会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明专利
    • KR20210034906A - Optical apparatus for inspecting probe card needle
    • KR20210034906A
    • 2021-03-31
    • KR1020190116843A
    • 2019-09-23
    • 최민영
    • 최민영윤정렬
    • G01N21/956G01N21/17G01N21/88G01R1/067
    • G01N21/95607G01N21/1717G01N21/8806G01N21/8851G01R1/06711
    • 본 발명은 프로브 카드 니들 검사용 광학장치에 관한 것으로, 검사 대상인 프로브 카드의 니들 상태를 관찰하기 위한 광을 조사하는 비전 검사용 광원유닛; 광축정렬을 위한 기준이 되는 마스크 이미지를 결상시키기 위한 광을 조사하는 광축정렬용 광원유닛; 상기 비전 검사용 광원유닛으로부터 조사된 광이 투과되어 상기 검사 대상인 프로브 카드의 니들을 비추거나, 상기 광축정렬용 광원유닛으로부터 조사된 광이 투과되어 상기 마스크 이미지가 광축정렬 기준 위치에 형성되도록 하는 대물렌즈부; 상기 비전 검사용 광원유닛 또는 광축 정렬용 광원유닛으로부터 조사된 광은 반사시켜 일 방향을 따라 상기 대물렌즈부에 투과되게 하고, 상기 일 방향과 반대한 타 방향으로 상기 대물렌즈부를 투과한 광은 통과시키는 제1빔 스플리터(Beam Splitter)부; 및 상기 제1빔 스플리터로부터 통과되어 인식되는 상기 검사 대상인 프로브 카드의 니들 이미지 혹은 상기 마스크 이미지를 획득하는 촬상유닛;을 포함하며, 상기 대물렌즈부는 25mm 이상의 작업거리(Working Distance) 및 1um 이하의 광학 분해능(Optical Resolution)을 갖추도록 마련된다.