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1. 发明专利

JP2018529538A マイクロ流体デバイスのためのパッシブ型ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2018529538A
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：JP2018531290
申请日：2016-03-18
申请人：ノースカロライナステートユニバーシティ
发明人：カミンズブライアンエム. , リグラーフランセズスミス , ウォーカーグレン
IPC分类号： B01J19/00 , B81C3/00 , G01N37/00 , B81B1/00
CPC分类号： B01L3/50273 , B01L3/5023 , B01L3/502746 , B01L2200/027 , B01L2200/06 , B01L2200/12 , B01L2300/069 , B01L2300/0816 , B01L2300/087 , B01L2300/0883 , B01L2300/0887 , B01L2300/12 , B01L2300/126 , B01L2400/0406 , B01L2400/0457 , B01L2400/084 , F04B19/006 , F04B19/16 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04F99/00 , F05B2280/50
摘要：パッシブ型マイクロ流体ポンプが本明細書で提供される。本ポンプは、流体入口、吸収領域、流体入口と吸収領域との流体接続させる抵抗領域、及び抵抗領域、吸収領域、又はそれらの組み合わせを閉じ込める蒸発バリアを備え得る。抵抗領域は、第1の多孔質媒体と、この第1の多孔質媒体を通した流体入口から吸収領域への流体流動路を定義する流体不導性境界と、を備え得る。吸収領域は、抵抗領域から吸水された流体の所定の体積を吸収するようにサイズ決定される第2の多孔質媒体の体積を定義する流体不導性境界を備え得る。抵抗領域及び吸収領域は、流体入口が流体と接触しているときに、流体入口から抵抗領域を通って吸収領域へと前進する、毛細管によって駆動される流体正面を確立するように構成され得る。【選択図】図1

2. 发明专利

JP6121549B2 ゲッターポンプ有权
公开(公告)号：JP6121549B2
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：JP2015536247
申请日：2013-09-24
申请人：サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア
发明人：アントニオ・ボヌッチ , ルカ・ヴィアーレ
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/14 , H01J7/18 , H01J7/183 , H01J41/20

3. 发明专利

JP2014181631A Cryopump, and evacuation method for non-condensable gas 有权
标题翻译： CRYOPUMP，和用于不易燃气体的排放方法
公开(公告)号：JP2014181631A
公开(公告)日：2014-09-29
申请号：JP2013057050
申请日：2013-03-19
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： YATSU TAKAHIRO
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/085
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cryopump suitable for evacuation of non-condensable gas, and an evacuation method.SOLUTION: A cryopump 10 comprises: a radiation shield 30 including a shield front end 28 that defines a shield opening 26, a shield bottom part 34, and a shield side part 36 that extends between the shield front end 28 and the shield bottom part 34; and a cryopanel assembly 20 that is cooled to a temperature lower than that of the radiation shield 30. The cryopanel assembly 20 comprises: a first panel arrangement 61 including a plurality of first adsorption panels 60; and a plurality of second panel arrangements 63 each including a plurality of second adsorption panels 62. A plurality of adsorption sections each exposed to the shield side part 36 are formed in a grid pattern by the first panel arrangement 61 in cooperation with the plurality of second panel arrangements 63.
摘要翻译：要解决的问题：提供适合于排出不可冷凝气体的低温泵和排气方法。解冻：低温泵10包括：辐射屏蔽层30，其包括限定屏蔽开口26的屏蔽前端28，屏蔽底部部分34和在屏蔽前端28和屏蔽底部34之间延伸的屏蔽侧部分36; 冷冻板组件20被冷却至低于辐射屏蔽30的温度。冷冻板组件20包括：第一板装置61，其包括多个第一吸附板60; 以及多个第二面板装置63，每个第二面板装置63包括多个第二吸附面板62.各个暴露于屏蔽侧部分36的多个吸附部分通过第一面板装置61与多个第二吸收面面板装置63。

4. 发明专利

JP2015531457A ゲッターポンプ有权
标题翻译：吸气泵
公开(公告)号：JP2015531457A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2015536247
申请日：2013-09-24
申请人：サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア
发明人：アントニオ・ボヌッチ , ルカ・ヴィアーレ
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/14 , H01J7/18 , H01J7/183 , H01J41/20
摘要：回転軸(24)を備えた回転体の形状を有する筐体(21,21?)と、ゲッターポンプ筐体(21,21?)内に搭載された複数のゲッターカートリッジ(22,23)であって、各カートリッジはリニア中心サポート(221,231)と、リニア中心サポート(221,231)に搭載された、離間されたゲッター要素と、を具備した複数のゲッターカートリッジと、を具備したゲッターポンプであって、リニア中心サポート(221,231)を含み且つ回転軸(24)に平行な面が、ゲッターカートリッジ配向平面を形成し、回転軸(24)に直交し且つリニア中心サポート(221,231)の中点と交差した面が、ゲッターカートリッジ配置平面(222,232)を形成し、配置平面(222,232)とリニア中心サポート(221,231)とによって形成された角度(α,α?)は30?以下であるゲッターポンプ。
摘要翻译：具有旋转轴的旋转的形状（24）主体（21，21'），多个吸气剂盒的壳体（22，23）安装在所述吸气泵壳体（21，21'）在满足 TE，每个盒线性中央支撑件（221，231），安装在设置有所述的，线性的线性中心支撑（221，231），配有间隔开一个吸气元件的吸气泵，以及多个吸气剂盒和旋转轴包括一个中心支撑件（221，231）（24）平行于所述形式的吸气盒定向平面的平面上，中间和越过正交和线性中心支撑件的平面与旋转轴（24）（221，231）被以形成吸气剂盒放置平面（222,232），设置在平面（222，232）和所述线性中心支撑（221，231），并形成一角度（α，α？）为30或更小是吸气剂泵。

5. 发明专利

JP5373155B1 Compressor or vacuum machine 有权
公开(公告)号：JP5373155B1
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：JP2012138931
申请日：2012-06-20
申请人：シナノケンシ株式会社
发明人：一宏上田
IPC分类号： F04B27/053 , F04B39/00 , F04B39/06
CPC分类号： F04B17/03 , F04B35/01 , F04B35/04 , F04B37/04 , F04B39/121
摘要： A compressor includes: a motor; a piston reciprocating by the motor; a crankcase comprising a wall portion formed with a communication hole, and the crankcase housing the piston; a cylinder body secured to an inner surface of the wall portion, the cylinder body and the wall portion defining a chamber, and reciprocation of the piston increasing or decreasing a capacity of the chamber; and a cylinder head secured to an outer surface of the wall portion, and the cylinder head and the wall portion defining space communicated with the chamber through the communication hole.

6. 发明专利

JP2008514849A Third kind of high conductance cryopump for the exhaust of gas 有权
公开(公告)号：JP2008514849A
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：JP2007533461
申请日：2005-07-11
申请人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
发明人：トンプソン・ブライアン , ノードボーグ・ジョン , バートレット・アレン・ジェイ
IPC分类号： F04B37/08 , B01D53/04
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/02 , F04B37/04
摘要：【課題】第３種の気体について高い排気速度をもたらすクライオポンプを提供する。
【解決手段】前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされる。第２段のアレイは、吸着剤で被覆されたバッフルからなる開放的な構成を有している。実質的にすべての吸着剤が、放射シールドまたは放射シールドの開口への直接の視線を有しており、実質的にすべてのバッフルが、吸着剤で被覆されている。１つの形態において、第２段のクライオポンプ・アレイは、円板をおおむね球形の包絡面を形成するように扇形に配置したアレイを有している。
【選択図】図６

7. 发明专利

JP6053588B2 クライオポンプ、及び非凝縮性気体の真空排気方法有权
标题翻译：所述不可冷凝的气体的低温泵，和抽真空方法
公开(公告)号：JP6053588B2
公开(公告)日：2016-12-27
申请号：JP2013057050
申请日：2013-03-19
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：谷津貴裕
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/085 , B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/04

8. 发明专利

JP5492256B2 Compressor or vacuum machine 有权
公开(公告)号：JP5492256B2
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：JP2012140149
申请日：2012-06-21
申请人：シナノケンシ株式会社
发明人：一宏上田
IPC分类号： F04B27/04 , F04B39/12
CPC分类号： F04B17/00 , F04B27/0404 , F04B35/01 , F04B37/04 , F04B39/121

9. 发明专利

JP2014005746A Compressor or vacuum machine 有权
标题翻译：压缩机或真空机
公开(公告)号：JP2014005746A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：JP2012140149
申请日：2012-06-21
申请人： Shinano Kenshi Co Ltd , シナノケンシ株式会社
发明人： UEDA KAZUHIRO
IPC分类号： F04B27/04 , F04B39/12
CPC分类号： F04B17/00 , F04B27/0404 , F04B35/01 , F04B37/04 , F04B39/121
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compressor or a vacuum machine that is miniaturized and has the reduced number of components.SOLUTION: A compressor or a vacuum machine includes: a motor; a piston reciprocated by the motor; a crank case including a wall on which a communication hole is formed and housing the piston; a cylinder body fixed to an inner face side of the wall and defining a chamber whose capacity is increased or decreased by reciprocation of the piston with the wall; and a cylinder head fixed to an outer face side of the wall and defining a flow passage communicated with the chamber via the communication hole with the wall. The wall includes a first and a second walls adjacent to each other, and the cylinder head includes a first and a second cylinder heads fixed respectively to outer face sides of the first and the second walls. The flow passage includes a first flow passage defined by the first wall and the first cylinder head, and a second flow passage defined by the second wall and the second cylinder head and communicated with the first flow passage.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种小型化并且具有减少的部件数量的压缩机或真空机。解决方案：压缩机或真空机包括：电动机; 由电动机往复运动的活塞; 曲轴箱，其包括壁，所述壁上形成有连通孔并容纳所述活塞; 固定在所述壁的内表面侧的筒体，通过所述活塞与所述壁的往复运动来限定容积增大或减小的室; 以及气缸盖，其固定到所述壁的外表面侧，并且经由与所述壁的连通孔限定与所述室连通的流动通道。壁包括彼此相邻的第一和第二壁，并且气缸盖包括分别固定在第一和第二壁的外表面侧的第一和第二气缸盖。流路包括由第一壁和第一气缸盖限定的第一流动通道和由第二壁和第二气缸盖限定并与第一流动通道连通的第二流动通道。

10. 发明专利

JP5065899B2 Third kind of high conductance cryopump for the exhaust of gas 有权
公开(公告)号：JP5065899B2
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：JP2007533461
申请日：2005-07-11
申请人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
发明人：トンプソン・ブライアン , ノードボーグ・ジョン , バートレット・アレン・ジェイ
IPC分类号： F04B37/08 , B01D53/04
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/02 , F04B37/04

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