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1. 发明专利

JP6124626B2 クライオポンプ及びその再生方法有权
公开(公告)号：JP6124626B2
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：JP2013049483
申请日：2013-03-12
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：木村敏之
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
CPC分类号： F04B37/085 , F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/00

2. 发明专利

JP6057782B2 クライオポンプ有权
标题翻译：低温泵
公开(公告)号：JP6057782B2
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：JP2013043541
申请日：2013-03-05
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人： ▲高▼橋走
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08

3. 发明专利

JP5868224B2 クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット有权
标题翻译：低温泵系统，该低温泵系统的操作的方法，和压缩机单元
公开(公告)号：JP5868224B2
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：JP2012050725
申请日：2012-03-07
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：松井孝聡
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08 , F25B45/00 , F25B9/14 , F25B2345/002 , F25B2345/003 , F25B2345/004 , F25B2600/05

4. 发明专利

JP2015001186A クライオポンプ有权
标题翻译： CRYOPUMP
公开(公告)号：JP2015001186A
公开(公告)日：2015-01-05
申请号：JP2013125819
申请日：2013-06-14
申请人：住友重機械工業株式会社 , Sumitomo Heavy Ind Ltd
发明人： OIKAWA TAKESHI
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00
摘要：【課題】クライオポンプのガス吸蔵量を向上する。【解決手段】クライオポンプ10は、冷凍機16と、放射シールド30を備える第1クライオパネル18と、第1クライオパネル18に囲まれており、第1クライオパネル18より低温に冷却される第2クライオパネル20と、を備える。放射シールド30は、第2クライオパネル20の側方に位置し冷凍機16を放射シールド30に取り付けるための取付座37と、取付座37に隣接して第2クライオパネル20を囲むシールド部分と、を備える。第2クライオパネル20と取付座37との間には側方隙間43が形成され、第2クライオパネル20とシールド部分との間には側方隙間43に連続する隙間部44が形成されており、側方隙間43の幅と隙間部44の幅とを合わせるように第2クライオパネル20の形状または配置が調整されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提高低温泵的储气能力。解冻：低温泵10包括：冰箱16; 包括辐射屏蔽30的第一冷冻板18; 以及由第一冷冻板18包围并被冷却到低于第一冷冻板18的温度的第二冷冻板20。辐射屏蔽层30包括：位于第二冷冻板20旁边的安装座37，以将冰箱16安装到辐射屏蔽 30; 以及与安装座37相邻以围绕第二冷冻板20的屏蔽部分。在第二冷冻板20和安装座37之间形成有侧面间隙43，并且在侧面间隙43之间形成有与侧面间隙43连续的间隙部分44 冷冻板20和屏蔽部分。调节第二冷冻板20的形状或布置，使得侧面间隙43的宽度等于间隙部分44的宽度。

5. 发明专利

JP2014181631A Cryopump, and evacuation method for non-condensable gas 有权
标题翻译： CRYOPUMP，和用于不易燃气体的排放方法
公开(公告)号：JP2014181631A
公开(公告)日：2014-09-29
申请号：JP2013057050
申请日：2013-03-19
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： YATSU TAKAHIRO
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/085
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cryopump suitable for evacuation of non-condensable gas, and an evacuation method.SOLUTION: A cryopump 10 comprises: a radiation shield 30 including a shield front end 28 that defines a shield opening 26, a shield bottom part 34, and a shield side part 36 that extends between the shield front end 28 and the shield bottom part 34; and a cryopanel assembly 20 that is cooled to a temperature lower than that of the radiation shield 30. The cryopanel assembly 20 comprises: a first panel arrangement 61 including a plurality of first adsorption panels 60; and a plurality of second panel arrangements 63 each including a plurality of second adsorption panels 62. A plurality of adsorption sections each exposed to the shield side part 36 are formed in a grid pattern by the first panel arrangement 61 in cooperation with the plurality of second panel arrangements 63.
摘要翻译：要解决的问题：提供适合于排出不可冷凝气体的低温泵和排气方法。解冻：低温泵10包括：辐射屏蔽层30，其包括限定屏蔽开口26的屏蔽前端28，屏蔽底部部分34和在屏蔽前端28和屏蔽底部34之间延伸的屏蔽侧部分36; 冷冻板组件20被冷却至低于辐射屏蔽30的温度。冷冻板组件20包括：第一板装置61，其包括多个第一吸附板60; 以及多个第二面板装置63，每个第二面板装置63包括多个第二吸附面板62.各个暴露于屏蔽侧部分36的多个吸附部分通过第一面板装置61与多个第二吸收面面板装置63。

6. 发明专利

JP2014173571A Cryopump and regeneration method of the same 有权
标题翻译： CRYOPUMP及其再生方法
公开(公告)号：JP2014173571A
公开(公告)日：2014-09-22
申请号：JP2013049483
申请日：2013-03-12
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： KIMURA TOSHIYUKI
IPC分类号： F04B37/08 , F04B37/16
CPC分类号： F04B37/085 , B01D8/00 , F04B37/00 , F04B37/08
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cryopump and a regeneration method of the cryopump which facilitates discharge of water in the regeneration of the cryopump.SOLUTION: A regeneration method of a cryopump includes: a first discharge process (S12) in which the exhaust of a cryopump container and supply of purge gas are alternately performed in a first pressure range; and a second exhaust process (S18) in which exhaust of the cryopump container to a low pressure region falling below the first pressure range is performed. In the second exhaust process, whether the second exhaust process is completed or not is judged in the low pressure region at least one time and, prior to the initial time judgment of whether the second exhaust process is completed or not, purge gas is supplied to the cryopump container.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种低温泵的低温泵和再生方法，其有利于在低温泵的再生中排出水。解决方案：低温泵的再生方法包括：第一排放过程（S12），其中排气在第一压力范围内交替地进行低温泵容器和吹扫气体的供给; 以及第二排气处理（S18），其中低温泵容器的排气低于第一压力范围的低压区域。在第二排气处理中，至少在低压区域中判断第二排气处理是否完成，并且在初始时间判断第二排气处理是否结束之前，向第低温泵容器。

7. 发明专利

JP2013543952A Cryopump with a controlled hydrogen gas release 有权
公开(公告)号：JP2013543952A
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：JP2013541053
申请日：2011-11-23
申请人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
发明人：エアコバッチ・マイケル・ジェイ , バートレット・アレン・ジェイ , キャセロ・ジョン・ジェイ , ウェルス・ジェフリー・エー
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08 , F04B37/14
摘要： A cryopump system includes a cryopump having a first cooling stage and a second cooling stage connected to the first cooling stage, the second cooling stage including a gas adsorber having a hydrogen adsorbing capacity of at least about 2 standard liters. The thermal storage capacity of the second cooling stage is sufficient to enable control of hydrogen pressure within the cryopump to satisfy ignition safety limits and limits on hydrogen flow rate in an exhaust line to be within limits of an abatement system to be coupled to the cryopump, upon warming of the second cooling stage during regeneration of up to a fully loaded cryopump.

8. 发明专利

JP2013170568A Cryopump, method for regenerating cryopump, and device for controlling cryopump 有权
标题翻译： CRYOPUMP，再生CRYOPUMP的方法和用于控制CRYOPUMP的装置
公开(公告)号：JP2013170568A
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：JP2012037239
申请日：2012-02-23
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： FUKUDA SUSUMU
IPC分类号： F04B37/08 , F04B37/16
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cryopump with a small number of temperature sensors arranged so as to be useful in shortening a temperature rise time.SOLUTION: A cryopump 10 includes: an one-step panel 20 cooled by an one-step stage 22 of a refrigerator 16; a two-step panel 18 cooled by a two-step stage 24 of the refrigerator 16; panel temperature sensors 94 and 96 provided in at least one side of the one-step panel 20 and the two-step panel 18; stage temperature sensors 90 and 92 provided on at least one side of the one-step stage 22 and the two-step stage 24; and a control section 100 for controlling evacuation based on the measured temperatures of the stage temperature sensors 90 and 92. The control section 100 controls the regeneration including a temperature rise step for the cryopanel and uses the measured temperatures of the panel temperature sensors 94 and 96 exclusively in the regeneration. The control section 100 completes the temperature rise step based on the measured temperatures of the panel temperature sensors 94 and 96.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有少量温度传感器的低温泵，其布置成可以有助于缩短温度上升时间。解冻：低温泵10包括：由一步级22冷却的一步式面板20 的冰箱16; 由冰箱16的两级台24冷却的两级面板18; 设置在一步面板20和两步面板18的至少一侧的面板温度传感器94和96; 设置在一级级22和两级级24的至少一侧的级温度传感器90和92; 以及控制部分100，用于根据台架温度传感器90和92的测量温度来控制排气。控制部分100控制包括用于冷冻板的升温步骤的再生，并使用面板温度传感器94和96的测量温度专门在再生。控制部100基于面板温度传感器94,96的测定温度来完成升温步骤。

9. 发明专利

JP2013533454A Multi-cooler high speed cryopump 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2013533454A
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：JP2013522007
申请日：2011-07-29
申请人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
发明人：バートレット・アレン・ジェイ , エアコバッチ・マイケル・ジェイ・ジュニア , シソエフ・セルゲイ
IPC分类号： F25B9/14 , F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08 , F04B37/14 , F25B7/00 , F25B9/10 , F25D19/006
摘要：【課題】冷却能力や効率を向上させた冷却システム等を提供する。
【解決手段】冷却システムには、第一の温度で第一の冷却負荷を有する第一の冷却器と、第二の温度で第二の冷却負荷を有する第二の冷却器とが含まれる。また、それら二つの冷却器の間に熱的結合部材が含まれていて、熱負荷、例えば、冷却負荷をそれらの冷却器で共有するために、熱的結合部材は、第一の温度と第二の温度の差を維持するように制限される。
【選択図】図２
摘要翻译：冰箱系统或低温泵包括具有至少第一和第二级的第一冰箱和第二冰箱。限制第一冰箱的第一级与第二冰箱的冷端之间的热耦合，以保持第二冰箱的冷端和第一冰箱的第一级之间的温差。冰箱系统或低温泵还包括与第二冰箱的冷端热接触的辐射屏蔽，以及与辐射屏蔽隔开并被辐射屏蔽围绕的冷凝表面，并与第二级（例如最冷阶段）热接触，的第一台冰箱。受限制的热耦合可以被配置为平衡两个冰箱上的冷却负载。

10. 发明专利

JP4912438B2 Monitoring method of cryo pump, and a cryo pump 有权
公开(公告)号：JP4912438B2
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：JP2009167436
申请日：2009-07-16
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：敏之木村
IPC分类号： F04B37/08 , F04B49/10
CPC分类号： F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/14 , F04B49/06 , F04D19/04 , F04D27/00

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