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    • 2. 发明专利
    • イメージング装置
    • JP2021177206A
    • 2021-11-11
    • JP2020082019
    • 2020-05-07
    • 株式会社島津製作所
    • 長田 侑也
    • G03H1/08
    • 【課題】測定対象物の画像を得る際、その画像を実際の測定対象物にできる限り近い画像として得ることにある。 【解決手段】イメージング装置10は、干渉計1と画像生成部11とを備える。干渉計1は、測定対象物Mから発せられた光L0が透過する際、光L0を第1光L1と第2光L2とに分割する光分割部4と、第1光L1を反射させて、光分割部4に戻す第1反射面51を有する第1反射部5Aと、第2光L2を反射させて、光分割部4に戻す第2反射面52を有する第2反射部5Bと、第1反射部5Aを光分割部4に対して接近および離間可能に支持する移動支持部6と、第1反射部5Aによって戻された第1光L1と、第2反射部5Bによって戻された第2光L2とを受光する受光面71を有する受光部7と、光分割部4と測定対象物Mとの間に設けられ、測定対象物Mから発せられた光L0を第2反射部5Bの第2反射面52に向けて集光する集光光学系8とを備える。 【選択図】図1