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1. 发明专利

JP2018136335A ART・MSトラップにおける微量ガス濃度审中-公开
公开(公告)号：JP2018136335A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2018076592
申请日：2018-04-12
申请人：エムケーエスインストルメンツインコーポレーテッド , MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
发明人：ブラッカー・ジェラルド・エー , スウィニー・ティモシー・シー , ラスボーン・ジー・ジェフリー
IPC分类号： H01J49/42 , G01N27/62
CPC分类号： G01N27/64 , F04B35/04 , F04B37/00 , F04B37/02 , F04B37/06 , G01N1/405 , G01N27/60 , H01J49/06 , H01J49/162 , H01J49/24 , H01J49/4245
摘要：【課題】イオントラップにおける微量ガス成分の検出限界を高める。【解決手段】イオントラップにおいて特定ガス種を検出する方法であって、特定ガス種は、最初、ある容量のガス中で第一低濃度の微量成分であり、特定ガス種を含むガスをイオン化し、それによって特定イオン種を生成する。さらに、特定イオン種がイオントラップに閉じ込められて軌道に収まる静電ポテンシャルを生成する。また、閉じ込められた特定イオン種を、励起周波数を有するAC励起源で励起し、AC励起源の励起周波数をスキャンして特定イオン種をイオントラップから放出し、放出された特定イオン種を検出する。さらに、励起周波数をスキャンして特定ガス種のイオンを放出するのに先立って、イオントラップ内の特定イオン種の濃度を第一低濃度に対して高める。【選択図】図5

2. 发明专利

JP6121549B2 ゲッターポンプ有权
公开(公告)号：JP6121549B2
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：JP2015536247
申请日：2013-09-24
申请人：サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア
发明人：アントニオ・ボヌッチ , ルカ・ヴィアーレ
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/14 , H01J7/18 , H01J7/183 , H01J41/20

3. 发明专利

JPWO2014132758A1 オービトロンポンプ、およびオービトロンポンプを用いた電子線装置审中-公开
标题翻译： O型双特隆泵，以及使用一O形双特隆泵的电子束装置
公开(公告)号：JPWO2014132758A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2015502831
申请日：2014-02-05
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：実金田 , 実金田 , 伊藤　博之 , 博之伊藤 , 村越　久弥 , 久弥村越
IPC分类号： H01J41/16 , F04B37/02 , H01J37/18
CPC分类号： F04B37/02 , H01J37/18 , H01J41/16 , H01J2237/06341 , H01J2237/1825 , H01J2237/28
摘要：オービトロンポンプの長寿命化を実現する。アノード(1)、カソード(2)及び電子放出用フィラメント(3)がポンプチャンバ(4)の内部に配置されたオービトロンポンプにおいて、カソード(2)の表面に非蒸発ゲッター材料があるようにする。そうすると、カソードの体積を増やすことにより、排気速度低下やガス放出量増加などのポンプ性能低下を起こすことなくポンプの長寿命化を実現できる。
摘要翻译：为了实现O型BI特隆泵的寿命长。阳极（1）中，在阴极（2）和位于所述电子发射灯丝的内部O形双特隆泵（3）是一个泵室（4），使得存在的非蒸发吸气剂材料向阴极的表面（2）。然后，通过增加阴极的体积，可以在不使泵的性能下降，例如抽气速度减小，并且气体排出量增加而得到泵的寿命。

4. 发明专利

JP5669659B2 クライオポンプ及び真空排気方法有权
标题翻译：低温泵和真空排气方法
公开(公告)号：JP5669659B2
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：JP2011090347
申请日：2011-04-14
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：福田　奨 , 奨福田
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/14 , F04B37/02

5. 发明专利

JP2014181631A Cryopump, and evacuation method for non-condensable gas 有权
标题翻译： CRYOPUMP，和用于不易燃气体的排放方法
公开(公告)号：JP2014181631A
公开(公告)日：2014-09-29
申请号：JP2013057050
申请日：2013-03-19
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： YATSU TAKAHIRO
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/085
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cryopump suitable for evacuation of non-condensable gas, and an evacuation method.SOLUTION: A cryopump 10 comprises: a radiation shield 30 including a shield front end 28 that defines a shield opening 26, a shield bottom part 34, and a shield side part 36 that extends between the shield front end 28 and the shield bottom part 34; and a cryopanel assembly 20 that is cooled to a temperature lower than that of the radiation shield 30. The cryopanel assembly 20 comprises: a first panel arrangement 61 including a plurality of first adsorption panels 60; and a plurality of second panel arrangements 63 each including a plurality of second adsorption panels 62. A plurality of adsorption sections each exposed to the shield side part 36 are formed in a grid pattern by the first panel arrangement 61 in cooperation with the plurality of second panel arrangements 63.
摘要翻译：要解决的问题：提供适合于排出不可冷凝气体的低温泵和排气方法。解冻：低温泵10包括：辐射屏蔽层30，其包括限定屏蔽开口26的屏蔽前端28，屏蔽底部部分34和在屏蔽前端28和屏蔽底部34之间延伸的屏蔽侧部分36; 冷冻板组件20被冷却至低于辐射屏蔽30的温度。冷冻板组件20包括：第一板装置61，其包括多个第一吸附板60; 以及多个第二面板装置63，每个第二面板装置63包括多个第二吸附面板62.各个暴露于屏蔽侧部分36的多个吸附部分通过第一面板装置61与多个第二吸收面面板装置63。

6. 发明专利

JP3759879B2 Temperature response moveable type shielding devices that are connected in a straight line between the getter pump and the turbo pump 有权
公开(公告)号：JP3759879B2
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：JP2000577411
申请日：1999-10-19
申请人：サエスゲッターズソチエタペルアツィオニ
发明人：ビアレ，ルカ , モラヤ，マルコ
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02

7. 发明专利

JP2018529538A マイクロ流体デバイスのためのパッシブ型ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2018529538A
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：JP2018531290
申请日：2016-03-18
申请人：ノースカロライナステートユニバーシティ
发明人：カミンズブライアンエム. , リグラーフランセズスミス , ウォーカーグレン
IPC分类号： B01J19/00 , B81C3/00 , G01N37/00 , B81B1/00
CPC分类号： B01L3/50273 , B01L3/5023 , B01L3/502746 , B01L2200/027 , B01L2200/06 , B01L2200/12 , B01L2300/069 , B01L2300/0816 , B01L2300/087 , B01L2300/0883 , B01L2300/0887 , B01L2300/12 , B01L2300/126 , B01L2400/0406 , B01L2400/0457 , B01L2400/084 , F04B19/006 , F04B19/16 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04F99/00 , F05B2280/50
摘要：パッシブ型マイクロ流体ポンプが本明細書で提供される。本ポンプは、流体入口、吸収領域、流体入口と吸収領域との流体接続させる抵抗領域、及び抵抗領域、吸収領域、又はそれらの組み合わせを閉じ込める蒸発バリアを備え得る。抵抗領域は、第1の多孔質媒体と、この第1の多孔質媒体を通した流体入口から吸収領域への流体流動路を定義する流体不導性境界と、を備え得る。吸収領域は、抵抗領域から吸水された流体の所定の体積を吸収するようにサイズ決定される第2の多孔質媒体の体積を定義する流体不導性境界を備え得る。抵抗領域及び吸収領域は、流体入口が流体と接触しているときに、流体入口から抵抗領域を通って吸収領域へと前進する、毛細管によって駆動される流体正面を確立するように構成され得る。【選択図】図1

8. 发明专利

JP2017522481A ゲッターポンプシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2017522481A
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：JP2016567349
申请日：2015-06-24
申请人：サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア
发明人：アントニオ・ボヌッチ , パオロ・マニーニ , ファブリツィオ・シヴィエロ , ピエールジョルジョ・ソナト
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/02
CPC分类号： H01J41/12 , F04B37/02 , F04B37/14 , H01J41/20
摘要：線形加速器又はより具体的には高容量の環境に特に有用なゲッターポンプシステムであって、線形支持体(110、110’、110”、・・・、110n)を有する複数のゲッターカートリッジ(100、100’、100”、・・・、100n)及び複数の線形ヒータ(120、120’、・・・、120n)が、少なくとも0.5m2の表面積を有する壁に高密度配置で接続されている、ゲッターポンプシステム。

9. 发明专利

JP6133821B2 非蒸発型ゲッター及び非蒸発型ゲッターポンプ有权
公开(公告)号：JP6133821B2
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：JP2014162078
申请日：2014-08-08
申请人：有限会社真空実験室
发明人：渡辺文夫 , 渡辺励起
IPC分类号： H01J7/18 , F04B37/04 , F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02 , F04B37/08 , H01J7/18 , H01J7/186

10. 发明专利

JP2015104721A コールドトラップ有权
标题翻译：冷藏
公开(公告)号：JP2015104721A
公开(公告)日：2015-06-08
申请号：JP2013249352
申请日：2013-12-02
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：谷津貴裕
IPC分类号： F04B37/08 , F04B37/16 , F04D19/04 , B01D8/00
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/14
摘要：【課題】比較的大きい排気能力を有するインライン型コールドトラップを狭い設置スペースに適合する。【解決手段】真空容器12と該真空容器12のための真空ポンプとの間に配設されるコールドトラップ10において、コールドパネル24は、真空容器12の排気口30から真空ポンプの吸気口31への排気流路18に配置される。コールドパネル容器26は、排気流路18を真空容器12の排気口に接続するための入口部と、排気流路18を真空ポンプの吸気口31に接続するための出口部と、を備える。出口部は、入口部に対し偏心して設けられている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：将具有较大排气能力的在线式冷阱适应于狭窄的安装空间。解决方案：在设置在真空容器12和用于真空容器12的真空泵之间的冷阱10中，冷面板24设置在从真空容器12的排气口30到真空泵的吸入口31的排气流路18中。冷板容器26包括：用于将排气流路18与真空容器12的排气口连接的入口部; 以及用于将排气流路18与真空泵的吸入口31连接的出口部。出口部分被设置成相对于入口部分偏移。

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