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    • 7. 发明专利
    • 分光器、及び分光器の製造方法
    • 光谱仪和制造光谱仪的方法
    • JP2015148485A
    • 2015-08-20
    • JP2014020665
    • 2014-02-05
    • 浜松ホトニクス株式会社
    • 能野 隆文柴山 勝己
    • G01J3/18G01J3/36
    • G01J3/0264G01J3/021G01J3/0256G01J3/0262G01J3/0286G01J3/0291G01J3/04
    • 【課題】検出精度の低下を抑制しつつ小型化を図ることができる分光器、及びそのような分光器を容易に製造することができる分光器の製造方法を提供する。 【解決手段】分光器1Aは、光通過部21及び光検出部22が設けられた光検出素子20と、光通過部21及び光検出部22との間に空間Sが形成されるように光検出素子20に固定された支持体30と、支持体30に設けられ、空間Sにおいて、光通過部21を通過した光L1を反射する第1反射部11と、光検出素子20に設けられ、空間Sにおいて、第1反射部11で反射された光L1を反射する第2反射部12と、支持体30に設けられ、空間Sにおいて、第2反射部12で反射された光L1を光検出部22に対して分光すると共に反射する分光部40と、を備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够在抑制检测精度下降的同时能够小型化的光谱仪,并提供一种使得能够容易地制造这种光谱仪的光谱仪的制造方法。解决方案:光谱仪1A包括:光 具有光通路部分21和光检测部分22的检测元件20; 固定在光检测元件20上的支撑体30,使得在光通过部21和光检测部22之间形成空间S. 设置在支撑体30中的第一反射部11,用于在空间S中反射经过光通过部21的光L1; 设置在光检测元件20中的第二反射部分12,用于在空间S中反射已被第一反射部分11反射的光L1; 以及设置在支撑体30中的用于在空间S中分离和反射由光检测部22的第一反射部11反射的光L1的分光部40。