranged near a second reconstructed image, and the second-stage hologram is recorded as a volume-type hologram. As the CGH1, the one recorded using object light, spreading only to a one-dimensional direction is used; and upon the recording of the first-stage hologram, as the first reconstruction illuminating light 2, diffusion illuminating light diffusing to a direction orthogonal to the one-dimensional direction is used. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供一种制造全息图的方法,通过简单的方法具有优异的设计性和安全性能,并提供通过该方法制造的全息图。 解决方案:用第一重建照明光2照射计算机生成的全息图(OGH)1,以构成第一衍射光3.第一衍射光3和第一参考光4同时入射到第一衍射光 台阶全息图记录材料11,其布置在第一重建图像附近,以便记录第一级全息图。 用第二重构照明光5照射第一级全息图11,以产生第二衍射光6.第二衍射光6和第二参考光7同时入射到布置在第二级全息图记录材料21上的第二级全息图 靠近第二重建图像,并且第二级全息图被记录为体积型全息图。 作为CGH1,使用使用物体光记录的一个,仅扩散到一维方向; 并且在记录第一级全息图时,作为第一重建照明光2,使用扩散到与一维方向正交的方向的扩散照明光。 版权所有(C)2008,JPO&INPIT