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    • 6. 发明专利
    • 分光測定装置及び分光測定方法
    • 光谱仪器和光谱方法
    • JP2015087144A
    • 2015-05-07
    • JP2013223980
    • 2013-10-29
    • セイコーエプソン株式会社
    • 多津田 哲男
    • G01J3/26
    • G01J3/32G01J3/26G01J3/2803
    • 【課題】任意の測定対象に対して分光測定を行う場合でも、測定時間の短縮を図ることができる分光測定装置及び分光測定方法を提供する。 【解決手段】分光測定装置1は、入射光から所定の波長の光を選択的に出射させ、かつ出射させる光の波長を変更可能な波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5から出射された光が露光されることで、露光量に応じた検出信号を出力する受光素子11と、複数の波長のそれぞれに対して、露光量が異なる複数の検出信号を取得する検出信号取得部23と、取得された複数の検出信号のうち、信号レベルが受光素子11の飽和露光量に対応した最大信号レベル未満で、かつ、最も大きい検出信号を選択する選択部24と、を備えた。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供即使对任何测量对象进行光谱测定也能够减少测量时间的光谱测定装置和光谱测定方法。解决方案:光谱测定装置1包括:波长可变干涉滤光器5,其允许预定波长的光 能够从入射光选择性地发射并能够改变要发射的光的波长; 由从波长可变干涉滤光器5发射的光曝光的光接收元件11,以根据曝光量输出检测信号; 检测信号获取单元23,其针对多个波长中的每一个获取曝光量不同的多个检测信号; 以及选择单元24,其选择所获取的多个检测信号的信号电平小于与光接收元件11的饱和曝光量相对应的最大信号电平和最大值的检测信号。
    • 8. 发明专利
    • Spectroscopic measuring apparatus
    • 光谱测量装置
    • JP2013101071A
    • 2013-05-23
    • JP2011245517
    • 2011-11-09
    • Seiko Epson Corpセイコーエプソン株式会社
    • SANO AKIRA
    • G01J3/26G02B26/00
    • G01J3/0297G01J3/027G01J3/10G01J3/26G01J3/32G01J3/42G01J2003/2879G02B26/001
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic measuring apparatus capable of promptly measuring spectral characteristics.SOLUTION: A spectroscopic measuring apparatus 1 includes: a wavelength variable interference filter 5 including a fixed substrate with a fixed reflection coating, a movable substrate with a movable reflection coating, and an electrostatic actuator which bends the movable substrate by voltage application to vary a gap amount of a gap between the reflection coatings; a detector 11 which detects light volume; and a control part 20 which measures spectral characteristics of measurement object light. The control part 20 includes: a filter drive part 21 which applies drive voltage to the electrostatic actuator to vary the gap between the reflection coatings; a detected light volume acquisition part 23 which acquires the light volume to be detected by the detector 11; and a target light volume acquisition part 24 which acquires the light volume corresponding to the vibration center of the movable substrate as target light volume on the basis of a transition state of the detected light volume and a characteristic vibration cycle which the movable substrate has.
    • 要解决的问题:提供能够及时测量光谱特性的光谱测量装置。 解决方案:光谱测量装置1包括:波长可变干涉滤光器5,其包括具有固定反射涂层的固定基板,具有可移动反射涂层的可移动基板和通过施加电压使可移动基板弯曲的静电致动器 改变反射涂层间隙的间隙量; 检测器11,其检测光量; 以及测量被测光的光谱特性的控制部20。 控制部分20包括:过滤器驱动部分21,其向静电致动器施加驱动电压以改变反射涂层之间的间隙; 获取由检测器11检测的光量的检测光量获取部23; 以及目标光量获取部分24,其基于检测到的光量的过渡状态和可动基板具有的特征振动周期,获取与可移动基板的振动中心相对应的光量作为目标光量。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT